Датчик давления

 

СОЮЗ COSETCКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (s1)s 6 01 3 9/04

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ CCCP) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ..::, ;-: ". ",:,,,, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б Г, (21) 4874400/10 (22) 17.10,90 (46) 23,07.93. Бюл. (Ф 27 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" (72) И.П,Дорогань, В.Ф.Пугин и С.Б,Гальперин (56} Авторское свидетельство СССР

М 1485051, кл. 5 01 1 9/04, 1989.

Авторское свидетельство СССР

% 1404853, кл. G 01 1 9/04, 1986. (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления и может быть использовано при измерении давления жидких или газообразных сред. Цель изобретения — повышение надежности и долговечности датчика.

Сущность изобретения: датчик содержит полый герметичный корпус 1 со смонтированной на его основании платой 2, стеклянный опорный элемент 3, расположенный внутри корпуса 1 над штуцером 6 и выполненный сплошным. На опорном элементе 3 закреплен кристалл 4 с выемкой, образующей колпачковую мембрану 5. На внутренней поверхности основания корпуса имеется канал 7, соединяющий канал штуцера 6 с кольцевой канавкой 8. Среда с измеряемым давлением поступает через канал штуцера 6, канал 7 и канавку 8 в полость корпуса датчика. Изменение давления в полости корпуса 1 вызывает деформацию мембраны 5, которая преобразуется с помощью расположенных на мембране тензорезисторов в выходной электрический сигнал. 2 ил.

1828999

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления.

Целью изобретения является повыше ние надежности и долговечности датчика.

Ка фиг. 1 представлен общий вид датчика давления; на фиг. 2 — датчик давления, вид сверху.

Датчик давления содержит полый герметичный корпус 1 со смонтированной на основании корпуса платой 2, стеклянный опорный элемент 3, расположенный внутри корпуса 1 и выполненный сплошным. На торце опорного элемента 3 расположен полупроводниковый кристалл 4 с выемкой, образующей колпачковую мембрану 5 с тензорезисторами. В основании корпуса 1 выполнен входной штуцер 6. Опорный элемент 3 расположен над штуцерам 6. На. внутренней поверхности основания карпу- 20 са 1 выполнен канал 7, соединяющий канал штуцера 6 с кольцевой канавкой 8, выполненной на внутренней поверхности основания корпуса 1. GoocHQ со штуцером 6 вокруг стеклянного опорного элемента 3.

Датчик работает следующим образом.

Среда с измеряемым давлением поступает через канал штуцера 6, канавку 8 в полость корпуса 1. Изменение давления в полости корпуса 1 вызывает деформацию 30 колпачковой мембраны 5. Резистивная схема мембраны преобразовывает деформацию мембраны в электрический сигнал, который через плату построечных резисторов 2 подается на выводы корпуса 1. По 35 величине электрического сигнала судят о значении измеряемого давления.

Прямому воздействию ударной волны на колпачковую мембрану препятствуют изменения направления подводного канала, 40 образованные днищем стеклянного опорного элемента и стенками канала, вследствие чего происходит ее гашение по достижению волной мембраны. Кроме того, полость корпуса имеет больший обьем, чем подводный канал, вследствие чего происходит дополнительное гашение ударной волны.

Кольцевая канавка, охватывающая место монтажа стеклянного опорного элемента в основании корпуса, ослабляет его в месте канавки, и возникшие в процессе эксплуатации тепловые расширения и механические усилия на корпусе датчика или штуцера вызывают таким образом деформацию корпуса в месте кольцевой канавки, не передавая напряжений на чувствительную колпачковую мембрану, повышая точность измерения датчика.

Формула изобретения

1. Датчик давления, содержащий полый корпус с основанием и входным штуцером и расположенный внутри корпуса стеклянный. опорный элемент, к торцу которого прикреплена полупроводниковая колпачковая мембрана с тензорезисторами, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения надежности и долговечности, в нем стеклянный опорный элемент выполнен сплошным и закреплен на основании корпуса над штуцером, а на внутренней поверхности основания корпуса выполнен по крайней мере один канал, соединяющий канал штуцера с полостью корпуса, который выполнен герметичным.

2. Датчик по и. 1, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью повышения точности, в нем на внутренней поверхности основания корпуса соосно со штуцером вокруг стеклянного опорного элемента выполнена кольцевая канавка.

1828999

Составитель Н. Наседкина

Техред M.Mîðãåíòàë Корректор М. Андрушенко

Редактор

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, уп.Гагарина, 101

Заказ 2474 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открыиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., 4/5