Способ измерения действительной части диэлект^ри- ческой проницаемости тонких пленок в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах
237936
ОП ИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
1т|аа Соаатскиа
Сациалистичесиил
Реслублик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 12.1Х.196? (№ 1183968/26-9) Кл. 21а, 71 с присоединением заявки №
МПК G 01г
УДК 621.317.335.5(088.8) Нотситет Il0 делам иаооретеиий и открытий ори Совете Мииистров
СССР
Приоритет
Опубликовано 20.11.1969. Бюллетень ¹ 9
Дата опубликования описания 2.Х.1969
Е.В %ах sak изобретения В.. ипенко, Г. Г. Половников, В. Г. Сологуб и В. П. Шестопалов
Заявитель
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕЙСТВИТЕЛЬНОЙ ЧАСТИ ДИЗЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК В МИЛЛИМЕТРОВОМ И СУБМИЛЛИМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНАХ
bi,= (1+ Insin 1
2Ь g —,.h 2l /
=-hi, = 1+ In sin "
7 1 ) 2 -"d
2Ь z-.h 2 ) () ) 4Ид л
-,d (2h> -4>2
Известные спосооы измерения действительной части диэлектрической проницаемости тонких пленок в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах волн основаны на использовании дифракционной решетки из металлических брусьев.
Предлагаемый способ позволяет повысить точность измерения диэлектрической проницаемости пленок. Достигается это тем, что при осуществлении описываемого способа значение диэлектрической проницаемости определяют по длинам волн двух соседних максимумов коэффициента прохождения нормально падающей на заполненную диэлектриком решетку
Н-поляризованной плоской волны.
На чертеже изображено устройство для осуществления предлагаемого способа.
Исследуемую пленку (на чертеже не показана) помещаюг в узкие щели 1 дифракционной решетки с периодом 1, ширина которых определяется толщиной пленки. Решетка представляет собой набор плоскопараллельных металлических брусьев 2 прямоугольного профиля высотой h из материала с высокой проводимостью, размещенных на расстоянии d один от другого. Брусья установлены на цилиндрических направляющих 3, которые стягиваются гайками 4. Величина зазора определяется шайбами 5 или толщиной исследуемой пленки.
При нормальном падении плоской Н-полярпзованчой волны на подобную решетку при определенных оотношениях между I, h, d и 1. наблюдается резонансное прохождение поля.
Разность для волн Л л двух соседних максимумов коэффициента прохождения определяется формулой
Если узкие щели решетки запо,шены диэлектриком, то при неизменных параметрах решетки и падающего поля это разность определяется выражением
15 где i. — длина волны в исследуемой пленке, отсюда действительная часть диэлектрической проницаемости
Та«пм образом, определение диэлектрической проницаемости плен«и сводится к измерению соседних резонансных длин волн Хт и Хе. Параметры решетки при этом должны удовлет30 ворять соотношениям: i
237936
Предмет изобретения
Составитель В. Корнев
Техред Л. Я. Левина
Редактор В. Сорокин
Корректор С. М. Сигал
Заказ 2451!11 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изооретеннй и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
Способ измерения действительной части диэлектрической проницаемости тонких пленок в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах с использованием дифракционной решетки из металлических брусьев прямоугольного сечения с узкими щелями, которые заполнены исследуемой диэлектрической пленкой, отличагощийвя тем, что диэлектрическая проницаемость определяется по длинам волн двух соседних максимумов коэффициента прохождения нормально падающей на заполненную диэлектриком решетку Н-поляризованной плоской волны.
