Газопоглотитель для электровакуумных приборов

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК,, «Ы „„18 l 2572А1 (st)s Н 01 J 7I18

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ, СССР) К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

- :: 2 (21) 4760405/21 .... .:. ": .: ., ",.:. (57) Область,nprweeHeH : производствО (22) 20.11.89::, ...:: " -- :::., :: электровакуумных приборов, в частности (46) 30.04.93. Ьюл. hL 16::::. ":,:: :::; цветных кинескопов. Суп предложения: га(71) Объединение "Московский электролам- -: зопоглотитель содержит контейнер с активповый завод" ..:: ..::: - .: . -:, - ным составом и тонкопленочным защитным (72) M.È.Êoðoáîâ, Л.H.Ëèííèê, М.E.Âîðî-. покрытием, Зтозащитноейокрытиевыполшилин.и Е.В.Копытов - .:...,::: нено двуслойным с внутренним слоей из (56) Патент США Ь 3630690, кл.-23-288. алюминий-кремйий-магниевого сплава и

1971.: - -. - - " : - ::,: . - . наружныислоемизоксйдовэтихметаллов.

Заявка Франции % 2335033, . " ; . -:.: Задается. соотношение толщин слоев. В кл. Н 01 J.:7I18, 1988.. .::: . - .:::, приборах с предложенном тазопоглотите(54) ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬ ДЛЯ ЭЛЕКТРО- . : лем повышается. эффективность поглощеВАКУУМНЦХ ПРИБОРОВ .." .. : .:: - . ". нияостаточных газов вотпаянномприборе.

Ф

I» 3 .

Изобретение относится к электронной::::: обусловлен тем. что основной компонейт —

: технике и может быть использовано прииэ-:. алюминий входйт в активный состав газо-" готовлении газопоглотителей электроваку ".: поглотигеля, а кремний и магний введены умных приборов, в частности цветных ..- - -для повышения защитных свойств покры- кинескопов, .. " ., .:.: .::.:.". :-:: тйя.Диапазонсодержаниякомпонентовме-.

Целью изобретения является .Повыае-: таллйческого слоя, мас.7;: ние эффективности газопоглощения в отпа- . :; Алюминий : -.,;., 50 — 90 янном приборе.. которое достигается. :.. Кремйий ..:,: 5 — 40 конструкцией газопоглощения, предотвра-:.::: Магний .::: -.. - . . Остальное щающей появление посторонних частиц во - . Величина мждого компонента в сплаве время распыления газопоглотителя на эта-:. определена условиями производства и типе термовакуумной обработки прибора. ., пом прйбора, Предложенная конструкция газопогло-:, Выполнение наружного слоя из оксидов тителя содержит контейнер с актйвнйм со-: этих металлов предотвращает взаимодейстставом и тонкопленочным защитнйм, вие активного слоя с атмосферой на этапах покрытием, которое выполнено двухслой- . Производства и хранения. ным, внутренний слой изалюминий — крем- .. .: Соотношение между толщинами внутний — магниевого сплавь, а наружный — из,:.рeннerо и наружного слоев подобрайо эксоксидов этих металлов, причем отношение: --. периментально, При отношении толщин толщинэтихслоевлежитвпределахот5до ..слоев менее 5 и более 450 существенно

450. :" : .:-:; . " :уменьшу тся Стойкость защитного йокрыВнутренний металлический слой приго- тия, например, к действию влаги, Это г д-: товлен из сплава алюминия, кремния и маг-:тверждено результатами испытайий девяти ния. Выбор. именно этих компонентов партий газопоглотителей общим количест1812572

Составитель А. Киселев

Техред M,Ìîðãåíòàë Корректор С, Лисина

Редактор

Заказ 1577 Тираж ... Подписное

ВНЙИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно -издательский комбинат "Патент", г. Ужгород ул,Гагарина, 101

1 всм порядка 600 шт. Суммарная толщина . количества посторонних частиц при распы..защитного. покрытия:; выполненного мето- лении газопоглотителей, по.меньшей мере, дом тонкопленочйой технологии, составля- в тридцать раз; что "привело к:снижению ет величину порядка нескольких десятых количества дефектов изображения, повымикрон. Зтого достаточно для предотвра- 5 шению злектропрочностй и в итоге к снижещения диффузии в активный состав газопог- нию числа рекламаций на изготовление . лотителя агрессйвнйх компонентов из . кинескопа. окружающей среды.,:::: ;,... ",--.::: -: . ..:: Ф о р м у л а и з о б р е:т е н.и я

При производстве газопоглотителей це- .- Газопоглотитель для электравакуумных лесообразно обеспечить одинаковую тол- 10 приборов, содержащий контейнер с актив- . щину. покрытия: по всей поверхности. нымсоставом и защитным тонкопленочным газопоглотителя,. Найболее предпочтитель - покрытием, о т л и ч а 1о шийся тем, что, с ным является метод магнетронного нанесе- . целью повышения эффективности газойогния покрытйя на Гэзопоглотители:, - "лощения в отпGAëåòâ÷Îì приборе, защитное совершающие прй этом сложное перемеще- 15 покрытие выполнено :двуслойнйм с внутние относительно мишени с формиравани - ренним слоем йз алюминий-кремний-магнием оксидной пленки на поверхности евого сйлава и наружным из оксидов этих,. металлического слоя, ": .:::.: . . ".,:.: - . металлов; причем отношение толщин внутИспытания газопоглотйтелей предло- реннего и наружного слоев составляет 5женной конструкции показали уменьшение >0. 450;