Устройство для обработки диэлектрических подложек в тлеющем разряде

Авторы патента:

Барвинок В.А.

Малкин В.И.

Козлов Г.М.

Плотников А.Н.

Богданович В.И.

Журавлев А.А.

Хомов Ю.В.

C23C14/34 - распыление металлов

Устройство для обработки диэлектрических подложек в тлеющем разряде, содержащее рабочую камеру, подложкодержатель, нагреватель-катод и источник питания нагревателя-катода, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и расширения функциональных возможностей, катод выполнен в виде гирлянды из нескольких подвижных трубок, электрически соединенных между собой с возможностью изменения конфигурации по форме обрабатываемой подложки.

Изобретение относится к порошковой металлургии

Износостойкое многослойное покрытие // 1680799

Изобретение относится к металлургии, в частности к износостойким многослойным покрытиям, наносимым в вакууме на детали узлов трения, инструмент и инструментальную оснастку

Способ изготовления режущего медицинского инструмента // 1662337

Изобретение относится к способу изготовления режущего медицинского инструмента и может найти применение в медицине при изготовлении инъекционных игл, ножей, скальпелей, ножниц, долот и др

Состав для лазерного легирования стальных деталей // 1641893

Изобретение относится к химикотермической обработке металлов и сплавов, в частности к лазерному легированию , и может быть использовано для упрочнения поверхности деталей, работающих в условиях динамических контактных нагрузок

Импульсный генератор электроэрозионной плазмы // 1577675

Изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано для вакуумного нанесение тонких пленок и покрытий из импульсных потоков ускоренной электроэрозионной плазмы

Способ испарения тугоплавких металлов в вакууме и устройство для его осуществления // 1572061

Материал для газотермического напыления защитного покрытия // 1526275

Способ получения прозрачных проводящих пленок на основе оксидов индия и олова // 1499573

Изобретение относится к области технологии изготовления приборов оп тоэлектроники, а именно к способам получения пленок на основе оксидов индия и олова для тоякоЛпеночных электролюминесцентньпс и жидкокрис таллических

Устройство для обработки проволоки в плазме // 1417502

Изобретение относится к области плазмохимического травления проволоки (П), преимущественно диаметром до 150 мкм, и может быть использовано в машиностроительной и приборостроительной промышленности

Установка для детонационного напыления // 1181331

Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841

Устройство для формирования поверхностных слоев на изделиях методом обработки в плазме газового разряда // 2110606

Изобретение относится к ионно-плазменным технологиям создания защитных, оптических декоративных и иных слоев на поверхности изделий из металла, стекла, керамики

Способ катодно-вакуумной обработки поверхности металлических деталей // 2118399

Изобретение относится к способам, предназначенным для электродуговой обработки поверхностей металлических деталей, более конкретно - к способам, предназначенным для катодной обработки деталей в вакууме

Способ защитно-декоративного нитридтитанового покрытия керамической посуды // 2123540

Способ изготовления тонкостенных цилиндрических корпусов мишеней // 2139367

Изобретение относится к области физики взаимодействия мощного лазерного излучения с веществом, преимущественно в исследованиях термодеядерного управляемого синтеза

Способ вакуумно-плазменного нанесения покрытий // 2145362

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для напыления вакуумно-плазменных покрытий в электронной, оптической и других отраслях промышленности

Двусторонние отражающие пленки // 2146303

Изобретение относится к отражающим пластмассовым пленкам, пропускающим свет и сохраняющим свойства в течение длительного времени

Способ нанесения защитных покрытий на металлические трубы и установка для его реализации // 2152454

Способ обработки поверхности твердого тела // 2161662

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технологии обработки поверхности твердого тела и предназначено для улучшения и придания требуемых электрофизических, химических и механических свойств поверхности изделий из металлов и сплавов, полупроводников, диэлектриков, сверхпроводников и других материалов

Способ изготовления изделий из сплава на основе кремния // 2184164

Изобретение относится к области изготовления изделий из сплава на основе кремния, преимущественно распыляемых мишеней, которые могут быть использованы при нанесении тонких покрытий для электронной, оптической, компьютерной техники