Высоковакуумная высокотемпературная установка

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

23)864

Соктз Советских

Социалистических

Респуолик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 19.1Х.1967 (№ 1185738118-10) Кл. 421, 12/01 с присоединением заявки №

МПК б Olk

Приоритет

Опубликовано 28.Х1.1968. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания 28.111.1969

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 536.581(088.8) В- ЧТ, -Р.1.

Авторы изобретения

В. И. Гришин, Э. Н. Мармер, И. И. Макарычев, Н. И. Паршин, В. М. Фомин, А, И. Фигнер, С. И. Харькин и Д. С. Шумов

Заявитель

ВЫСОКОВАКУУМНАЯ ВЫСОКОТЕМЙЕРАТУРНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение о гносится к области различйь|х физических исследований и осуществления технологических процессов в условиях, соответствующих космическому пространству и при высоких температурах.

Высоковакуумные установки имеют свою специфику, поскольку с целью обезгаживания все внутренние поверхности должны подвергаться предварительному прогреву до температур 300 †4 С.

Основными недостатками существующих установок подобного типа являются большие тепловые потери, неравномерное распределение температуры по длине нагреваемого образца, большое число высоковакуумных вводоь для нагревателя рабочей камеры.

Подобным примером является высоковакуумная установка УВП-40 для обезгаживания, откачки и пайки вакуумных приборов, содержащая охлаждаемый корпус с крышками, откачную систему, токоподводы и нагревательные элементы.

Нагреватель установки имеет водоохлаждаемые токоподводы, из-за которых возникают большие тепловые потери и значительная неравномерность распределения температуры по длине нагреваемых изделий, что приводит к с ткращению рабочего пространства установки.

Кроме того, в этой установке трудно обезгаживать токоподводы нагревателя, что при водит к увеличению времени откачки, снижт .пию производительности установкн, а получение давления ниже 10 очень затруднительно.

Предлагаемое устройство отличается от из5 вестных тем, что в нем к торцу каждого водоохлаждаемого токоподвода прикреплен вилкосоразньтй стер кень-дер катель из тугоплавкого материала, на концы которого уложены опоры з виде секторов, выполненных из туго10 плавког" материала и несущих нагревательные элементы.

Это уменьшает тепловые потери, повышает равномерность температуры по длине нагреваемого изделия и уменьшает количество вы15 соковакуумных вводов, На фиг. 1 и 2 представлена предлагаемая установка в двух вариантах. Она имеет водоохлаждаемый кожух 1, в котором установлены экранная теплоизоляция 2 и нагрева20 тельные элементы 8 сопротивления. Электрический ток подводится к нагревателям токоподводами 4. Водоохлаждаемый кожух заключен в теплоизоляцию !т, в которой помещены нагреватели б прогрева. За ведением

25 процесса внутри установки можно наблюдать через устройство 7. Через прогреваемый патрубок 8 осуществляют вакуумную откачку рабочего объема вакуумной системы 9. Токоподвод 4 имеет водоохлаждаемую часть 10, 30 к которой прикреплен стержень 11. Концы

23!864 стержня выполнены в виде вилки с двумя держателями 12. На держателях уложены кольцевые секторы 18 с навешенными на них нагревательными элементами 8.

Установка работает следующим образом.

В нагревательную камеру загружают изделие и герметизируют ее. Кожух 1 и токоподводы 4 после удаления из них воды, а так кс патрубок 8 нагревателями б прогрева прогревают до температуры 400 — 450 C с целью обезгаживания внутренних поверхностей и производят высоковакуумную откачку камеры нагрева до рабочего вакуума вакуумной системой 9. По достижении рабочего вакуума отключаются нагреватели 6 прогрева и включаются водоохлаждение кожуха 1 и нагревательные элементы 8 сопротивления. Электрический ток подводится к нагревательным элементам сопротивления токоподводами 4 через медную водоохлаждаемую часть 10, стержень

11, выполненный в виде вилки. В стержне электрический ток растекается и течет дальше по держателям 12 к кольцевым секторам 18 и через них к нагревательным элементам 8.

Изделие нагревается до рабочей температуры при рабочем вакууме, По окончании нагрева нагревательные сопротивления 8 выключаются и изделие охлаждается при рабочем вакууме. После этого камера открывается, производится разгрузка изделий, затем рабочий цикл повторяется.

Предлагаемая высоковакуумная высокотемпературная установка может быть использована для научно-исследовательских работ, а также в различных отраслях промышленности: радиоэлектронной, полупроводниковой, uëó÷åíHÿ изделий из тугоплавких металлов и их окислов, в атомной энергетике, в области космических исследований и т. д.

Предмет изобретения

Высоковакуумная высокотемпературная установка, содержащая охлаждаемый корпус с крышками, откачную систему, охлаждаемые токоподводы и нагревательные элементы сопротивления, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения тепловых потерь, повышения равномерности температуры по длине нагреваемого изделия и уменьшения количества высоковакуумных вводов, к торцу каждого водоохлаждаемого токоподвода прикреплен вилкообразный стержень-держатель из тугоплавкого материала, на концы которого уложены опоры в виде секторов, выполненных из тугоплавкого материала и несущих нагревательные элементы.

231864

Составитель В. Агапова

Текред Т. П. Курилко

Редактор Э. Рубан

Корректор С. М. Сигал

Типография, пр, Сапунова, 2

Заказ 365 13 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4