Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме



Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме
Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме
Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме
Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме
Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме
Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме
Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме

Владельцы патента RU 2562185:

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" (RU)

Изобретение относится к металлургической промышленности, а именно к химико-термической обработке поверхности изделий из титановых сплавов, и может быть использовано при изготовлении деталей двигателей, работающих в условия износа, в медицине и других отраслях промышленности. Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов осуществляют азотированием в тлеющем разряде в вакуумной камере в газовой смеси 15 мас.% азота и 85 мас.% аргона при температуре 650-700°С путем вакуумного нагрева в плазме повышенной плотности с эффектом полого катода. Плазму повышенной плотности формируют между деталью и экраном, выполненным с отверстиями и изготовленным из титанового сплава. Обеспечивается интенсификация процесса азотирования и повышение твердости и контактной износостойкости упрочненного слоя титановых сплавов при меньшем давлении в процессе азотирования и меньшем временем выдержки. 6 ил., 1 табл., 1 пр.

 

Изобретение относится к металлургической промышленности, а именно к химико-термической обработке поверхности изделий из титановых сплавов, и может быть использовано при изготовлении деталей двигателей работающих в условия износа, в медицине и других отраслях промышленности.

Известен способ химико-термической обработки деталей из титановых сплавов (патент РФ №2460826, С23С 8/54. 18.05.2011), который включает насыщение поверхности деталей азотом и углеродом в тигельной или электродной ванне с расплавом солей, разогретым до температуры 800°С, при этом используют расплав солей следующего состава, мас.%: NaCN 10, NaCl 40, BaCl2 50.

Недостатками данного способа являются:

- экологически вредное производство;

- снижение эффективности диффузии азота вглубь титановых сплавов, так как процесс протекает в открытой атмосфере, что приводит к образованию на поверхности оксидной пленки.

Известен способ поверхностного упрочнения изделий из титана и титановых сплавов (патент РФ №2318077, С23С 8/06. 04.07.2006), который проводят при помощи термообработки. Термообработку проводят в активной газовой среде. Затем осуществляют частичное удаление газонасыщенного слоя, обладающего повышенной хрупкостью, травлением. Глубину зоны, обладающей повышенной хрупкостью, определяют по формуле, также глубина может быть определена по среднему расстоянию между трещинами, образующимися в газонасыщенном слое при разрушении образца изгибом.

Недостатками данного способа являются:

- высокая трудоемкость;

- снижение ресурса работы в условиях интенсивного износа, так как при обработке данным способом травитель может удалить часть диффузионной зоны с поверхности деталей.

Известен способ азотирования стальных изделий в тлеющем разряде (патент РФ №2276201, С23С 8/36. 9.11.2004), который осуществляют путем вакуумного нагрева изделий в плазме азота повышенной плотности, формируемой между деталью и экраном за счет эффекта полого катода. Процесс азотирования проводят при температуре 700-750°С. После азотирования проводят поверхностную закалку охлаждением в потоке аргона со скоростью, превышающей критическую скорость закалки стали.

Недостатками данного способа являются:

- невозможность проведения азотирования титановых сплавов в плазме повышенной плотности, так как применение стальных экранов может приводить к попаданию распыленных частиц железа на обрабатываемую поверхность и блокированию диффузии азота вглубь обрабатываемой поверхности;

- снижение эффективности диффузии азота вглубь титановых сплавов, так как азотирование проводят в среде азота, что приводит к образованию сплошной нитридной пленки на поверхности.

Известен способ упрочнения титановых сплавов в газовой среде (патент РФ №2365671, С23С 8/80. 06.12.2007), по которому проводят высокотемпературное азотирование при температурах 700-750°С в течение 10-30 мин. Затем проводят восстановительный отжиг в аргоне при температуре, превышающей температуру азотирования на 100-150°С, время отжига вычисляют по формуле:

τотж=0,75·(Казот/Кр)·ехр(Ер/RТотж-Εазот/RΤазот)·τазот,

где Казот, Кр - эмперические коэффициенты, учитывающие соответственно скорость образования и скорость растворения нитридного газонасыщенного слоя, мкм2/сек;

Еазот - энергия активации процесса, контролирующего повышение концентрации азота в охрупченном азотирование слое, Дж/моль;

Ер - энергия активации процесса, контролирующего понижение концентрации азота в охрупченном азотированием слое, Дж/моль;

R - газовая постоянная, Дж/(К·моль);

Тазот - температура азотирования, К;

Тотж - температура восстановительного отжига, К;

τазот - время азотирования, сек.

