Датчик точки росы

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, служащим для измерения влажности и контроля герметичности в герметизированных корпусах микросборок и модулей электронной техники, и может быть использовано в электронной и других отраслях промышленности . Цель изобретения - повышение чувствительности датчика и сокращение времени отклика. Датчик содержит встречно-штыревую структуру потенциальных электродов, расположенную на диэлектрической подложке с адгезионным для потенциальных электродов слоем. Между потенциальными электродами на поверхность адгезионного слоя нанесена островковая структура из проводящего материала. 4 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з 6 01 и 7/12

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4793062/25 (22) 26.12.89 (46) 30.12.91. Бюл. М 48 (71) Особое конструкторское бюро при Саратовском заводе "Контакт" (72) А.А.Сергеев и А.Н.Абрамов (53) 533.275(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 989422, кл. G 01 N 25/56, 1983.

Методические указания по оптимизации испытаний на воздействие внешних механических и климатических факторов. PM

11070, 086 — 83. ВНИИ "Электростандарт". (54) ДАТЧИК ТОЧКИ РОСЫ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, служаИзобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, служащим для измерения влажности и кон роля герметичности в герметизированных корпусах микросборок и модулей электронной техники.

Целью изобретения является повышение чувствительности и сокращение времени отклика.

На фиг.1 показан датчик точки росы; на фиг.2 — разрез А — А на фиг.1; на фиг.3 — узел

I на фиг.1; на фиг.4 — разрез Б — Б на фиг.3.

Датчик точки росы содержит тонкопленочную встречно-штыревую структуру потенциальных электродов 1, расположенных через адгезионный слой 2 на диэлектрической подложке 3. Между потенциальными электродами 1 на поверхности адгезионного слоя 2 расположена островковая структура 4 так называемой диспергированной

„„ Ы„„1702247 Al щим для измерения влажности и контроля герметичности в герметизированных корпусах микросборок и модулей электронной техники, и может быть использовано в электронной и других отраслях промышленности. Цель изобретения — повышение чув=твительнасти датчика и сокращение времени отклика. Датчик содержит встречна-штыревую структуру потенциальных электродов, расположенную на диэлектрической подложке с адгезионным для потенциальных электродов слоем. Между потенциальными электродами на поверхность адгезионного слоя нанесена островковая структура из проводящего материала. 4 ил. пленки из проводящего материала. КонтакаюЪ тные площадки 5 служат для присоединения датчика к измерительной схеме.

Датчик работает следующим образом. C)

Посредством контактных площадок 5 датчик подключен к внешней для микросборак измерительной схеме, с которой подается ф„ электрический потенциал, провоцирующий процесс фиксации точки расы.

При отсутствии росы на контролируемой поверхности эквидистантного зазора между потенциальными электродами 1, образующими между собой встречно-штыревую структуру, сопротивление датчика равно сопротивлению адгезионного слоя 2, располо>кенного на диэлектрической подложке 3.

При выпадении росы на контролируемой поверхности ее капельки закорачивают ме>кэлектродное пространство по цепи проводящих островков 4 диспергированной пленки, Островковая структура 4 диспергированной пленки в момент выпадения росы является дополнительным источником эмиссии токоносителей, а роса — средой, активирующей перемещение токоносителей сразу по всей поверхности зазора между потенциальными электродами 1, т.е. как по осТроВКВМ 4, так и по адгезионному слою 2, При выпадении росы происходит лавинообразное нарастание и перемещение потенциального барьера для любой конкретной ABpt4 c!48KHblx ocTpoBKQB 4 диспергированнОЙ пленки, чтО зквивалентнО быстрому сближению потенциальных электродов 1 и срабатыванию датчика, что выражается в резком скачке проводимости, фиксируемом измерительной схемой.

Формула изобретения

5 Датчик точки росы, содержащий встречно-штыревую структуру, расположенную на диэлектрической подложке с адгезионным для потенциальных электродов встречноштыревой структуры слоем, о т л и ч а ю щ", О и и с я тем, что, с целью повышения чувствительности и сокращения времени отклика, между потенциальными электродами встречно-штыревой структуры на поверхность адгезионного слоя нанесена остро15 вковая структура из проводящего материала, 1702247

Редактор Н.Горват

Заказ 4537 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

О з

QO дб Зад

QC7$

Составитель В.Екаев

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор О,Кравцова