Устройство для автоматической фокусировки излучения

 

Использование: автоматика, накопление информации оптическими средствами, видео- и звуковые проигрыватели. Сущность изобретения: подвижный элемент скольжения перемещается в осевом направлении в неподвижном элементе посредством привода фокусировки, функционирующего в соответствии с сигналами блока управления. На фотоприемниках фотоприемного блока формируют интерференционную картину, а фотоприемники объединены в группы и включены в противофазе. Блок управления осуществляет цифровое управление приводом фокусировки. 12 ил.

Изобретение относится к автоматике и накоплению информации оптическими средствами, в частности к технике записи-воспроизведения информации, и может быть использовано в звуковых и видеопроигрывателях и прочих средствах обеспечения оптической записи-воспроизведения информации.

Известно устройство, содержащее исполнительный орган, вспомогательный лазер, луч которого через систему зеркал под углом попадает на микрообъектив и фокусируется на металлической поверхности пленки заготовки диска, далее, отражаясь, возвращается через объектив на фотоприемник с двумя спаренными чувствительными элементами. Если чувствительная поверхность носителя информации совпадает с фокальной плоскостью микрообъектива, то световой поток направляется объективом точно на границу раздела фоточувствительных элементов. В этом случае фототоки двух светодиодов равны, а блок реверса формирует нулевое напряжение. Если же поверхность чувствительного слоя будет смещена относительно фокальной плоскости микрообъектива, световой поток будет выходить из микрообъектива под некоторым углом, зависящим от величины и знака расфокусировки. Точка фокусировки излучения на поверхности фотодиодов смещается относительно границы раздела. На выходе блока появится напряжение, знак которого однозначно связан с направлением расфокусировки. Подключение исполнительного элемента перемещения микрообъектива к выходу блока позволяет замкнуть цепь автоматического регулирования [1] Микрообъектив перемещается в такт с биениями заготовки, обеспечивая совмещение фотоканальной плоскости микрообъектива с поверхностью светочувствительного слоя диска с точностью не хуже 0,5 мкм в полосе частот биений 0-100 Гц. Для наведения на начальный репер и контроля точности фокусировки применяется микроскоп визуального контроля с увеличением 600х.

В системах автофокусировки с вспомогательным лазером, луч которого направлен под углом к оптической оси микрообъектива, используют разные длины волн рабочего источника и вспомогательного, чтобы снизить перекрестные помехи. Это делает необходимым использовать оптические фильтры, что усложняет расчет и реализацию оптической системы.

Наиболее близким по технической сущности является устройство для автоматической фокусировки излучения на носителе в системе записи-воспроизведения информации, содержащее генератор, исполнительный элемент фокусировки, коммутатор и последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) и фильтр нижних частот, а также двухконтурный блок управления, один контур которого состоит из последовательно соединенных фотоприемного блока и дифференциального усилителя, подключенного выходом к сигнальному входу коммутатора, выход которого связан с входом исполнительного элемента фокусировки, а также последовательно соединенные суммирующий резистивный блок и согласующие усилители, через которые выход коммутатора связан с входами исполнительного элемента фокусировки, и последовательно соединенные блок синхронизации импульсов и блок оптронной развязки, при этом блок синхронизации импульсов состоит из последовательно связанных логической схемы ИЛИ и счетчика, входами блока синхронизации являются входы логической схемы ИЛИ, а выходом выход счетчика, коммутатор выполнен в виде двойного мультиплексора, с синхронизирующим входом которого соединен выход блока оптронной развязки, а с другим сигнальным входом выход фильтра нижних частот, другой контур блока управления выполнен четырехканальным, каждый из каналов которого включает в себя датчик углового положения носителя, два RS-триггера, реверсивный счетчик трех состояний, компаратор и цифровой задатчик синтезированных импульсов, выход которого связан с входом компаратора, другой вход которого соединен с выходом реверсивного счетчика, а выход с входом сброса первого RS-триггера, синхронизирующие входы RS-триггеров связаны с выходом датчика углового положения носителя, выход первого RS-триггера соединен со счетным входом реверсивного счетчика, с информационными входами которого связаны выходы другого RS-триггера, выход генератора подключен к тактовым входам реверсивных счетчиков всех каналов, выходы реверсивных счетчиков всех каналов соединены с входами ЦАП, выходы датчиков углового положения носителя всех каналов подключены к входам логической схемы ИЛИ блока синхронизации импульсов, а выход датчика углового положения носителя каждого последующего канала подключен к входам сброса другого RS-триггера и реверсивного счетчика трех состояний предшествующего канала [2] Фотоприемный блок представляет собой оптическую систему, содержащую лазер, светоделительный кубик, микрообъектив, лимб, плоскость отражения которого помещена в фокальную плоскость микрообъектива, щелевую диафрагму и фотоприемник.

