Электродуговой испаритель металлов

 

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН

К ПАТЕНТУ

Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам (21) 4931900/21 (22) 29.0491 (46) 15.1193 Ьол. Ив 41-42 (73) Научно-производственное предприятие "Новатех" (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕИЪ МЕТАЛЛОВ (57) Использование: при нанесении покрытий в вакууме преимущественно на изделия больших площадей Сущность изобретения: катод электродугового испарителя выполнен в виде полос соединенных общим основанием. На конце каждой по<в) Щ1 (и) 2002813 С1

tSIf лосы катода и на его основании расположен индивидуальный токоподвод подключенный. к соответствующему ключу. Все ключи соединены с блоком управления переключением ключей. к которому так же подсоединены датчики положения катодного пятна (ДПКП). ДПКП выполнены в виде протяженных эпектропроводных элементов, которые установлены над поверхностью испарения катода

Один из ДПКП расположен вдоль основания катода, а другой — вдоль свободных концов его полос

2 ил.

2002853

Изобретение относится к технике вакуумной металлизации и может быть использовано для получения металлических покрытий преимущественно на изделиях больших площадей.

Известен электродуговой испаритель, содержащий катод из испаряемого материала с токоподводами, подсоединенными к . управляемым ключам, которые соединены с блоком управления переключением ключей, подсоединенным так же к двум датчикам положения катодного пятна, расположенным в зонах токоподводов, В этом испарителе катодное пятно дуги сканирует по поверхности протяженного катода в сторону включенного токоподвода.

При достижении катодным пятном конца катода датчики крайнего положения катодного пятна с помощью ключа в цепи токоподвода переключают токоподвод и катодное пятно движется в противоположном направлении. Таким образом, осуществляется непрерывное возвратно-поступательное движение катодного пятна вдоль оси незамкнутого катода. Для нанесению покрытий на большие площади с соизмеримыми поперечными размерами необходимо перемещать изделие относительно катода, что усложняет конструкцию устройс гва.

Целью изобретения является повышение качества обработки поверхностей иэделий, протяженных по двум координатам.

Поставленная цель достигается тем, что в известном электродуговом испарителе металлов, содержащем катод из испаряемого материала с токоподводами, подсоединенными к управляемым ключам, соединенным с блоком управления переключением ключей. который подсоединен также к двум датчикам положения катодного пятна, расположенным в зонах токоподводов,, согласно изобретения, катод выполнен в виде полос, соединенных общим основанием, на конце каждой полосы и на основании катода расположен индивидуальный токоподвод; соединенный с соответствующим управляемым ключом, датчики положения катодного пятна выполнены в виде протяженных электропроводных элементов, установленных над поверхностью испарения катода. причем один из них расположен вдоль основания катода, а другой — вдоль свободных концов его полос.

На фиг. 1 представлена конструктивная схема электродугового испарителя; на фиг.

2 — вид на испаритель в плане.

На фиг. 1 в вакуумной камере 1, которая одновременно является анодом расположен прямоугольный катод 2. состоящий из полос 3-9, соединенных общим основани50

55 датчика 25 появляется электрический импульс. который через блок 26 управления воздействует на ключ 30 в цепи основания катода 2. Катодное пятно начинает двигаться к основанию катода 2.

Так блок 26 управления обеспечивает последовательное включение ключей 17-23 всех полос 3-9, в результате чего катодное пятно перемещается по всему катоду. Поскольку по полосам катода протекает токи одного направления и при этом в соседних ем. На концах полос со стороны катода, про тивоположнои его поверхности испарения, установлены индивидуальные токоподводы

10-16. Каждый токоподвод подсоединен к соответствующему ключу 17-23, через который соединен с отрицательным полюсом источника 24 электропитания. Над поверхностью испарения катода 2 вдоль концов полос 3.-9 установлен датчик .25 крайнего положения катодного пятна s виде протяженного злектропроводного элемента; который является общим для всех полос катода 2. Вывод датчика 25 выведен наружу вакуумной камеры 1 и подсоединен к электронному блоку 26 управления переключением ключей по заданной программе.

Изолированный кран 27 (корытообразный) ограничивает поверхность испарения катода 2, 20 На фиг. 2 показан еще один аналогичный датчик 28 крайнего положения катодного пятна, выполненный в виде протяженного электропроводного элемента и установленный над поверхностью испарения катода 2 вдоль его общего основания, имеющего индивидуальный токоподвод 29 к которому подсоединен собственный ключ

30. Датчик 28 и ключ 30 также подсоединены как блоку 26 управления переключением

30 ключей.

Работает электродуговой испаритель металлов следующим образом.

С помощью поджигающего устройства (на чертежах не показано). установленного

35 на крайней полосе 3 катода 2 возбуждают на.катоде 2 катодное пятно. Блок 26 управления переключением ключей включает ключ

ЗО в цепи токоподвода 29 к общему основанию катода 2. Катодное пятно под воздейст40 вием магнитного поля тока, текущего по полосе Ç,.движется к общему основанию катода 2. Когда катодное пятно достигнет основания катода 2, в цепи датчика 28 возникает электрический импульс. Датчик 28, 45 подсоединенный к блоку 26 управления, включает ключ 18 в цепи токоподвода 11 и катодное пятно начинает двигаться по полосе 4 в сторону токоподвода 11, Когда катодное пятно достигнет края полосы 4, в цепи

2002853 полосах токи отсутствуют. то движение катодного пятна по полосам катода стабильное.

Размеры катода могут быть как угодно велики, при этом катодное пятно перемещаФормула изобретения

ЭЛЕКТРОДУГОВОИ ИСПАРИТЕЛЬ

МЕТАЛЛОВ, содержащий катод из испаряемого материала с токоподводами, подсоединенными к управляемым ключам, соединенным с блоком управления переключением ключей, подсоединенным к двум датчикам положения катодного пятна, расположенным в зонах токопадводов, отличающийся тем. что, с целью повышения качества обработки поверхности изделий, протяженных по двум координатам, катод выполнен в виде полос, соединенных ется по полосам катода, обеспечивая обработку всей поверхности изделия, протяженного по двум координатам, (56) Авторское свидетельство СССР

5 М 461163. кл, С 23 С 14/32, 1975. общим основанием, при этом на конце каждой полосы и основании катода расположен индивидуальный токоподвод, соединенный с соответствующим управляемым ключом, датчики положения катодного пятна выполнены в виде протяженных электропроводных элементов, установленных

5 над поверхностью испарения катода, причем один протяженный электропроводный элемент расположен вдоль основания катода, а другой - вдоль свободных концов

его полос.

2002853 илючам

Составитель С. Григорьев

Техред M. Моргентал Корректор С. Юско

Редактор

Тираж Подписное

НПО "Поиск" Роспатента

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Заказ 3219

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101