Устройство для передачи движения в камеру с высоким давлением

 

г

i t

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

2336IO

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 30.XI.1965 (№ 1040572/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Кл. 12с, 2

ЧПК В 01d

УДК 66.061.002 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 24.XII. I968. Бюллетень № 3 за 1969 г.

Дата опубликования описания 24.1 .1969

Авторы изобретения

В. Ю. Жвирблянский и Ю. А. Березин

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ДВИЖЕНИЯ В КАМЕРУ

С ВЫСОКИМ ДАВЛЕНИЕМ

При получении монокристаллов ряда соединений в камере вытягивания необходимо создавать значительные давления газа.

В этих случаях при давлениях свыше 100—

150 ати значительные трудности представляет передача движений к штокам тигля и затравки. В существующих устройствах для вытягивания монокристаллов движение к штокам тигля и затравки передается двумя методами.

Первый метод закгночается в том, что штоки тигля и затравки вводятся в камеру через обычные сальниковые уплотнения. Этот метод прост, но приводит к возрастанию в уплотнении момента сопротивления вращению штока и сил, выталкивающих шток. Это ведет к повышенному износу уплотнений.

Второй метод заключается в том, что шток крепится к магнитному ротору, который может вращаться и перемещаться. Это достигается с помощью электромагнитной муфты.

Достоинством этого метода является отсутствие уплотнений. Однако здесь отсутствует стабильность скорости вытягивания, требуется применение мощных электромагнитов, а при случайном отключении электропитания шток и ротор падают, разбивая тигель.

Предложенное устройство, сочетая достоинства обоих методов, повышает надежность работы сальникового устройства.

Это достигается тем, что ротор магнитной муфты закреплен на втулке, механически связанной со штоком н перемещаемой по направляющей.

5 Поскольку скорость перемещенпя штока затравки в 500 — 800 раз меньше окружной скорости вращения, то целесообразно разделить этн два движения, применив для вращения штока магнитную муфту, а для его пере10 мещения уплотнение.

На фнг. 1 изображена установка вытягивания монокристаллов, общий вид; на фиг. 2— устройство для передачи движения штоку затравки.

is Установка имеет камеру 1, шток 2 затравки, нагреватель 8 н тигель 4. Камера закреплена на станине 5, в верхней части которой расположена каретка б перемещения затравки, а в нижнен — каретка перемещения тигля 7. Верх20 няя часть корпуса камеры представляет собой гильзу 8 нз немагнитного материала. B центре гильзы расположена полая направляющая 9, которую обхватывает втулка 10. Втулка связана со штоком 11 штифтом 12, проходящим

25 в пазах направляющей. Шток проходит через уплотнение 18. На втулке 10 закреплены два подшипника 14, на внешние кольца которых надет ротор 15 с закрепленными на его периферии постоянными магнитами 1б. Ротор 15

30 связан со штоком затравки 2.

233610

Гильза 8 обхвачена магнитопроводом 17, на котором закреплены постоянные магниты 18.

Магннтопровод связан с червячным колесогг

И и крепится на каретке 6, которая жестко связана со штоком 11.

Конструкция передачи движения к тиглю аналогична.

Передача движений затравке осуществляется следующим образом (см. фиг. 2).

Электродвигатель, вращая червяк, передает движение червячному колесу 19, вращающему магнитопровод 17. Магниты 18, перемещаясь по окружности за счет магнитного поля, приводят в движение магниты 16, ротор

16, в результате чего шток 2 начинает вращаться. Перемещение штока в вертикальногг направлении осуществляется электроприводом, перемещающим каретку 6. При движении каретки 6 перемещается шток 11, который дгигает втулку 10, связанную со штоком штифтом 12. При этом штифт 12 переггещается в прорезях направляющей 9. Через подшшшнкн 14 в движение приходит ротор 16 и шток 2. Одновременно перемещается и магннтопровод 17, который связан с кареткой 6.

При этом взаимное расположение магнитов

16 и 18 по высоте сохраняется неизменным, что обеспечивает стабильную работу магнитнои муфты.

1О Предмет изобретения

Устройство для передачи движения в камеру с высоким давлением, состоящее нз магнитной муфты и механизма вертикального

15 перемещения штока, проходящего через сальниковое уплотнение камеры, от.гичающеес,г тем, что, с целью повышения надежности работы сальникового уплотнения, ротор магнитной муфты закреплен на втулке, механически

20 связанной со штоком и перемещаемой по направля ющей.