В системе использован вспомогательный лазер. Луч его пространственно отделен от луча технологического лазера, а для автофокусировки используется вспомогательная проекционная система.

Недостаток этой системы состоит в ограниченности ее технологических возможностей, так как представляется затруднительным реализовать пространственную многослойную запись с автоматическим переходом от одного слоя к другому.

Цель изобретения повышение точности фокусировки и упрощение конструкции электронной части устройства.

Для достижения цели в устройстве для автоматической фокусировки излучения, содержащем подшипник на газовой смазке с подвижным и неподвижным элементами скольжения, датчик фокусировки с последовательно установленными на оптической оси лазерного источника излучения светоделителем, объективом и носителем информации с информационными дорожками, а также фотоприемным блоком, установленным с возможностью проецирования на него через светоделитель информационных дорожек носителя информации, выходы фотоприемного блока соединены с входами блока управления, выход которого подключен к приводу фокусировки, причем блок управления состоит из двух усилителей, аналого-цифрового преобразователя, генератора, коммутатора, схемы синхронизации, резистивного блока и задатчика позиции фокуса, в датчик фокусировки введены зеркало и дополнительный объектив, установленный между светоделителем и фотоприемным блоком, а в блок управления схема осреднения, выполненная в виде сумматора на операционном усилителе, генератор выполнен управляемым, фотоприемный блок, дополнительный объектив, светоделитель, зеркало и объектив установлены внутри подвижного элемента скольжения подшипника на газовой смазке, зеркало оптически связано с объективом, а также с фотоприемным блоком через светоделитель и дополнительный объектив, подвижный элемент размещен внутри неподвижного с возможностью перемещения вдоль оптической оси лазерного источника излучения, привод фокусировки размещен на неподвижном элементе и магнитосвязан с подвижным элементом подшипника на газовой смазке, фотоприемники фотоприемного блока объединены в две группы, в каждой из которых фотоприемники установлены параллельно на краях проекций соответствующих информационных дорожек, группы размещены с параллельным смещением друг относительно друга и подключены в противофазе, усилители блока управления установлены параллельно и их входы подсоединены к входам блока управления, а выходы к входам сумматора, связанного выходом с входом аналого- цифрового преобразователя, первым входом схемы синхронизации и входом резистивного блока, выходы которого соединены с первым групповым входом схемы синхронизации, вход синхронизации и второй групповой вход которой подключены к соответствующим входам аналого-цифрового преобразователя, выходы схемы синхронизации соединены с входами управляемого генератора, выход которого через коммутатор подключен к выходу блока управления, при этом схема синхронизации выполнена из N RS-триггеров с объединенными R-входами, выходы которых соединены с управляющими входами N мультиплексоров "2 на 1", подсоединенных выходами к соответствующим выходам схемы синхронизации, сигнальные шины мультиплексоров связаны с первыми групповыми входами схемы синхронизации, объединенные R-входы RS-триггеров с входом синхронизации, S-входы RS-триггеров с вторыми групповыми входами схемы синхронизации, а выходы задатчика позиции фокуса соединены с групповыми входами аналого-цифрового преобразователя блока управления.

На фиг. 1 представлено устройство в разрезе, общий вид; на фиг. 2 то же, поперечный разрез; на фиг. 3 конструкция жиклера истечения газовой смазки в теле неподвижного элемента; на фиг. 4 блок-схема блока управления; на фиг. 5 структура повторяющихся блоков в схеме синхронизации; на фиг. 6 оптическая схема устройства; на фиг. 7, 8 упрощенные кинетические построения для доказательства изменения оптической разности хода и расщепленных лучей при осевом смещении подвижного элемента скольжения; на фиг. 9 фрагмент блок-схемы, поясняющий его работу; на фиг. 10 матрица фотоприемников в фокусе микрообъектива на поверхности чувствительного слоя, формирующая интеpферограмму; на фиг. 11 диаграммы сигналов фотопреобразования; на фиг. 11А сигнал с первого ряда чувствительных элементов; на фиг. 11Б сигнал с второго ряда; на фиг. 11С сигнал на выходе сумматора; на фиг. 12 структура схемы осреднения сигнала фотопреобразования.

Устройство содержит (фиг. 1) объективы 1 и 2 проекционных систем, неподвижный 3 и подвижный 4 элементы скольжения на газовой смазке, взаимодействующие с возможностью осевого перемещения исполнительным приводом 5 (приводом фокусировки), датчик положения фокуса F рабочей компоненты луча 7, светоде- лительную поверхность 8, отражатель 9, носитель 10 информации, фотоприемный блок 11 и блок 12 управления.

В неподвижный элемент 3 вмонтированы перепускные каналы 13 подвода газовой смазки к жиклерам 14 (фиг. 2, 3), а торцовая сферическая поверхность 15 (фиг. 1) неподвижного элемента с центром сферы в точке фокуса F взаимодействует с основанием 16 посредством регулировочных винтов 17.

Расщепленные компоненты лучей обозначены (фиг. 1, 6): 18 луч, падающий под углом к нормали поверхности носителя 10 информации и обеспечивающий изменяющуюся оптическую разность хода расщепленных лучей при торцовых биениях на L поверхности носителя 10 информации; 19 луч, отраженный от поверхности носителя 10 информации, отражателя 9 и прошедший светоделитель 8 в ортогональной плоскости к лучу 7; 20 луч неизменного оптического хода, полученный в результате деления луча 7 на светоносителе 8; 20' луч с изменениями оптического хода.

Энергетические значения лучей 6, 7, 18-21 и отраженных компонентов обозначены (фиг. 6): W2' рабочий луч 6; W входящий луч 7; W2'' нормально отраженная компонента от поверхности носителя 10 информации; W3' отраженная компонента от светоделителя 8; W4' отраженная компонента от отражателя 9; W4'' отраженная компонента со смещением l на поверхности носителя информации; W5'' отраженная компонента от отражателя 9 в ортогональной плоскости;
W5''' компонента, прошедшая светоделитель 8;
W1' компонента с постоянным оптическим ходом l3, отраженная от светоделителя 8.

Блок 12 управления включает в себя генератор 21 (фиг. 4) управляемой частоты импульсов, фотоприемный блок 11, фотоприемники которого сгруппированы в группы 22. Фотоприемники в каждой из групп смещены на -фазу световой волны источника излучения, а каждая группа запараллельных фотоприемников подключена к усилителям 23 в противофазе, аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 24, схему 25 синхронизации генератора 21, подключенного к коммутатору 26 исполнительного привода 5 (привода фокусировки), задатчик 27 позиции фокуса, сумматор 28. Схема 25 синхронизации подключена первым входом к выходу сумматора 28, объединенному c входом АЦП 24, соединенного выходом с вторым (а шина) R-входом схемы 25 синхронизации, первый групповой (S1.Si)-вход этой схемы подключен к выходам блока 29 элементов 3И (совпадений) (фиг. 9), второй групповой вход схемы 25 подключен к выходам блока 30 резисторов дискретно изменяющего номинала.

АЦП 24 (фиг. 4) включает в себя блок 31 пороговых элементов 31 (1...n), блоки 32, 33 D-триггеров, блок 34 инверторов, логический элемент n И-ИЛИ 35 и блок 29 элементов 3И (совпадений).

Пороговые элементы блока 31 выполнены с возрастающими дискретно порогами срабатываний и подключены поканально к информационным входам первого блока 32 D-триггеров, а также к входам блока 34 инверторов, которые подключены к информационным входам второго блока 33 D-триггеров.

