Способ изготовления тонкопленочных резисторов

 

Назначение: изобретение относится и злёктронной технике, в частности к произеодству трнкопленочных резисторов. Сущность: для расширения диапазона ПОДГОНКИ величины бопротивления резисторов и упрбщений ёгЬ технологического процесса: подгонку оСуществля(от послеДоватёдьн,Ь|1М . выполнением резбв в продольных и попё- речных перемычках между окнами Ь ббразон и е м и ёп р е р ы в н о и я и гз а г о об разной резйстивной Цепи в продольном и попёреч- |:ном/направленм х.2и71. : V .;.

союз соВетских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„5U„„1812562 А1 (51)5 Н 01 С 17/24

ГОСУДАРСТВЕЙ-ЮЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (l OCflATEllT CCCP) К АВТОРСКОМУ СВИДЕГЕЛЬСТБУ г

1 : - . 2 (21) 4856454/21,,: . -:: .:: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕ(22) 25.06.90 ; ., :-..::;:- : - .-,- ., —: НОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ (46) 30.04.93. Beii,N. 16 "::; .: ::;:: - (57) Назначение: изобретение относится к (71) Научно-исследовательский институт . электронной технике, в частности к проиэзлектрояно-механических приборов водству тонкопленочных резисторов, Сущ- (72) М.В.Николаев. - -: .. .. : -- ность: для расширения диапазона подгонки

f56) Заявка Японии N.. 6035805, кл. H 01 С: . величины сопротивления резисторов и уп17/22, 1986; .... -.: ., : ;::.. :::: :-: ;. ращения ei 0 технологического процесса

° Гурскййд;И;идр. Структура, топология -noproHkj осуществляюг последовательным и свОйствд пленочных резисторов, МинСк; . выполнением резав в продольных и попеНаука итехника„1987., -... :::: -; речныхперемычкахмеждуокнамиЬобраэаЗаявка ЕПВ (ч".0230761 . ванием непрерывной зигзагообразной кл. Н 01 С7/22,1988. . .: -,,::: .-.,: реэистивнай цепи aïðoäoëüíoì ийопереч - ном. направйениях. 2 ил.

4 где n> = — — число квадратов каждого реэи(Ь (2 п1 — 1 + n> — 4 +2,28) 3 п1

Зависимость d от п1 показана в табл.1.

На фиг,2 показан тонкопленочный резистор, подгонке которого осуществляется резами в продольных и поперечных перемычках с образованием зигзагообразной реэистйвной цепи в поперечном направлеZn — — до Хn — 2 (nl-1)+(nl-4)+ 4 0,57, Изобретение относится к области элек. тронной техники и может использоваться в техналотйи производства тонкойленачных резисторов и гибридных ингегральных схем (ГИС):для подгонки тонкопленочных резисторов и фуикциональной подгонки ГИС.

Целью изобретения является расшире" ние дйапаэойа иЗмЬненйя величинь1 сопро-тивления резисторов (без ухудшения основных технических характеристик) и упрощение технологии подгон кй, На фиг.1 показан тонкопленочный ре. зистор, подгонка Кomporo осуществляется резами в продольных и поперечных перемычках с образованием зигзагообразной резистивной цепи в продольном направлении. В этом варианте диапазон сопротивления резистора . изменяется от стианаго элемента, ! — длина резистивнаго элемента;

b — ширина продольных и поперечных перемычек между отверстиями, ширина Ф кромки резистинного слоя (элемента), раз- Q) мер стороны квадратного отверстия; )

Диапазон изменения номинальных зна- у чений соцротйвлайий вь1ражается формулой

1812562

Таблица 1

20.

1000

100

8,63

8,78

8,89

8,44

8,99

Таблица 2

1000

20 30

100

7,45

6,94

7,32

7,56

7,63 .

7,70

Таблица 3 нии, В этом варианте номинал сопротивП) ления резистора изменяется от Zn = - — до

Zn = I n>-1) 2,57, а диапазон изменения

П вЂ” 1 771 сопоотивления составит d ! и>

Зависимость d от и> показана в табл.2.

Зависимость приращения числа квадратов от резов для варианта, изображенного на фиг,2, приведена в табл.3.

Подгонку по предлагаемому способу производят следующим образом, для каждого резистора определяют ве- 15 личину удельного сопротивления напыления

Йнап ,О =— где Рнап: — величина сопротивления рази- 20 стора после напыления;

n — расчетное число квадратов данного резистора, определяемое топологией.

Подсчитывают число квадратов, которое необходимо для дости>кения номинального значения сопротивления резистора.

Подсчитывают число квадратов, которое необходимо добавить для достижения

Рвом

В соответствии с полученной величиной по табл.3 определяют необходимое количество резов.

Технико-зкономическая эффективность данного способа изготовления тонкопленочных резисторов йо сравнению с прототипом заключается в следующем: позволяет увеличить диапазон подгонки сопротивления резисторов от 7 до 9 раз без изменения топологии, резистивного материала без ухудшения стабильности сопротивления резисторов и их нагрузочной способности; вариант подгонки и количество резов определяют в зависимости от напыленной резистивной пленки и требуемого номинала сопротивления резистора, что упрощает технологический процесс подгонки, облегчает его автоматизацию и удешевляет процесс подгонки.

Формула изобретения

Способ изготовления тонкопленочных резисторов, включающий напыление на диэлектрическую подложку резистивного слоя прямоугольной формы, формирование примыкающих к его меньшим сторонам контактных площадок, формирование методом фотолитографии из резистивного слоя решетчатой структуры с регулярно располо>кенными в нем квадратными отверстиями по всей его площади с шириной продольных и поперечных перемычек между отверстиями и кромками резистивного.слоя, равной стороне отверстия, определению величины удельного поверхностного сопротивления резистивного слоя и подгонку до требуемой величины сопротивления выполнением заданного количества резов, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что, с целью расширения диапазона подгонки и упрОщения технологии подгонки, подгонку осуществляют последовательным выполнением резов в продольных и поперечных перемычках с образованием зигзагообразной резистивной цепи в продольном и поперечном направлениях.

1812562

Составитель M,Hèêoëàåâ

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор М.Андрушенко

Редактор

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, t01

Заказ 1576 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР t13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5