Состав для нанесения оксидохромовых покрытий

 

Изобретение относится к газофазному получению оксидохромовых покры/ 2 ,тий термическим разложением на нагретой подложке смеси бисареновых соединений хрома и окислителя. Целью изобретения является повышение диэлектрических свойств. По изобретению термическому ра зложению подвергают смесь паров бисареновых соединений хрома, многоатомного спирта и воздуха, причем соотношение меиаду соединением хрома и окислительной смесью (многоатомный спирт и воздух) составляет 75:25-8;):20, а содержание воздуха в окислительной смеси 10 - 15 об.%. В результате формируются оксидохромовые I покрытия с уд. сопротивлением -v5.1

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„Я0„„1708921 (51)5 С 23 С 16/40

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМЮ СВИДЕТЕЛЬСТВУ!

В качестве исходного металлоорганического соединения берут бис-этилбензолхром, многоатомный спирт и кислород воздуха при процентном соотношении металлоорганического соединения и окислителя 25:75 соответст" венно. Из дозатора в камеру металлизации подают смесь бис-этилбензолхрома и многоатомного спирта. Темпео ратура испарения смеси 210 С. Коли; чество кислорода воздуха, поступающего в камеру, 0,5 см /мл или 15 об,ФВремя распада 15-20 мин. Температура нагрева подложек 420 С, давление в

0 камере металлизации 10 мм рт.ст.

При этих условиях образуется оксидохромовое покрытие черного цвета толщиной до 20 мкм с удельным сопроГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

IlO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPHTHRM

flPM ГКНТ СССР

1 (21 ) 4715860/02 (22) 26. i )5.89 (46) 30.01 92 ° Вюл. 1" 4 (71) Особое конструкторское бюро института космических исследований

AH СССР (72) К.П. Левин и А.М. Слушков (53) 621.793.12 (088.8) . (56) Корзо В.Ф. и др. Пленки из элементоорганических соединений e радиоэлектронике. М.: Энергия, 1973, с. 12.

Авторское свидетельство СССР и 1007480, кл. С 23 С 16/40, 1984. (54) СОСТАВ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ОКСИДОХРОМОВЫХ ПОКРЫТИЙ (57) Изобретение относится к газофазному получению оксидохромовых покрыИзобретение относится к получению оксидохромовых покрытий парофазным осаждением смеси соединения хрома и окислителя, в частности к составам для осаждения покрытий, и может быть. использовано .в электронике для деталей с диэлектрическим. покрытием.

Цель изобретения - повышение диэлектрических свойств покрытий.

Смесь для парофазного осаждения покрытий включает бисареновые комплексы хрома N окислитель, в качестве которого используют смеси многоатомного спирта и воздуха при соотношении комплексов хрома и окислителя от 75:25 до 80:20 и содержании в окислителе воздуха 10-15 об.З,/ тий термическим разложением на нагретой подложке смеси бисареновых соединений хрома и окислителя. Целью изобретения является повышение диэлектрических свойств. По изобретению термическому разложению подвергают смесь паров бисареновых соединений .хрома, многоатомного спирта и воздуха, причем соотношение между соединением хрома и окислительной смесью (многоатомный спирт и воздух) составляет 75 25-80:20, а содержание воздуха в окислительной смеси 10

15 об.1. В результате формируются оксидохромовые 1 покрытия с уд. сопро тивлением л 5.10 Ом см и величиной пробивного напряжения не менее 500 В. З

08921 формула изобретен ия

Пример 3. В качестве исходного металлорганического соединения используют бис- этилбензолх ром и многоатомный спирт в процентном соотношении 50:50, который подают .из дозатора в камеру металлизации со скоростью 1-1,5 мкм/мин. Температура наг рева подложек из алюминия 420 С. Температура испарения смеси 2100С. ДавСоставитель Л. Казакова

Техрел M.äèäûê Корректор А. Обручар

Редактор Н. Киштулинец.

Заказ 407 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,101

3 17 тивлением 5 10 "о Ом.см. Величина пробивного напряжения между проводником и металлическим основанием не менее

500 В.

Пример 1. Из дозатора в камеру металлизации подают парогазовую смесь как в примере 1, íî в соотношении 20:

:80 и воздух в количестве 15 об.Ф.

Время распада 15-20 мин при температуре подложки 420 С и давлении10 мм рт.ст. В результате формируются оксидохромовые покрытия толщиной до 20 мкм с уд. сопротивлением

5 ° 10 Ом см. Величина пробивного нап о ряжения -500 В.

Отклонение режимов от рекомендуемых приводит к ухудшению качества пленок.

П р и м е p-?. В качестве исходного металлорганического соединения используют бис-этилбензолхром и многоатомный спирт в процентном соотношении 16,5:83,5, который подают из дозатора в камеру металлизации со скоростью 1-1«5 мкм/мин. Температура нагрева подложек 4? 0 С. Температура испарения смеси ?10"С, давление в камере металлизации 10 2 мм рт.ст.

Количество кислорода, поступающего в камеру, 0,3 смз/мл (1О об.1).

При таких условиях получают пленку с неустойчивыми электрическими свойствами, адгезия к подложке ухудшается. ление в камере метамлизации 10 мм рт. ст. Количество кислорода, поступающе го в камеру, О, 5 смз /мл.

При таких соотношениях при осаждении получают пленку с удельным сопротивлением ) = 10 - 10 Ом «см. Использование предлагаемого способа нанесения высокоомных оксидохромо1ð вых покрытий обеспечивает по сравнению с известными способами следующие преимущества. Получение высокоомных диэлектрических покрытий на алюминиевой подложке позволяет применять их для изготовления плат, а сравнительно малый вес и высокая способность рассеивать тепловую энергию алюминиевым основанием дает возможность. широкого применения их в кос20 мическом приборостроении.

Кроме того, черный цвет и способность поглощать ИК-излучение высокоомного оксилохромояого покрытия позволяет рассеивать значительно

25 большее количество тепловой энергии при использовании мощных силовых

I транзисторов, а также увеличить плотность упаковк радиоэлементов.

Состав для нанесения оксидохромовшх покрытий парофазным осаждением на нагретой подложке, включающий

35 бисареновые комплексы хрома и окислительную смесь из многоатомного спирта и кислородсодержащего соединения, отличающийся тем, что, с целью повышения диэлектрических

40 свойств, в качестве кислородсодержащего соединения используют воздух при соотношении паров бисаренового комплекса хрома и окислительной смеси от

/5:25 до 80:2" и содержании воздуха в окислительной смеси 10-15 об.1.