Недостатками данного способа являются:

- снижение эффективности процесса насыщения при азотировании, так как высокотемпературная обработка в открытой атмосфере приводит к образованию оксидных пленок на обрабатываемой поверхности;

- небольшая продолжительность азотирования, вследствие чего образуется малая толщина диффузионной зоны, либо диффузионная зона не образуется.

Известен способ упрочнения поверхности изделий из титановых сплавов (патент РФ №2427666, С23С 8/36, 21.12.2009), который проводят при помощи нагрева поверхности изделия в среде азота, при этом нагрев осуществляют концентрированным тепловым источником с плотностью мощности 103-104 Вт/см2, силой тока 80-150 А и скоростью перемещения источника относительно изделия 0,005-0,01 м/с.

Недостатками данного способа являются:

- неравномерное упрочнение поверхности в связи с отсутствием своевременной калибровки плазменной головки установки в процессе обработки;

- трудоемкость процесса, связанная с установкой и выверкой изделия в приспособлении;

- снижение диффузии азота вглубь титановых сплавов, так как процесс проводят в среде азота, что приводит к образованию сплошной нитридной пленки на поверхности;

- большой расход азота.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к заявляемому является способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов (патент РФ №2346080, С23С 8/02, 25.01.2007), который проводят при помощи электроискрового легирования поверхностного слоя с последующим оксидированием или азотированием. Электроискровое легирование проводят нитридообразующими элементами или сплавами на их основе. Затем осуществляют термическое оксидирование в окислительной воздушной среде при температуре 600-800°С в течение 2-16 часов или диффузионное азотирование, проводят в каталитически приготовленных газовых аммиачных средах при температуре 500-680°С в течение 15-40 часов.

Недостатками прототипа являются:

- высокая трудоемкость;

- большая длительность процесса;

- азотирование титанового сплава проводят в аммиачной среде, что может приводить к охрупчиванию поверхности вследствие образования гидридов титана.

Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является повышение производительности процесса азотирования титановых сплавов.

Техническим результатом является интенсификация процесса азотирования и повышение твердости и контактной износостойкости упрочненного слоя титановых сплавов, при меньшем давлении рабочего процесса и меньшем времени выдержки.

Задача решается и технический результат достигается за счет способа модификации поверхности изделий из титановых сплавов, включающего обработку поверхностного слоя азотированием, по которому согласно изобретению, азотирование проводят в вакуумной камере в газовой смеси 15 мас.% азота и 85 мас.% аргона при температуре 650-700°С путем вакуумного нагрева в плазме повышенной плотности с эффектом полого катода, причем плазму повышенной плотности формируют между деталью и экраном, выполненным с отверстиями и изготовленным из титанового сплава.

Плазма повышенной плотности обеспечивается за счет эффекта полого катода.

Эффект полого катода проявляется в значительном повышении плотности тока, увеличении степени ионизации при одновременном снижении напряжения горения разряда.

Азотирование проводят при температуре 650-700°С, что ниже полиморфного α→β превращения, вследствие чего не происходит рост структурных составляющих.

Экран выполнен из титанового сплава в виде пластины с отверстиями.

Существо изобретения поясняется чертежами.

На фиг. 1 изображена структура исходного состояния титанового сплава ВТ6. На фиг. 2 изображены параметры экрана для создания эффекта полого катода, где а - диаметр отверстия, b - расстояние между центрами отверстий. На фиг. 3 изображен экран из титанового сплава для создания эффекта полого катода. На фиг. 4 изображена микроструктура образца из титанового сплава ВТ6 после азотирования в тлеющем разряде (I - азотированный слой, II - основа). На фиг. 5 изображена микроструктура образца из титанового сплава ВТ6 после азотирования в тлеющем разряде с эффектом полого катода (I - азотированный слой, II - основа). На фиг. 6 изображена схема реализации способа ионного азотирования титанового сплава в тлеющем разряде с эффектом полого катода.

Схема содержит источник питания 1, анод 2, катод 3, катод-деталь 4, плазму повышенной плотности 5, экран 6, изготовленный из титанового сплава в виде пластины с отверстиями, установленный на определенном расстоянии от катод-детали 4, корпус из металла вакуумной камеры 7.

Пример конкретной реализации способа.

Способ осуществляется следующим образом: в вакуумной камере (фиг. 6) на определенном расстоянии от обрабатываемой поверхности устанавливают экран (фиг. 3), выполненный из титанового сплава с расчетными параметрами а и b (b=2а) (фиг. 2), деталь и экран подключают к отрицательному электроду, герметизируют камеру и откачивают воздух до давления 133 Па. После эвакуации воздуха камеру продувают рабочим газом в течение 5-15 мин при давлении ~1330 Па, затем откачивают камеру до давления 20-30 Па, подают на электроды напряжение и возбуждают тлеющий разряд. При напряжении 900-1100 В на этой стадии осуществляется катодное распыление. После 5-20-минутной обработки поверхности по режиму катодного распыления напряжение понижают до рабочего, а давление повышают до 90 Па. Рабочая смесь имеет состав газов - 15 мас.% азота и 85 мас.% аргона.

С помощью эффекта полого катода (ЭПК), возникающего в полости между экраном и обрабатываемой поверхностью, происходит нагрев и азотирование детали в плазме повышенной плотности, обеспечивающие повышение твердости поверхности титанового сплава.

Исследование микротвердости поверхности образцов показало, что после азотирования в тлеющем разряде с ЭПК микротвердость увеличилась в 4,1 раза, а без ЭПК в 2,6 раза по сравнению с исходным состоянием (см. таблицу микротвердости с поверхности азотированных образцов).

Повышение микротвердости обусловлено образованием нитридов титана на поверхности образцов. При этом установлено, что микротвердость образца после азотирования в условиях проявления ЭПК по сравнению с азотированием без ЭПК в 1,6 раза выше, что связано с понижением давления до 90 Па и увеличением концентрации ионов азота в катодной полости под действием осциллирующих электронов.

На фиг. 5 показана микроструктура после азотирования с эффектом полого катода титанового сплава ВТ6, а на фиг. 4. показана микроструктура после ионного азотирования без эффекта полого катода. Анализ микроструктур показал, что азотирование в условиях проявления ЭПК по сравнению с азотированием без ЭПК преимущество в толщине получаемого азотируемого слоя по сравнению с ионным азотированием более чем в два раза. Прослеживается отчетливое разделение по зонам, при этом переход от азотированного слоя к нижележащим слоям плавный.

В результате получили повышение поверхностной твердости титанового сплава ВТ6, тем самым обеспечили повышение контактной износостойкости при уменьшении времени обработки и понижении энергетических характеристик (U, I).

С помощью ЭПК происходит равномерный нагрев поверхности детали до необходимой температуры, при этом снижается рабочее давление в камере, что снижает возможность зажигания дуги, а также увеличивается скорость насыщения поверхности.

Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов азотированием в тлеющем разряде, отличающийся тем, что азотирование проводят в вакуумной камере в газовой смеси 15 мас.% азота и 85 мас.% аргона при температуре 650-700°С путем вакуумного нагрева в плазме повышенной плотности с эффектом полого катода, причем плазму повышенной плотности формируют между деталью и экраном, выполненным с отверстиями и изготовленным из титанового сплава.



 

Похожие патенты:
Изобретение относится к металлургии, в частности к способам химико-термической обработки металлов и сплавов, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей, работающих в парах трения, а также режущего инструмента и штамповой оснастки.

Изобретение относится к области термической, химико-термической обработки и может быть использовано в машиностроении и других областях промышленности. Способ упрочнения поверхностей деталей из титановых сплавов включает азотирование с последующим отжигом.

Изобретение относится к плазменной химико-термической обработке, а именно к способу ионно-плазменного прецизионного азотирования металлических поверхностей, и может быть использовано в машиностроении, двигателестроении, металлургии и других отраслях промышленности.
Изобретение относится к области технологии машиностроения и может быть использовано в процессах упрочнения деталей машин и инструментов. Способ включает воздействие на поверхность детали ионизированным газом, полученным пропусканием его через электроразряд, при этом покрытие формируют, по меньшей мере, локальным с помощью сопла, расположенного на расстоянии 8-10 мм от поверхности детали под углом 70-80° к ней, при этом в качестве ионизированного газа используют озонированный воздух, который получают с помощью коронного электроразряда силой тока 400 мкА, создаваемого внутри упомянутого сопла, а воздействие озонированным воздухом на поверхность детали осуществляют с давлением 0,2 кгс/см2 при комнатной температуре.
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к методу образования защитного нанокомпозитного покрытия на поверхности изделия из жаропрочного никелевого сплава, подверженного высоким температурам и механическим нагрузкам.

Изобретение относится к области химико-термической обработки металлов, в частности к ионному азотированию, и может быть использовано в машиностроении, автостроении и арматуростроении.
Изобретение относится к области машиностроения, к способам образования защитных покрытий на изделиях, имеющих тонкостенные и толстостенные части и выполненных из стали или титанового сплава.

Изобретение относится к области термической и химико-термической обработки и может быть использовано в машиностроении и других областях промышленности для поверхностного упрочнения материалов.

Изобретение относится к области термической и химико-термической обработки и может быть использовано в машиностроении и других областях промышленности для поверхностного упрочнения материалов.

Изобретение относится к области термической и химико-термической обработки и может быть использовано в машиностроении и других областях промышленности, для поверхностного упрочнения материалов.

Изобретение относится к металлургической промышленности, а именно к химико-термической обработке поверхности изделий из титановых сплавов, и может быть использовано при изготовлении деталей двигателей, работающих в условия износа. Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов азотированием в тлеющем разряде осуществляют азотированием в вакуумной камере в газовой смеси 15 мас.% азота и 85 мас.% аргона при температуре 650-700°С путем вакуумного нагрева в плазме повышенной плотности с эффектом полого катода в течение 4 часов. Плазму повышенной плотности формируют между деталью и экраном, выполненным с отверстиями и изготовленным из титанового сплава. Затем повышают давление до 300 Па и проводят азотирование в газовой среде азота при температуре 650-700°С в течение 4 часов без эффекта полого катода. Обеспечивается увеличение контактной долговечности и износостойкости упрочненного слоя за счет комбинированной обработки азотированием различными способами за один технологический цикл в одном вакуумном объеме. 5 ил., 1 пр.

Изобретение относится к прецизионным износостойким антифрикционным покрытиям, полученным путем вакуумно-дугового осаждения, и может быть использовано в машиностроении, авиастроении, при создании конструкций с повышенными антиэрозионными, антифрикционными и защитными свойствами. Износостойкое антифрикционное покрытие деталей пар трения содержит азотированный слой и слои нитрида титана и алюминия. На азотированной поверхности детали выполнен первый слой из титана, второй слой выполнен в виде чередующихся нанослоев титана и нитрида титана, а после третьего слоя, выполненного в виде чередующихся нанослоев нитрида титана и нитрида алюминия, выполнен четвертый слой из нитрида алюминия. Обеспечивается повышение износостойкости покрытия, в том числе эрозионному воздействию агрессивной среды, при этом в узлах трения с распределительным золотником достигается высокая надежность работы серийных и новых конструкций агрегатов и увеличивает их ресурс в 5-20 раз. 4 з.п. ф-лы, 3 табл.

Изобретение относится к способу получения упрочненного сплава, имеющего металлическую основу, в объеме которой диспергированы наночастицы, из которых по меньшей мере 80% имеют средний размер от 0,5 нм до 50 нм. Указанные наночастицы содержат по меньшей мере один нитрид, выбранный из нитридов по меньшей мере одного элемента-металла М, выбранного из группы, содержащей Ti, Zr, Hf и Та. Способ включает следующие последовательные этапы, на которых a) осуществляют плазменное азотирование основного сплава при температуре от 200°C до 700°C для введения в него внедренного азота, причем указанный основной сплав содержит от 0,1% до 1% по весу элемента-металла М и выбран из аустенитного, ферритного, ферритно-мартенситного сплава или сплава на основе никеля, b) проводят диффундирование внедренного азота в указанном основном сплаве при температуре от 350°C до 650°C и c) осуществляют выделение нитрида при температуре от 600°C до 900°C в течение от 10 минут до 10 часов с образованием указанных наночастиц, диспергированных в упрочненном сплаве. Обеспечивается получение сплава, упрочненного частицами нитрида. 28 з.п. ф-лы, 1ил.

Изобретение относится к области упрочняющей обработки материалов, в частности к способам химико-термической обработки изделий путем нанесения металлосодержащих покрытий различного назначения. Способ включает химико-термическую обработку изделия, изготовленного из материала, способного к насыщению неметаллами 2-го периода с образованием твердого раствора неметаллов 2-го периода и их неустойчивых соединений, при этом сначала поверхностный слой насыщают неметаллом 2-го периода и напыляют на поверхность металлы IV-V групп, после чего инициируют реакцию самораспространяющегося высокотемпературного синтеза металлов IV-V групп с неметаллами 2-го периода путем импульсного нагрева поверхности изделия до температуры Т, которую выбирают из следующих условий: Т>Ти; Т>Тд, где Ти - температура инициирования реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза между металлами IV и V групп и неметаллами 2-го периода; Тд - температура диссоциации неустойчивых соединений неметаллов 2-го периода с материалом изделия. Технический результат заключается в повышении качества обработки изделия. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области металлургии, а именно к химико-термической обработке металлов в плазме тлеющего разряда, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин и режущего инструмента. Способ азотирования изделия из стали в плазме тлеющего разряда включает размещение изделия в вакуумной камере и присоединение изделия к высоковольтному источнику питания, герметизацию вакуумной камеры и создание в ней высокого вакуума с последующей заменой на атмосферу чистого азота, получение стабильной плазмы тлеющего разряда в атмосфере чистого азота с помощью высоковольтного источника питания и потока электронов от вольфрамовой нити накала, установленной параллельно оси вакуумной камеры, который создают нагревом нити накала до температуры 2000-2500°С. Получают плазму тлеющего разряда повышенной плотности в атмосфере чистого азота путем воздействия на поток электронов и ионов электромагнитным полем с использованием кольцевых электромагнитов, обеспечивающих электронам и ионам движение по винтовым траекториям переменного радиуса. Для осуществления нагрева изделий до температуры азотирования в упомянутой плазме тлеющего разряда повышенной плотности на подложку с изделиями подают напряжение 2000 В, затем уменьшают напряжение на подложке до 1800-1500 В для поддержания постоянной температуры азотирования, при этом обеспечивают плотность тока разряда равной 104 А/м2, при которой азотирование проводят в течение 2-3 часов. Обеспечивается повышение скорости азотирования, а также микротвердости и износостойкости азотированного покрытия. 1 ил., 1 пр.
Изобретение относится к термоводородной обработке полуфабрикатов и изделий из пористого материала на основе титана и его сплавов для медицинских имплантатов. Способ включает термодиффузионное насыщение водородом и вакуумный отжиг. Термодиффузионное насыщение водородом ведут при температуре 700-900°С до концентрации водорода 0,2-0,4 мас.%, а затем при температуре 500-650°С до концентрации водорода 0,5-0,9 мас.%. Вакуумный отжиг ведут при температуре 550-700°С до концентрации водорода не более 0,01 мас.%. Обеспечивается повышение прочностных характеристик пористого материала за счет увеличения доли физических контактов волокон между собой. 2 пр.

Изобретение относится к области вакуумно-плазменных химико-термических технологий обработки материалов и изделий и может быть использовано при химико-термической упрочняющей обработке методом азотирования конструкционных изделий из нержавеющей стали в машиностроении, приборостроении, нефтегазовой, аэрокосмической отраслях. Способ вакуумно-плазменного азотирования изделий из нержавеющей стали в дуговом несамостоятельном разряде низкого давления включает подачу отрицательного напряжения смещения на обрабатываемые изделия в газоразрядной плазме азота, создаваемой указанным дуговым несамостоятельным разрядом, при этом указанное отрицательное напряжение смещения подают в виде последовательности импульсов с амплитудой импульсов 100 В, длительностью импульсов 15 мкс и частотой их повторения 20 кГц. Обеспечивается высокая эффективность вакуумно-плазменного азотирования стальных изделий различного назначения. 3 ил., 1 табл., 1 пр.
Изобретение относится к металлургии, в частности к способам химико-термической обработки деталей из титана, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей, работающих в парах трения. Способ химико-термической обработки детали из титана включает размещение детали в рабочей камере установки, активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой, подачу в камеру рабочей насыщающей среды, нагрев детали до температур химико-термической обработки и выдержку при этих температурах до формирования необходимой толщины диффузионного слоя. Активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой проводят с помощью ионно-имплантационной обработки поверхности детали при энергии ионов от 30 до 40 кэВ, дозой от 1,4·1017 см-2 до 1,8·1017 см-2, со скоростью набора дозы от 0,7·1015 с-1 до 1·1015 с-1 и при этом в качестве имплантируемых ионов используют ионы С, N или их комбинации. В частных случаях осуществления изобретения химико-термическую обработку детали проводят ионно-плазменным азотированием, или ионно-плазменной цементацией, или ионно-плазменной нитроцементацией. Обеспечивается повышение производительности и качества процесса химико-термической обработки, а также повышение износостойкости деталей после химико-термической обработки. 2 з.п. ф-лы.
Изобретение относится к металлургии, в частности к способам химико-термической обработки деталей из сплава на основе кобальта, и может быть использовано для изготовления деталей и узлов горячего тракта газотурбинных авиационных двигателей, стационарных газотурбинных установок и других изделий, работающих при высоких температурах. Способ химико-термической обработки детали из сплава на основе кобальта включает размещение детали в рабочей камере установки, активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой, подачу в камеру рабочей насыщающей среды, нагрев детали до температур химико-термической обработки и выдержку при этих температурах до формирования необходимой толщины диффузионного слоя. Активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой проводят с помощью ионно-имплантационной обработки поверхности детали при энергии ионов от 35 до 50 кэВ, дозе облучения от 1,2·1017 см-2 до 1,6·1017 см-2, скорости набора дозы облучения от 0,6·1015 с-1 до 0,9·1015 с-1 и при использовании в качестве имплантируемых ионов ионов следующих элементов: С, N, Cr, Y, Yb или их комбинации. В частных случаях осуществления изобретения химико-термическую обработку детали проводят ионно-плазменным азотированием или ионно-плазменной цементацией или ионно-плазменной нитроцементацией. Обеспечивается повышение производительности и качества процесса химико-термической обработки, а также повышение износостойкости деталей после химико-термической обработки. 2 з.п. ф-лы, 1 пр.
Изобретение относится к металлургии, в частности к способам химико-термической обработки деталей из сплава на основе никеля, и может быть использовано для изготовления деталей и узлов горячего тракта газотурбинных авиационных двигателей, стационарных газотурбинных установок и других изделий, работающих при высоких температурах. Способ химико-термической обработки детали из сплава на основе никеля включает размещение детали в рабочей камере установки, активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой, подачу в камеру рабочей насыщающей среды, нагрев детали до температур химико-термической обработки и выдержку при этих температурах до формирования необходимой толщины диффузионного слоя. Активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой проводят с помощью ионно-имплантационной обработки поверхности детали при энергии ионов от 35 до 50 кэВ, дозе облучения от 1,2·1017 см-2 до 1,6·1017 см-2, скорости набора дозы облучения от 0,6·1015 с-1 до 0,9·1015 с-1, при этом в качестве имплантируемых ионов используют ионы С, N, Cr, Y, Yb или их комбинации. В частных случаях осуществления изобретения химико-термическую обработку детали проводят ионно-плазменным азотированием, или ионно-плазменной цементацией, или ионно-плазменной нитроцементацией. Обеспечивается повышение производительности и качества процесса химико-термической обработки, а также повышение износостойкости деталей после химико-термической обработки. 2 з.п. ф-лы, 1 пр. .
© Патентный поиск, поиск патентов на изобретения - FindPatent.RU 2012-2024
Политика конфиденциальности 2015-09-10 2015-09-10T09:55:37
Наверх