Устройство для рафинирования полупроводниковых материалов и их соединений

 

Сущность изобретения заключается в том, что устройство содержит фильтрующую камеру с фильтровальным элементом и материалоприемником, размещенные в контейнере. Фильтрующая камера, материалоприемник и контейнер изготовлены из стеклоуглерода, боковая поверхность фильтрующей камеры выполнена в виде конуса, фильтрующая камера размещена над материалоприемником , контейнер помещен в камеру,заполненную инертным газом. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 С 22 В 9/00

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ (21) 5036296/02 (22) 09.04,92 (46) 23.08.93. Бюл. bh 31 (71) Арендное предприятие "Комбинат Урал электромедь" .(72) О.П. Шепатковский, А.А, Фролов, О.А.Симонова, С.А.Матсон, К.А.Плеханов и С.А.Мастюгин (73) Арендное предприятие "Комбинат Ура лэлектромедь" (56) Авторское свидетельство СССР

М 1295762, кл. С 22 В 9/00, 1984.

Изобретение относится к металлургии, в частности к устройствам для рафинирования металлов и сплавов, и может быть использовано для очистки полупроводниковых материалов и их соединений, например

Те, Se, As, Pb, PbTe, CdTe.

Целью изобретения является повышение качества рафинирования полупроводниковых материалов и их соединений.

На чертеже показано устройство для рафинирования полупроводниковых материалов и их соединений.

Оно содержит фильтрующую камеру 1 с фильтровальным элементом 2, материалоприемник 3, контейнер 4, камеру 5.

Устройство работает следующим образом.

В фильтрующую камеру 1, представляющую собой стеклоуглеродный тигель (объемом 1 дмз, с диаметром дна 70 мм), загружали (2 кг) порошок очищаемого материала (напр. Те — 99,9%, Se — 99.5%).

Фильтрующую камеру устанавливали над материалоприемником 3, представляю Ж 183б463 АЗ (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАФИНИРОВАНИЯ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ И

ИХ СОЕДИНЕНИЙ (57) Сущность изобретения заключается в том, что устройство содержит фильтрующую камеру с фильтровальным элементом и материалоприемником, размещенные в контейнере. Фильтрующая камера, материалоприемник и контейнер изготовлены из стеклоуглерода, боковая поверхность фильтрующей камеры выполнена в виде конуса, фильтрующая камера размещена над материалоприемником, контейнер помещен в камеру, заполненную инертным газом. 1 э.п. ф-лы, 1 ил, щие собой стеклоуглеродный тигель (объемом 0;5 дм, Я дна = 50 мм). Всю сборку помещали в стеклоуглеродный контейнер, находящийся в герметичной камере 5, заполненной инертным газом и нагревали для расплавления материала. B фильтрующей камере происходил процесс интенсивного QO плавления, при котором содерх:эщиеся в 4) материале не металлические включения и О, газы интенсивно выделялись и всплывали )с на поверхность материала. Расплавленный О материал, проходя через фильтровальный элемент 2 интенсивно рафинировался и опускался на дно металлоприемника 3. В свою очередь продукты реакции рафинирования (окислы, газы идр. включения) вслпывали на (Л) поверхность материала.

По окончании рафинирования (через 1 ч) осадок, оставшийся на фильтровальном элементе, удаляли.

Очищенный материал (напр. те. ЯР) имел степень чистоты 99,9999 .

1836463

Составитель Ф. Хусаинов

Редактор Е, Полионова Техред M.Mîðãåíòàë Корректор М. Куль

Заказ 3010 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного. комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4!5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Использование заявляемого устройства обеспечивает по сравнению с известным устройством следующие технические преимущества; повышение качества рафинирования (до 99,9999 g,); возможность использования устройства для рафинирования таких материалов, как теллур, селен, мышьяк, свинец и их соединений (PbTe, CdTe).

Общественно-полезные преимущества заявляемого устройства могут быть выражены в снижении стоимости рафинирования, „эыергозатрат на 1 кг очищаемого материала, рбеспеченйи экологической чистоты процесса рафйнирования, воспроизводимости

" -й стабильности его, улучшении охраны тру а; Кроме того, материал устройства предполагает его многоразовое использование (стеклоуглерод — практические нерасходимый конструкционный материал).

Формула изобретения

1, Устройство для рафинирования полупроводниковых материалов и их соединений, содержащее фильтрующую камеру с фильтровальным элементом и материалоприемник, помещенные в контейнер, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что фильтрующая камера. материалоприемник и контейнер выполнены из стеклоуглерода, боковая поверхность фильтрующей камеры выполнена в виде конуса, фильтрующая камера установлена над материалоприемни10 ком, контейнер помещен в камеру, заполненную инертным газом, а фильтровальный элемент выполнен в днище камеры в виде перфорированной поверхности.

2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е15 с я тем, что фильтровальный элемент выполнен в виде щелей размерами: ширина 100 300 мкм, длина 50-200 мм при толщине днища 1-3 мм, расположенные по всей поверхности,или в виде отверстий размерами: диаметр 100—

20 300 мкм, равномерно расположенных по всей поверхности с концентрацией 20-100 отверстий на 1 см поверхности.