Ста но к-полуавтомат для разделения листовых заготовок полупроводниковых материалов
ч ce со ю;зи ал о й-Ф - Й а
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ,"1
Сова Советскик
Социалистических
Рвспу0лик
Зависимое от авт. свидетельства № 110111
Кл. 49l 12
49с, 11/01
Заявлено 17.Х.1962 (№ 798983/25-8) с присоединением заявки №
Приоритет
МПК В 23р
В 23d
УДК 621.967:621.98.06 (088.8) Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 12.IX.1966. Бюллетень № 18
Дата опубликования описания 13,Х.19бб
Авторы изобретения
Ф. Х. Набиуллии, Е. М. Герцик и В. П. Шаранов
Заявитель
СТАНОК-ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ЛИСТОВЫХ
ЗАГОТОВОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Известен из основного авт. св. № 110111 станок-полуавтомат для разделения заготовок полупроводниковых материалов на многоугольные пластины площадью 100 ма и более.
Настоящее изобретение расширяет область использования основного изобретения, позволяя примени гь его в станках-полуавтоматах для получения пластин малой площади, например от 1 до 10 мм для полупроводниковых диодов, триодов.
Это достигается, тем, что резцы в головках установлены с шагом, кратным линейному размеру пластин, а головки выполнены периодически перемещающимися на величину линейного размера пластин. Кроме того, для сбеспечения качественного разламывания прикрепленных к эластичной подложке пластин станок снабжен механизмом, выполненным в виде жесткого и эластичного подающих роликов.
На фиг. 1 схематически изображен станокполуавтомат, вид сверху; на фиг. 2 — механизм разламывания в разрезе; на фиг, 3— заготовка, армированная гибким материалом.
Листовая заготовка 1 (см. фиг. 1), армированная, например, липкой полиэтиленовой пленкой, укладывается на рабочую позицию 2 поворотного стола 8. Стол поворачивается, и заготовка 1 поступает на позицию надрезания. В головках 4 и 5 укреплены резцы 6, качающиеся в плоскости, перпендикулярной плоскости резания, и установленные один от другого на расстоянии, кратном размерам надрезаемых пластин, Головки установлены па каретках 7 и 8, совершающих возвратнопоступательное движение и установленных на ползуне 9, которому придано периодическое шаговое перемещение в направлении, перпендикулярном направлению резания.
Шаговое перемещение ползуна может осуществляться как в момент холостого хода кареток с головками (r. е. при движении от периферии к центру), так и во время выстоя в одном из крайних положений. После свершения необходимого числа ходов надрезания поворотный стол 8 поворачивается, и на надрезание поступает новая заготовка. В этом случае шаговое перемещение ползуна с каретками совершается в обратном направлеHHH. Во избежание надрезания заготовок во время холосгого хода головок последние приподнимаются арретиром над плоскостью заготовки.
Надрезанные заготовки вакуумным съемпиком 10 удаляются с поворотного стола и направляются на разламывание.
Механизм разламывания (см. фиг. 2) состоит из жесткого опорного ролика 11, эла30 стичного разламывающего ролика 12, беско186269 нечной ленты 18, натяжного ролика 14 и приемного лотка 15.
Для разламывания по линиям надреза заготовки 1 пропускаются дважды между вращающимися роликами 11 и 12 во взаимноперпендикулярных направлениях. Разламывание заготовок по линиям надреза осуществляется за счет изгиба предыдущих пластин относительно последующих.
Для предотвращения рассыпания заготовок 1 (см. фиг. 3) во время надрезания и разламывания последние армируются гибким листовым материалом 1б, например пленкой, бумагой и т. п., приклеиваемым клеящим веществом 17 со стороны, противоположной стороне надрезания.
Предмет изобретения
1. Станок-полуавтомат для разделения листовых заготовок полупроводниковых материалов по авт. св. № 110111, отличающийся тем, что, с целью получения пластин малой площади, например 1 — 10 мм для полупроводниковых диодов, триодов, резцы в головках установлены с шагом, кратным линейному размеру пластин, а головки выполнены периодически перемещающимися на величину линейного размера пластин.
2. Станок-полуавтомат по п. 1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения качественного разламывания прикрепленных к эластичной подложке пластин, он снабжен механизмом, выполненным в виде жесткого и эластичного подающих роликов.
186269
l7
1б
Фиг. 3
Составитель A. А. Банников
Редактор T. В. Данилова Те>:ред Т. П. Курилко Корректоры: Е. Д. Курдюмова и С. М. Белугина
Заказ 3026, !7 Тираж 2420 Формат бум. б0 90 /а Объем 0,27 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий iIplI Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типографии, пр. Сапунова, 2
