Направляющее поток устройство для двухэлектродной разрядной камеры, двухэлектродная разрядная камера с его использованием и эксимерный лазер

Авторы патента:

ЛЮ Бинь (CN)

ЧЖАО Цзяншань (CN)

ЧЖОУ Йи (CN)

ВАН Куйбо (CN)

ВАН Юй (CN)

ДИН Цзиньбинь (CN)

H01S3/097 - Лазеры, т.е. устройства для генерирования, усиления, модуляции, демодуляции или преобразования частоты, использующие стимулированное излучение электромагнитных волн с длиной волны большей, чем длина волны в ультрафиолетовом диапазоне (полупроводниковые лазеры H01S 5/00)

Владельцы патента RU 2618792:

Рейнбоу соурс Лейзер (ЭрЭсЛейзер) (CN)

Изобретение относится к области лазерной техники. Направляющее поток устройство для разрядной камеры лазера имеет симметричную конфигурацию и включает две пары электродов. Направляющее поток устройство содержит два ротора, которые соответствуют одной паре из двух пар электродов соответственно. Установленные положения роторов симметричны относительно плоскости симметрии разрядной камеры и находятся под электродами. Ось вращения роторов параллельна осевому направлению электродов, которое параллельно плоскости основания разрядной камеры. Указанные роторы имеют противоположные направления и идентичные скорости вращения. Под каждым из роторов установлена нижняя спойлерная пластина, выполненная с возможностью предотвращения прохождения газового потока под роторами. Причем от установленного положения под каждой парой электродов к соответствующему ротору простирается верхняя спойлерная пластина. Между концом направляющей поток пластины и верхней стороной электрода установлена верхняя направляющая поток пластина. Верхняя направляющая поток пластина и верхняя спойлерная пластина образуют постепенно сужающийся промежуточный канал. Технический результат заключается в обеспечении возможности повышения энергии и надежности лазера. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 9 ил.

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ

[0001] Настоящее изобретение относится к области лазеров, а точнее к направляющему поток устройству разрядной камеры для эксимерного лазера с однополостной двухэлектродной разрядной камерой для фотолитографии, двухэлектродной разрядной камере, использующей такое направляющее поток устройство, и эксимерному лазеру.

ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[0002] В настоящее время эксимерные лазеры рассматриваются как лучшие кандидаты на роль источников света для фотолитографии и являются преобладающими рабочими источниками света в промышленности по фотолитографическому производству интегральных схем (ИС).

[0003] Существующие в настоящее время эксимерные лазеры были усовершенствованы от исходной однокамерной структуры до двухкамерной структуры с тем, чтобы реализовать более узкую ширину линии и более высокую среднюю выходную мощность. Данные эксимерные лазеры с двухкамерной структурой состоят из двух разрядных камер, конфигурации которых по сути идентичны друг другу и относятся к затравочной камере и резонаторной камере соответственно. Основной рабочий процесс изображается следующим образом: затравочная камера генерирует затравочный свет с узкой шириной линии и более низкой энергией при определенной частоте повторения (частоте следования импульсов); затравочный свет проводится в резонаторную камеру для усиления; в итоге получается прекрасный эксимерный лазер с узкой шириной линии и высокой мощностью.

[0004] На фиг. 1 показан обычный двухкамерный эксимерный лазер, который состоит из двух разрядных камер 101 и 102, т.е. затравочной камеры 101 и резонаторной камеры 102. Две разрядные камеры имеют по паре разрядных электродов 103 и 104 соответственно. Имеется модуль 105 для сужения ширины линии у отражающего торца затравочной камеры. Затравочная камера 101 и резонаторная камера 102 соединены модулями 106, 107 и 108, и в функцию данных модулей входит контроль, регулирование и измерение светового пути. Такой двухкамерный эксимерный лазер необходимо снабдить двумя разрядными камерами с набором источников 109 и 110 питания высокого напряжения соответственно.

[0005] Некоторые исследователи предлагают эксимерный лазер с однокамерной двухэлектродной конфигурацией, в котором две пары разрядных электродов устанавливают параллельно в одной разрядной камере; одна пара электродов предназначена для генерации затравочного света, а другая пара электродов – для усиления затравочного света. Преимуществом такого технического решения является содействие синхронному управлению разрядом и снижения сложности эксимерного лазера.

[0006] Традиционная двухэлектродная разрядная камера показана на фиг. 2. Две пары электродов 202 и 203 установлены параллельно в разрядной камере 201. Две пары электродов используют для разряда только одну установку источника 204 питания высокого напряжения. Таким образом, сложность эксимерного лазера снижается и интеграция всей установки упрощается.

