Способ контроля шероховатости поверхности изделия

 

Изобретение относится к измерительной технике, касается оптических способов контроля шероховатости поверхности изделия. Импульс света Т_св освещает контролируемую поверхность, рассеянное/отраженное излучение пропускают через акустооптический (АО) модулятор, в котором распространяется бегущий акустический импульс Т_ак. Излучение, продифрагированное на этом акустическом импульсе, регистрируется фотодетектором, при этом синхронизируются импульсные режимы освещения и возбуждения АО-модулятора и можно добиться управляемого медленного и подробного сканирования исследуемого рассеянного излучения пошагово от такта к такту. О параметрах шероховатости поверхности изделия судят по отклонению измеренных параметров оптического потока контролируемой детали и эталонного образца. Технический результат: расширение функциональных возможностей и повышение точности измерений. 2 з. п. ф-лы, 4 ил.

Таблицыс

Формула изобретения

1. Способ контроля шероховатости поверхности изделия, заключающийся в том, что направляют коллимированное световое излучение на контролируемую поверхность, регистрируют с помощью фотодетектора интенсивность отраженного от контролируемой поверхности излучения и определяют шероховатость поверхности изделия, направляют на акустооптический модулятор излучение, рассеянное от контролируемой поверхности, фокусируют с помощью линзы излучения, продифрагированное и непродифрагированное на бегущем акустическом импульсе, производят Фурье-преобразование амплитудного распределения излучения в фокальной плоскости линзы, определяют индикатриссу рассеяния путем установки фотодетектора на первый порядок дифракции и по результатам сравнения ее с эталонной судят о шероховатости поверхности изделия, отличающийся тем, что световое излучение формируют в импульсном режиме, синхронизируют бегущие акустические и световые импульсы.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополняют бегущий акустический импульс другими акустическими импульсами и формируют для каждого светового импульса импульсную последовательность из нескольких акустических импульсов.

3. Способ по пп.1 и/или 2, отличающийся тем, что управляют параметрами импульсной последовательности акустических импульсов и/или параметрами процесса синхронизации акустических и световых импульсов.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14