Способ измерения расхода газа в вакуумнуюсистему

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

11 тонтно-тэхничеби тв фф ротека ЙЖ ..

Зависимое от авт, свидетельства ¹

Кл. 42е, 26

Заявлено 02.1.1967 (Л 1126370/26-10) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 17Х.1968. Бюллетень № 17

МПК G 01f

УДК 681.122.9(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Дата опубликования описания 26.VIII.1968

Автор изобретения

A. В. Липин

Центральный аэродинамический институт им. Н. Е. Жуковского

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДА ГАЗА В ВАКУУМНУЮ

СИСТЕМУ

Предмет изобретения

Известный способ измерения расхода газа в вакуумную систему через отверстие, площадь критического сечения которого и параметры газа на входе (давление и температура) неизвестны, основан на регистрации расхода в некотором сечении газопроводящей трассы перед отверстием.

Предлагаемый спо об измерения повышает точность измерения за счет использования вспомогательного сопла, расход газа через которое мо кно вычислить с высокой степенью точности.

В этом случае расход газа в вакуумную систему определяется по разности расходов газа через вспомогательное сопло, измеренных IIpH закрытом и открытом основном сопле при одном H том же давлении в емкосги.

На чертеже показана схема, поясняющая данный способ.

Вакуумная система состоит из емкости 1, воздуходувов 2, вакуумных насосов 8, датчика 4 давления, устройства 5, создающего расход, подлежащий измерению, и устройства б со вспомогательным соплом, расход через которое можно регулировать в необходимом диапазоне и измерять с достаточной точностью.

Через вспомогательное сопло задают расход газа н определя|от его давление при закрытом основном сопле.

При расходе газа через основное отверстие

5 через вспомогательное сoi1;IO задается такой расход, при котором в системс поддерживается то же самое давление.

В это» случае расход газа через основное отверстие равен разности расходов газа через

10 вспомогательное сопло при закрытом и открытом основном сопле.

15 Способ измерения расхода газа в вакуумную систему через отверстие, площадь критического сечения которого, LOcTQB и параметры газа на входе (дагленпе и температура) в общем случае неизвестны, 9Т шчающатя тем, 20 ITo, с целью повышения точно ти измерения., определяют расход газа через вспомогательное сопло при закрытом основном сопле, затем определяют расход газа через вспомогательное cопло прп открытом основном сопле

25 при том же давлении в камере и по разности измеренных расходов через вспомогательное сопло судят о расходе через основное.

218466

Составитель Т. lO. Звенигородскаи

Редактор С. Хейфиц Техред Р, М, Новикова Корректор В. В. Крылова

Заказ 2361/14 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2