[0007] Однако необходимо отметить, что, когда эксимерный лазер работает с высокой частотой повторения, между разрядными электродами необходимо формировать высокоскоростной поток газа с тем, чтобы выводить отработанный газ, который уже претерпел разряд, и непрерывно поставлять свежий рабочий газ для разряда, что гарантирует качество разряда и повышает энергию и надежность лазера. Когда две пары электродов устанавливаются параллельно в разрядной камере, между двумя соответствующими электродами нужно генерировать поток газа с приблизительно одинаковой скоростью течения и однородностью. Таким образом, желательно сконструировать новую разрядную камеру, чтобы создать новые средства для циркуляции газа.

СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Решаемые технические задачи

[0008] Техническая задача, решаемая настоящим изобретением, заключается в обеспечении серии направляющего поток устройства для двухэлектродной разрядной камеры эксимерного лазера, так чтобы эта разрядная камера создавала симметричное распределение поля течения в камере и одновременно формировала высокоскоростной поток газа с постоянной скоростью течения и однородностью в обоих различных областях разряда.

Технические решения

[0009] Для того чтобы решить упомянутые выше технические задачи, настоящее изобретение предлагает направляющее поток устройство для разрядной камеры, имеющей симметричную конфигурацию и включающей две пары электродов; направляющее поток устройство содержит два ротора, которые соответствуют одной паре из двух пар электродов соответственно; установленные положения роторов симметричны относительно плоскости симметрии разрядной камеры и находятся под электродами; ось вращения роторов параллельна осевому направлению электродов, которое параллельно плоскости основания разрядной камеры; и два ротора имеют противоположные направления вращения и идентичные скорости вращения.

[0010] В соответствии с одним предпочтительным вариантом выполнения настоящего изобретения, под каждым из роторов установлена нижняя спойлерная пластина, выполненная с возможностью предотвращения прохождения потока газа под роторами.

[0011] В соответствии с одним предпочтительным вариантом выполнения данного изобретения, нижняя спойлерная пластина имеет наклонную поверхность или криволинейную поверхность. То есть наветренная сторона спойлерной пластины предназначена быть наклонной поверхностью или криволинейной поверхностью. Криволинейная поверхность может быть вогнутой вовнутрь криволинейной поверхностью, выгнутой наружу криволинейной поверхностью или их сочетанием.

[0012] В соответствии с одним предпочтительным вариантом выполнения настоящего изобретения, от установленного положения под каждой парой электродов до соответствующего ротора простирается верхняя спойлерная пластина.

[0013] В соответствии с одним предпочтительным вариантом выполнения настоящего изобретения, на боковых стенках роторов установлена направляющая поток пластина, выполненная с возможностью направлять поток газа на выходе роторов к области разряда электродов.

[0014] В соответствии с предпочтительным вариантом выполнения настоящего изобретения, между концом направляющей поток пластины и верхней стороной электрода установлена верхняя направляющая поток пластина, и верхняя направляющая поток пластина и верхняя спойлерная пластина образуют постепенно сужающийся промежуточный канал.

[0015] В соответствии с предпочтительным вариантом выполнения настоящего изобретения, в среднем положении в пределах области разряда двух электродов установлена симметричная сливающая направляющая поток пластина, выполненная с возможностью сводить поток газа, проходящий через область разряда, в низходящий газовый поток.

[0016] В соответствии с одним предпочтительным вариантом выполнения настоящего изобретения, от направления вниз каждого из электродов к соответствующим роторам выступает нижняя направляющая поток пластина, которая обладает формой дуги, изогнутой по направлению к роторам.

[0017] Настоящее изобретение также предлагает двухэлектродную разрядную камеру, содержащую указанное выше направляющее поток устройство, и эксимерный лазер, содержащий такую двухэлектродную разрядную камеру.

Выгодный эффект

[0018] Настоящее изобретение использует два ротора для пропускания потока в качестве источника движения газового потока во всей камере. Два ротора вращаются в противоположных направлениях. Серию направляющих поток конструкций устанавливают вокруг роторов в камере для формирования промежуточного канала, который способствует формированию газового потока и ускорению газового потока. В итоге, в области разряда достигается однородный газовый поток с высокой скоростью. Два ротора и направляющее поток устройство оба устанавливают симметрично и скорость вращения роторов поддерживают постоянной, так что результирующее поле течения внутри камеры распределяется приблизительно симметрично.

[0019] Настоящее изобретение позволяет синхронно получать однородные газовые потоки с высокой скоростью в обоих областях разряда в двухэлектродной разрядной камере для гарантирования качества разряда с тем, чтобы повысить энергию и надежность лазера.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ

[0020] Фиг. 1 изображает схематичный вид двухкамерного эксимерного лазера в соответствии с уровнем техники.

[0021] Фиг. 2 изображает схематичный вид двухэлектродной разрядной камеры в соответствии с уровнем техники.

[0022] Фиг. 3 изображает схематичный вид в поперечном разрезе двухэлектродной разрядной камеры для эксимерного лазера в соответствии с одним из вариантов выполнения настоящего изобретения.

