Патент ссср 218378

 

2)ВЗУЗ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 10.1.1967 (№ 1126901/29-33) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 17.Ч.1968. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 19ХП1.1968

Кл. 32Ь, 3/08

МПК С 03с

УДК 666.112,7(088.8) Котвмтет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Ф. К. Алейников, P. Б. Паулавичюс, И. И. Житкявичюте, P.-С. М. Жукаускас и Ю. П. Вайткус

Заявитель

СТЕКЛО

50,5 — 52,1

29,3 — 30

3 — 3,3

9,9 — 10,1

3,4 — 3,6

2,3 — 2,5

Предлагаемый состав стекла можно использовать в стекольной промышленности для защиты поверхности монокристаллов кремния и кремниевых полупроводниковых структур.

Известно стекло, включающее SiO, ВзОз

А1зО,„ZnO, ХазО, КзО.

Предлагаемое стекло, по сравнению с известным, имеет более низкую температуру плавления и повышенную химическую устойчивость и термостойкость. Это достигается тем, что стекло содержит указанные компоненты в следующих соотношениях в Я>. по весу:

SiO2

ВзОз

А)еОз

ZnO

Na О

КО

Стекло варят из соответствующих капбонятов или нитратов и окиси кремния в силитовой или пламенной печи при 1350 †14"C.

Отжиг стекла производят в муфельной печи при 500 — 550 С в течение 3 — 4 час.

Полученное стекло имеет следующие свойства.

Коэффициент термического расширения азов = 39 10 град-т; а4оо = 44 10 град т.

Химическая стойкость соответствует второму гидролитическому классу.

Микротвердость Н, кг/ял- 500

Модуль упругости Е, кг/.Кл- 5750

Модуль сдвига G, кг/.я,я- 2300

Коэффициент Пуассона М 0,250

Удельный вес у, г/слз 2,34

Удельное объемное элект|росопротивление, отт см резво- =3,6 10тв

Тангенс угла диэлектрических потерь tg б 37 10з

Диэлектрическая проницаем остb Е 5,1

Электрическая прочность кв сл ек 3,5

Пленки из стекла изготовляют методом выдуванпя. Стеклянную пленку толщиной

5 — 25 лтклт на поверхность монокристалла кремния или кремниевые структуры наносят в

20 вакуумной установке. Разогрев образца и стеклянной пленки производят в печке, вмонтированной в вакуумной установке, которая состоит из кварцевого цилиндра, обмотанного нагрева Tсльным элcìåíTом. Температуру на25 грева контролируют две термопары. После закрепления образцов и пленки в печи вакуумирования не ниже 10 4,лая рт. ст. печь сначала нагревают до 640 — 650-"С в течение

15 — 30 лтин, а затем в течение 2 — 5 лин. до

30 температуры 660 — 670 С.

218378

Составитель И. Чернявская

Редактор С. Хейфиц Техред А. А. Камышннкова Корректорьн A. П. Васильева и О. Б. Тюрина

Заказ 2134,.12 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типограф, пр. Сапунова, 2

После этого в вакуумную установку пускают воздух или инертный газ, который резко повышает давление до атмосферного. Благодаря этому происходит прочное сцепление стеклянной пленки с образцом.

Предмет изобретения

Стекло, включающее $10з, ВвОз, А1вОз, ZnO, NaO и К О, отличающееся тем, что, с целью снижения температуры плавления, повышения химической устойчивости и термостойкости, оно содержит указанные компоненты в следующих соотношениях в о/о по весу:

5 SiOz

ВO;, А1. Оз

ZnO

Naз0

10 КвО

50,5 — 52,1

29,3 — 30

3 — 3,3

9,9 — 10,1

3,4 — 3,6

2,3 — 2,5