Блоки 32, 33 и блок 34 инверторов подключены поканально через соответствующие триггеры блока 33 к элементам совпадения в логическом элементе n И-ИЛИ 35, смежные пороговые элементы блока 31 соединены с двумя входами совпадения каждого элемента 3И в блоке 29 (фиг. 9), а третий вход каждого элемента 3И является информационным входом АЦП 24 (фиг. 4, 9), которые подключены к входам задатчика 27 позиции фокуса. Схема 25 синхронизации включает в себя структуры RS-триггеров 36(1...i)(фиг. 4, 5, 9), объединенные R-входами, а выходы триггеров подключены к управляющим входам мультиплексоров 37(1...i), выходы последних являются выходами блока 25, а их первые входы объединены у всех мультиплексоров и являются первым входом блока 25, а вторые являются групповыми входами блока 25, который подключен к групповым выходам блока 30 резисторов (фиг. 4).

Задатчик 27 позиции фокуса включает в себя буферный регистр 38, подключенный к управляющим Si-входам мультиплексора 39 "1 на n". Луч 7 (W) монохроматического источника (фиг. 1, 6) расщепляется на светоделителе 8 на составляющие W1' и рабочий луч 6 (W2') в ортогональных плоскостях. Отраженная компонента W2'' от плоскости носителя 10 информации, имеющей торцовые биения со смещениями h по оптической оси объектива 1, отражается от светоделителя 8 в ортогональной плоскости и в виде компоненты W3' отражается от отражателя 9 (W4') с направлением падения под углом к нормали плоскости носителя информации 10. Пройдя объектив 1 и отражаясь от плоскости носителя 10 со смещением l от оптической оси объектива (ввиду наклона под углом ), компонента W4'' отражается от отражателя 9 (W5'') в ортогональной плоскости и в качестве компоненты W5''' проходит светоделитель 8, соединяясь посредством объектива 2 с компонентой W1' в его фокальной плоскости, создает интерферограмму в соответствии с оптической разностью хода лучей по плечам (l3 + l2) и h.

Изменения оптической разности хода лучей в связи с изменением одного из плеч вызывают смещение полос интерферограммы, что регистрируется фотоприемным блоком 11. Из построений на фиг. 7 и 8 приведем доказательства того, что изменения оптической разности хода лучей при смещении подвижного элемента по оптической оси объектива 1 на h действительно имеют место.

Изменение плеча l1 (фиг. 6) на l при подвижке подвижного элемента 4 на h дает:
l h (1)
Обозначим ход луча W4' (фиг. 6, 7) под углом С-отрезком, а двойной ход (с учетом луча W4'') 2 С.

Рассмотрев соотношение приращений на фиг. 8:
h C cos (2) или заменив на коэффициенты:
К cos h К С, а с учетом (2) h 2К С
С учетом (1) l 2к С.

Из (3) С l/2К (3)
Условно примем: l единичное приращение:
l 1, тогда С 1/2к (4)
Из (4) видно, что при единичном приращении h 1 изменение хода одного из расщепленных лучей
l 1, (5) а изменение хода другого расщепленного луча
C 1 (сравним по (4)) Следовательно, оптическая разность хода лучей при подвижках подвижного элемента 4 (фиг. 1) имеет место.

Эти изменения вызывают сдвиг интерферограммы и анализируются в блоке 12 (фиг. 4), а возникающие рассогласования отрабатываются исполнительным приводом 5. При подвижках в режиме слежения за изменениями h поверхности носителя 10 восстанавливается заданное цифровым кодом положение неизменности оптической разности хода лучей и в результате этого фокус F может следить не только за поверхностью носителя 10 информации, но и находиться на некоторой глубине от этой поверхности с сокращением постоянства глубины в динамике. Это позволяет осуществлять многослойную запись с просвечиванием поверхности и существенно увеличить плотность записи по количеству числа слоев. Точность позиционирования определяется возможностями системы регулирования.

В статическом состоянии осуществляется самоцентрирование подвижного элемента 4 на воздушной смазке. Расход воздушной смазки сравнительно мал и обеспечивается конструкцией жиклеров (фиг. 3) с отверстием истечения диаметром порядка 0,06 мм.

Подвижный элемент 4 (фиг. 1) подвешен с возможностью осевых перемещений электромагнитными силами взаимодействия с исполнительным приводом 5 (приводом фокусировки), а неподвижный элемент 3 фиксирован на основании 16 по поверхности 15 регулировочными винтами.

