Способ изготовления пироэлектрической мишени

 

Использование: в электронной технике. Сущность изобретения: при изготовлении мишеней пироэлектрических передающих телевизионных трубок типа пирокон водорастворимый пироэлектрический кристалл размещают на одной из сторон полимерной пленки, предварительно закрепленной на металлическом кольце, и воздействуют на противоположную сторону полимерной пленки парами воды до приклеивания кристалла к полимерной пленке. Перед размещением кристалла на полимерной пленке ее предварительно облучают ускоренными на циклотроне тяжелыми ионами и травят до образования капилляров, обеспечивающих проникновение паров воды через капилляры до поверхности водорастворимого пироэлектрического кристалла.

Изобретение относится к электронной технике, в частности пироэлектрическим передающим телевизионным трубкам типа пирокон.

Наиболее распространенным способом изготовления мишени пировидикона является приклейка тонкого водорастворимого пироэлектрического кристалла к подложке тонкой полимерной пленке, наклеенной на металлическое кольцо, методом диффузии паров воды через полимерную пленку. При этом металлическое кольцо с полимерной пленкой располагается над емкостью с водой, а с противоположной стороны на полимерную пленку накладывается пироэлектрический кристалл.

Скорость диффузии паров через полимерную пленку зависит также от многих других факторов плотности проводящего слоя, наличия в нем примесей, состояния поверхности подложки, состава остаточных газов в вакууме при нанесении проводящего слоя распылением в вакууме, интенсивности потока паров воды и других. Все это делает процесс приклейки кристалла пленки трудно управляемым и снижает выход годных изделий.

Полимерные пленки и пироэлектрические кристаллы являются анизотропными по своим свойствам. Коэффициенты линейного расширения полимерных пленок и пироэлектрических кристаллов и их температурные изменения не совпадают, что приводит к возникновению в кристаллах механических напряжений и их растрескиванию после приклейки и изменениях температуры, особенно при испытаниях на воздействие смены температур. Следствием этого является низкий выход годных приборов на операциях приклейки кристалла к пленке, мойки мишени после приклейки и испытаниях пироконов на воздействие смены температур.

Для улучшения диффузии паров воды через пленку и повышения устойчивости мишени к воздействию смены температур предлагается полимерную пленку предварительно облучать ускоренными на циклотроне тяжелыми ионами и затем травить до образования капилляров, обеспечивающих проникновение паров воды через капилляры до поверхности водорастворимого пироэлектрического кристалла.

Размеры капилляров и их пространственное распределение регулируются путем выбора режима химической обработки и атомного номера бомбардирующих частиц, а также вариации их энергии и изменением углов падения ионов на поверхность пленки.

Для обеспечения управляемой скорости диффузии паров воды через пленку и обеспечения качественной приклейки кристалла к пленке выбираются оптимальные размеры капилляров и плотность их распределения по поверхности пленки. При этом процесс приклейки кристалла к пленке становится легко управляемым.

При внедрении изобретения повышается выход годных изделий. Кроме того, уменьшается величина механических напряжений, возникающих в кристалле при воздействии на мишень изменений температуры, так как пористая пленка обладает демпфирующими свойствами, а также снижается отрицательное влияние температуры металлического кольца на кристалл вследствие уменьшения теплопроводности пористой пленки.

Формула изобретения

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПИРОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ МИШЕНИ, включающий закрепление полимерной пленки на металлическом кольце, размещение на одной из сторон полимерной пленки водорастворимого пироэлектрического кристалла, воздействие на противоположную сторону полимерной пленки парами воды до приклеивания водорастворимого пироэлектрического кристалла к полимерной пленке, отличающийся тем, что перед размещением водорастворимого пироэлектрического кристалла на полимерной пленке ее облучают ускоренными на циклотроне тяжелыми ионами и травят до образования капилляров, обеспечивающих проникновение паров воды через капилляры до поверхности водорастворимого пироэлектрического кристалла.