Турбомолекулярный вакуумный насос
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)5 F 04 О 19/04
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Ф (Л
С (21) 4683429 /29 (22) 25,04,89 (46) 23,10,92, Бюл. N 39 (72) В.П,Сергеев, В.Б.Шолохов и B.È.Âèxðåâ (56) Лэстон Дж. Техника сверхвысокого вакуума. — М.: Мир, 1988, с, 110, (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯPНЫVI ВАКУУМНЫЙ
НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность Ы „» 1770612 А1 турбомолекулярного насоса. В корпусе (К) 1 со статором 2 размещен ротор (P) 4, установленный на газовых опорах (О) 3. Р 4 содержит турбомолекулярную и молекулярную ступени (ТС) 5 и (MC) 6, образующие проточную часть (ПЧ). 8 К 1 выполнены каналы 7, через которые в Пч между ТС 5 и MC 6 подается газ из источника 9 в моменты аварийного торможения P 4, обеспечивая быстрое торможение. 1 ил, 4
О Э
1770612
35
45
Составитель В. Кряковкин
Редактор О. Стенина Техред М.Моргентал Корректор Т. Палий
Заказ 3725 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно — к конструкциям турбомолекуля рных насосов, Целью изобретения является повышение надежности. 5
На чертеже представлен продольный разрез насоса, Турбомолекулярный; вакуумный насос содержит корпуо 1 со статором 2 и установленный по оси корпуса 1 на газовых опорах 10
3 ратор 4 с турбомолекулярной и молекулярной ступенями 5 й.б,ебраэующими проточную часть, Корпус 1 снабжен по меньшей мере двумя каналами 7, каждый из которых с одной стороны при помощи клапана 8 со- 15 общен с источником 9 газа или атмосферой, а с другой стороны — с проточной частью между турбо молекул я р ной и молекул я р ной ступейями 5 и 6.
Насос работает следующим образом. 20
При понижении давления в пневмосистеме, обеспечивающей нормальную работу газовых опор 3 насоса, ниже допустимого уровня происходит включение в работу аварийной системы, включающей автономный 25 источник 9 сжатого газа. Источник 9 газа обеспечивает нормальное функционирование газовых опор 3 на время, достаточное для торможения ротора 4. Интенсивное торможение ротора 4 обеспечивается напуском газа из источника 9 или из атмосферы через клапан 8 и канал 7 в проточную часть насоса между турбомолекулярной и молекулярной ступенями 5 и 6. Напуск газа обеспечивает возрастание аэродинамического сопротивления вращающемуся ротору 4, В результате возрастает надежность насоса вследствие гарантированной остановки ротора при минимальном запасе газа в аварийном источнике.
Формула изобретения
Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус со статором и установленный по оси корпуса на газовых опорах ротор с турбомолекулярной и молекулярной ступенями, образующими проточную часть, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, корпус снабжен по меньшей мере двумя каналами, каждый из которых с одной стороны при помощи клапана сообщен с источником газа или атмосферой, а с другой стороны — с проточной частью между турбомолекулярной и молекулярной ступенями.
