Датчик давления
Использование: в измерительной технике, в частности в датчиках давления в медицине при измерении давления крови косвенным методом. Сущность изобретения: для повышения чувствительности датчик давления содержит мембрану, жестко связанную с упругой четырехплечей балкой 3 с полупроводниковыми тензорезисторами 6 одного типа проводимости, закрепленными поочередно сверху и снизу рабочих плеч 5 балки. 2 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в медицине для измерения давления крови косвенным методом, а также в других областях науки и техники, где требуется высокая чувствительность датчиков давления с широким диапазоном измерения.
Известен датчик давления почвы, содержащий корпус с мембраной, тензорезисторы, закрепленные на мембране, и крышку [1]. Недостатком устройства является невысокая чувствительность. Наиболее близким к предлагаемому устройству является датчик давления [2], который выбран в качестве прототипа. Известный датчик содержит мембрану со штоком, соединенным с центром жестко заделанной упругой балки с тензорезисторами, и корпус. Недостатком датчика-прототипа являются малая чувствительность и невозможность его использования для измерения давления крови косвенным методом. Изобретение направлено на повышение чувствительности датчика давления. Это достигается тем, что в датчике давления упругая балка выполнена четырехплечей, тензорезисторы выполнены полупроводниковыми одного типа проводимости и закреплены на концах плеч балки, расположенных со стороны заделки, причем одна пара диаметрально противоположно расположенных тензорезисторов закреплена на внешней поверхности соответствующих плеч балки, обращенной к мембране, а другая пара диаметрально противоположно расположенных тензорезисторов закреплена на внутренней поверхности соответствующих плеч балки. На фиг. 1 представлен предлагаемый датчик, общий вид; на фиг. 2 - вид на четырехплечую балку. Колпачковая мембрана 1 жестко закреплена в корпусе 2. Центр мембраны 1 жестко связан с центром упругой четырехплечей балки 3 при помощи штока 4. Упругая четырехплечая балка 3 жестко защемлена в корпусе 2. На рабочих плечах 5 упругой балки размещены поочередно снизу и сверху тензорезисторы 6 одного типа проводимости. Тензорезисторы включены по полной мостовой схеме, что приводит к снижению температурной погрешности. Датчик работает следующим образом. При подаче давления центр мембраны 1 прогибается, при этом при помощи штока 4 прогибаются плечи 5 упругой балки. В тензорезисторах 6 поочередно возникают механические напряжения разного знака, при этом у них также поочередно возникают изменения электрического сопротивления разных знаков, что обеспечивает возможность их включения по полной активной мостовой схеме. Такое размещение тензорезисторов на упругой балке позволяет использовать упругий элемент минимально допустимой толщины по условиям передачи механических напряжений, что обеспечивает минимальную жесткость упругой балки, в целом и, как следствие, максимальную чувствительность датчика с широкими пределами измерений. Использование тензорезисторов одного типа проводимости резко снижает паразитную температурную погрешность датчика.Формула изобретения
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий закрепленную в корпусе мембрану с центральным штоком, соединенным с центром жестко заделанной упругой балки с тензорезисторами, отличающийся тем, что в нем упругая балка выполнена четырехплечей, тензорезисторы выполнены полупроводниковыми одного типа проводимости и закреплены на концах плеч балки, расположенных со стороны зоны заделки, причем одна пара диаметрально противоположно расположенных тензорезисторов закреплена на внешней поверхности соответствующих плеч балки, обращенной к мембране, а другая пара диаметрально противоположно расположенных тензорезисторов закреплена на внутренней поверхности соответствующих плеч балки.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2
Похожие патенты:
Тензометрический датчик давления // 2029264
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензометрическим датчикам давления, и может найти применение для измерения давлений жидких и газообразных сред
Тонкопленочный датчик давления // 2028588
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тонкопленочным датчикам давления, предназначенным для измерения давления агрегатов ЖРД в условиях воздействия повышенных нестационарных температур агрессивных измеряемых сред
Тонкопленочный датчик давления // 2028587
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давлений агрегатов ЖРД в условиях воздействия резкого изменения широкого диапазона температур
Датчик давления и способ его изготовления // 2028586
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при конструировании в изготовлении датчиков давления, работоспособных в условиях воздействия агрессивных сред и нестационарных температур измеренной среды
Датчик давления // 2028585
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при конструировании и изготовлении датчиков давления, применяемых в изделиях ракетно-космической техники
Изобретение относится к тензорезисторным датчикам давления и может быть использовано при измерении давления в условиях воздействия на датчик нестационарной температуры измеряемой среды
Датчик давления // 2028583
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давлений в условиях воздействия нестационарной температуры измеряемой среды (термоудара)
Датчик давления // 2026537
Датчик давления // 2026536
Изобретение относится к измерительной технике и может быт использовано для измерения давления в условиях воздействия широкого диапазона температур и повышенных виброускорений
Устройство для измерения давления // 2024831
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в устройствах измерения давления с токовым выходным сигналом
Двухмембранный тензопреобразователь давления // 2101688
Чувствительный элемент // 2106610
Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давлений, и может быть использовано для измерения перепада давлений жидких и газообразных сред, например в расходомерах перепада давлений в качестве дифференциального монометра
Датчик давления // 2115101
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к тензометрическим датчикам давления
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур
Тензометрический преобразователь давления // 2120116
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации давления различных сред
Изобретение относится к области измерительной техники и автоматики и может быть использовано в малогабаритных полупроводниковых электромеханических преобразователях разностного давления газообразных или жидких веществ в электрический сигнал
Преобразователь давления // 2134408
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления агрессивных жидких и газообразных сред
Полупроводниковый датчик давления // 2134869
Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления