Стекло для спаивания с кремнием

 

о ооезная вмтентно-, 2686I5 би от

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Респуолик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 32Ь, 3/04

Заявлено 09.1.1969 (№ 1298638/29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 10.1V.1970, Бюллетень ¹ 14

Дата опубликования описания 28.ЧШ.1970

МПК С 03с 3/04

УДК 666.112.93 (088.8) Номитет по делам иаоСретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

А. В. Левитина и А. М. Равич

Заявитель

СТEKaO @Л COAI48Ai- 14Я C WI EWtI-114 Ì

3 — 8

Например, SiO

А1г -4а

СаО

Мдо

ВаО

TiO

3 — 8

Изобретение относится к стеклу для спаивания с кремнием для изоляции компонентов интегральных схем, применяемых в электронной технике.

Известно стекло для спаивания с кремнием, включающее SiO, А!гОг, СаО, MgO, TiO .

Описываемое стекло обеспечивает улучшения качества спая. Это достигается тем, что оно содержит указанные компоненты в следующих количествах, % по весу:

Я Ог 60 — 65

А1гОп 20 — 25

СаО 1 — 3

NgO 4 — 8

Ti0 1 — 2 и, кроме того, ВаО стекло, содержащее, % по весу

61,5 — 63,5

22 — 24

1,5 — 2,5

5,5 — 6,5

5 — 6

1 — 2, имеет следующие свойства.

Коэффициент термического расширения

2 и 10 7 1 C в интервале температур 20 — 700 С 35 — 36

Температура размягчения. С 850

tg6 10(при, =10с гц 16

5 в при f=10(ги 6,7

҄— 100 510

Химическая стойкость, гидролитиче- 1 ский класс

Температура начала кристаллиза-1150

10 ции, С

Описываемое стекло спаивается с кремнием при 1100+10 С, ие кристаллизуется при температуре спаивания.

Изоляция из него устойчива при последую15 щих технологических операциях изготовления полупроводниковых приборов.

Предмет изобретения

Стекло для спаивания с кремнием, вклю20 чающее SiO, А1гОг, СаО, NgO, TiO, отли((аюи1ееся тем, что, с целью улучшения качества сная, оно содержит указанные компоненты в следующих количествах, % по весу:

SiO 60 — 65

25 А1гО 20 — 25

СаО 1 — 3

NgO 4 — 8 I iO 1 — 2 и, кроме того, Зо ВаО