Устройство для дозированной подачи паров

 

ОПИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

94I6

Союз Советских

Социалистических

Рвслублии

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 06.Ч.1966 (№ 1075077/22-1) 12g, 17/26 с присоединением заявки №

Приоритет

В 011

Комитет оо делаю изобретений и открытий ври Совете Министров

СССР

669.094.28:66.028.002 .5(088.8) Опубликовано 26.1.1968. Бюллетень ¹5

Дата опубликования описания 25.III.1968

Авторы изобретения

Н. Н. Иноземцев, В. С. Килин, А. Г. Кузьмин, С. 3. Мартынов и Ю. С. Тарасов

3 аявител ь

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОВАННОЙ ПОДАЧИ ПАРОВ

Известны устройства для дозированной подачи паров исходных соединений металлов в аппараты для осаждения металлов из паровой фазы, состоящие из испарительной камеры с отверстием для выхода паров, снабженной нагревателем, и устройства для регулирования расхода па ров.

Особенностью предложенного устройства является то, что оно выполнено с соплом нормального профиля, встроенным в отверстие для выхода паров, и с датчиком давления, введенным в полость камеры. Это позволяет повысить точность дозирования подаваемых паров соединений.

На чертеже схематически изображено устройство для дозированной подачи паров.

Устройство состоит из герметичной иопарительной камеры 1 с отверстием 2 для выхода паров испаряемого соединения и нагревателя 8. Отверстие 2 камеры перекрыто игольчатым вентилем 4 и снабжено соплом 5 нормального профиля. В полость испарительной камеры введен датчик 6 да вления, Полость воронки и трубки, находящихся в камере, заполнена сплавом Вуда.

Устройство работает следующим образом.

Исходное твердое соединение металла загружают в камеру до заполнения ее на две трети, после чего камеру герметизируют и присоединяют к рабочей камере аппарата для осаж дения металлов. Затем включают нагреватель испарительной камеры и создают в камере давление, превышающее давление рабочей камеры не менее чем в два раза. Пары в камеру подают при полностью открытом вентиле.

При поддержании в испарительной камере давления, превышающего давление в рабочей камере не менее чем в два раза, скорость

10 истечения пара через сопло равна скорости звука в данной среде и расход подаваемых паров зависит только от давления в испарителе и температуры пара и не зависит от давления в рабочей камере. Давление в испари15 тельной камере измеряют датчиком, в зависимости от показаний которого регулируют подаваемую на нагреватель мощность.

Предмет изобретения

20 Устройство для дозированной подачи паров соединений металлов, например, в аппарат для осаждения металлов из назаровой фазы, включающее иопарительную камеру с отверстием для выхода паров, снабженную нагре25 вателем, и дозатор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности дозирования, оно выполнено со встроенным в отверстие для выхода паров соплом нормального профиля и введенным в полость камеры датчиком давЗО лени я.

209416

Составитель Т. Г. Фирсова

Текред Л, Я, Бриккер Корректоры: В. В. Крылова и С. П. Усова

Редактор И. С. Грузова

Типография, пр. Сапунова, д. 2

Заказ 500/IO Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4