Фотоприемники фотоприемного блока 11 сгруппированы со смещением на -фазу световой волны источника излучения (фиг. 4) в группы 22 (фиг. 10), запараллеленные по группам и объединенные по двум каналам через усилители 23 на входы сумматора 28, выполненного на операционном усилителе. При взаимодействии с полосами интерферограммы такая схема дает увеличение крутизны выходного сигнала сумматора при осреднении по передним и задним фронтам импульсов. Пусть на задатчике 27 (фиг. 4) позиции фокуса возбуждена i-шина за счет подачи кода на информационные Si-входы мультиплексора 39 "1 на n". При плюс-рассогласовании сигнал Wiна выходе сумматора 28 возрастает за счет смещения полос интерферограммы. При возрастании Wi происходит последовательное срабатывание пороговых элементов (311.31n).

В момент срабатывания порогового элемента, например 31n-1осуществляется подготовка к срабатыванию D-триггера 32n, которое происходит при срабатывании порогового элемента 31n положительным перепадом по С-входу. На выходе инвертора 34n формируется логический "0" (при формировании логической "1" на его входе), и это подготавливает D-триггер 33n к срабатыванию, которое произойдет при положительном перепаде на С-входе D-триггера 33n, то есть когда пороговый элемент 31nвозвратится в исходное состояние "0".

До того, как это произойдет, наличие логической "1" на выходах пороговых элементов 31n-1 и 31n (заштрихованы на фиг. 4) и заданное возбуждение логической "1" информационной шины аi задатчика 27 обеспечат срабатывание элемента 3И в блоке 29 элементов совпадений, что вызывает S-срабатывание триггера 36i в схеме 25 синхронизации (фиг. 4, 5). Возникшее состояние триггера посредством мультиплексора 37i и "2 на 1" коммутирует шину с соответствующим резистором 30i, а сигнал выхода схемы синхронизации воздействует на генератор 21 управляемой частоты импульсов так, что частота следования импульсов уменьшается в зависимости от номинала подключенного на его вход резистора 30i. В результате смещения полосы сигнал Wi на выходе сумматора уменьшается и это ведет к возврату порогового элемента 31n в исходное "0" состояние.

Этот переход (1 _ 0) вызывает перепад сигнала (0 _ 1) на выходе инвертора 34n, что обеспечивает срабатывание D-триггера 33n, так как на его D-входе логическая "1". В результате на входах элемента совпадения логического элемента n И-ИЛИ 35 обеспечивается совпадение и этот элемент срабатывает, формируя короткий импульс и этим импульсом осуществляется R-сброс всех D-триггеров схемы АЦП 24. Кроме того, триггер 36i в блоке 25 синхронизации возвращается в исходное состояние, что вызывает передачу напрямую по смежной входной шине мультиплексора 37i сигнала Wiбольшей амплитуды на его выход. Это увеличивает частоту генератора 21 и вызывает противоположное предыдущему смещение полосы. Далее процесс повторяется, причем сила взаимодействия исполнительного привода 5 оказывается фиксированной с погрешностью, связанной с дискретом порогов срабатываний пороговых элементов и принятыми номиналами резисторов в блоке 30. Интенсивность работы исполнительного привода 5 фокусировки зависит от значений кодового сигнала, записанного в буферном регистре 38 задатчика 27 позиции фокуса, где Fi кодовый сигнал записи позиции.

В динамическом состоянии осуществляется слежение за поверхностью носителя 10 информации. Конструкция проекционных систем, принятая оптическая схема и структура блока управления реализуют возможность в широком диапазоне изменять позицию фокуса по цифровому кодовому сигналу. Кроме того, это позволяет упразднить вспомогательный лазер, упростить конструкцию путем использования вместо вспомогательного лазера расщепленного луча, входящего в систему. Появляется ряд новых качеств устройства.


Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОЙ ФОКУСИРОВКИ ИЗЛУЧЕНИЯ, содержащее подшипник на газовой смазке с подвижным и неподвижным элементами скольжения, датчик фокусировки с последовательно установленными на оптической оси лазерного источника излучения светоделителем, объективом и носителем информации с информационными дорожками, а также фотоприемным блоком, установленным с возможностью проецирования на него через светоделитель информационных дорожек носителя информации, выходы фотоприемного блока соединены с входами блока управления, выход которого подключен к приводу фокусировки, причем блок управления состоит из двух усилителей, аналого-цифрового преобразователя, генератора, коммутатора, схемы синхронизации, резистивного блока и задатчика позиции фокуса, отличающееся тем, что, с целью повышения точности фокусировки и упрощения конструкции электронной части устройства, в датчик фокусировки введены зеркало и дополнительный объектив, установленный между светоделителем и фотоприемным блоком, а в блок управления схема осреднения, выполненная в виде сумматора на операционном усилителе, генератор выполнен управляемым, фотоприемный блок, дополнительный объектив, светоделитель, зеркало и объектив установлены внутри подвижного элемента скольжения подшипника на газовой смазке, зеркало оптически связано с объективом, а также с фотоприемным блоком через светоделитель и дополнительный объектив, подвижный элемент размещен внутри неподвижного с возможностью перемещения вдоль оптической оси лазерного источника излучения, привод фокусировки размещен на неподвижном элементе и магнитосвязан с подвижным элементом подшипника на газовой смазке, фотоприемники фотоприемного блока объединены в две группы, в каждой из которых фотоприемники установлены параллельно на краях проекций соответствующих информационных дорожек, группы размещены с параллельным смещением одна относительно другой и подключены в противофазе, усилители блока управления установлены параллельно и их входы подсоединены к входам блока управления, а выходы к входам сумматора, связанного выходом с входом аналого-цифрового преобразователя, первым входом схемы синхронизации и входом резистивного блока, выходы которого соединены с первым групповым входом схемы синхронизации, вход синхронизации и второй групповой вход которого подключены к соответствующим входам аналого-цифрового преобразователя, выходы схемы синхронизации соединены с входами управляемого генератора, выход которого через коммутатор подключен к выходу блока управления, при этом схема синхронизации выполнена из N RS-триггеров с объединенными R-входами, выходы которых соединены с управляющими входами N мультиплексоров "2 на 1", подсоединенных выходами к соответствующим выходам схемы синхронизации, сигнальные шины мультиплексоров связаны с первыми и первым групповым входами схемы синхронизации, объединенные R-входы RS-триггеров с входом синхронизации, S-входы RS-триггеров с вторыми групповыми входами схемы синхронизации, а выходы задатчика позиции фокуса соединены с групповыми входами аналого-цифрового преобразователя блока управления.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к оптическим устройствам записи и воспроизведения информации, в частности к узлам слежения за информационной дорожкой, и может быть использовано в информационной технике

Изобретение относится к области накопления информации оптическими средствами , в частности к устройствам слежения за информационной дорожкой дисковых оптических носителей информации, и может быть использовано в вычислительной технике

Изобретение относится к накоплению HH)x3pMa4VMcncnOTb3oeaHMeMorrrM4ecKMxcpe qcTB и может быть использовано в звуковых оптических проигрывателях, при изготовлении киноформ и других системах хранения информации

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к оптической записи информации на программоносителях типа компакт-диск

Изобретение относится к технике записи и воспроизведения информации оптическими средствами

Изобретение относится к приборостроению, в частности к системам оптической записи и/или воспроизведения информации, и может быть использовано в качестве внешнего запоминающего устройства ЭВМ и в измерительных системах различного назначения, в которых измеряемая величина представлена в виде повторяющихся приращений

Изобретение относится к области записи и воспроизведения информации на оптических дисках

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для записи и воспроизведения информации на носителях записи, представляющих собой диск, карту или ленту

Изобретение относится к оптической записи и может быть использовано для скоростной записи, воспроизведения и хранения больших объемов информации

Изобретение относится к системам оптической записи и воспроизведения

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано в системах записи и считывания оптической информации

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано в системах записи и считывания оптической информации

Изобретение относится к оптическим системам и, в частности, к поиску с помощью оптической головки в оптической системе

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к устройствам для автоматической фокусировки при фотопечати, фотолитографии и изготовлении фотошаблонов методом сканирующей лазерной записи
Наверх