[0023] Фиг. 4 изображает схематичный вид одного типа ротора для пропускания потока, использующегося данным вариантом выполнения настоящего изобретения.

[0024] Фиг. 5 изображает схематичные виды различных вариантов реализации нижней спойлерной пластины под ротором в вариантах выполнения настоящего изобретения.

[0025] Фиг. 6 изображает схематичный вид углового диапазона для верхней спойлерной пластины над роторами в вариантах выполнения настоящего изобретения.

[0026] Фиг. 7 изображает схематичный вид постепенно сужающегося промежуточного канала на входе перед электродами в вариантах выполнения настоящего изобретения.

[0027] Фиг. 8 изображает схематичный вид различных вариантов реализации направляющих поток устройств электродов в вариантах выполнения настоящего изобретения.

[0028] Фиг. 9 изображает структурный схематичный вид эксимерного лазера, основанного на двухэлектродной разрядной камере в соответствии с настоящим вариантом выполнения настоящего изобретения.

ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ

[0029] Для того чтобы пояснить задачи, решения и преимущества настоящего изобретения, настоящее изобретение в дальнейшем будет подробно проиллюстрировано исходя из следующих детальный описаний его конкретных вариантов выполнения со ссылкой на прилагаемые фигуры.

[0030] Фиг. 3 изображает схематический вид в поперечным разрезе двухэлектродной разрядной камеры для эксимерного лазера в соответствии с вариантом выполнения настоящего изобретением. Как показано на фиг. 3, разрядная камера 301 имеет симметричную конфигурацию (он изображает зеркальную симметрию на фигуре и плоскость симметрии перпендикулярна плоскости бумаги и поверхности дна разрядной камеры). В разрядной камере 301 установлены две пары электродов 302 и 303. Электроды 302 и 303 имеют осевое направление, которое параллельно поверхности дна разрядной камеры и совпадает с оптической осью испускаемого лазером света. Каждая пара электродов – один катод и один анод. Как правило, катод устанавливают на верхней стороне, а анод – на нижней стороне. В варианте выполнения изобретения, изображенном на фиг. 3, катоды двух пар электродов 302 и 303 установлены на изолирующих устройствах 304 и 305, поэтому катоды изолированы от корпуса разрядной камеры. Средство для установки анода изображено на фиг. 8, на котором установочная опора выполнена из металла и присоединена к корпусу камеры. Таким образом, анод и корпус разрядной камеры находятся при одинаковом потенциале.

[0031] Для того чтобы привести в движение газ 306 внутри камеры для циркуляции, на обоих сторонах камеры установлены два ротора 307 и 308 для пропускания потоков. Эти два ротора соответствуют одной паре из двух пар электродов соответственно и располагаются под электродами. С учетом интегрированной конструкции разрядной камеры и требования к скорости потока при частоте повторения разряда, диаметр ротора задан в пределах диапазона 90-140 мм.

[0032] Ротор для пропускания потока, использующийся настоящим изобретением, является специальным ротором для эксимерного лазера. Как правило, такой ротор имеет лучшую жесткость и меньше шума, чем традиционный ротор для пропускания потока. Фиг. 4 изображает специальный ротор для эксимерного лазера, лопасти которого расположены неравномерно с тем, чтобы снизить шум и вибрацию, генерируемые во время работы ротора. Для того чтобы сэкономить затраты на производство, в разрядной камере по настоящему изобретению может быть использован стандартный ротор с прямыми зубьями или скошенными зубьями.

[0033] Оси вращения двух роторов 307 и 308 параллельны электродам 302 и 303, и их установленные положения симметричны относительно плоскости симметрии разрядной камеры 301. Как можно видеть из поперечного разреза камеры, перпендикулярного оптической оси, оба их положения находятся у дна разрядной камеры по левую и правую стороны.

[0034] Два ротора 307 и 308 вращаются в противоположных направлениях. Как можно видеть из поперечного разреза камеры, перпендикулярного оптической оси, один ротор 307 вращается по часовой стрелке, а другой ротор 308 вращается против часовой стрелки. Скорость вращения двух роторов поддерживают постоянной (согласующейся) друг с другом.

[0035] Если желательно повысить скорость потока на выходе из ротора, необходимо заставить большую часть потока газа проходить через решетки между соответствующими лопастями роторов настолько сильно, насколько это возможно, а также необходимо избежать прохождения мимо ротора. Таким образом, вращение ротора приводит к тому, что лопасти совершают как можно большую работу над газами с тем, чтобы ускорить протекание газа.

[0036] Соответственно, под каждым из роторов установлены нижние спойлерные пластины 309 и 310, и функцией этих нижних спойлерных пластин является предотвращение прохождения газового потока под роторами. Теоретически, чем меньше зазоры между нижней спойлерной пластиной и окружной периферией ротора, тем меньше газа проходит под ротором, что является большим преимуществом для повышения эффективности роторов. Однако слишком маленький зазор усиливает шум и вибрацию ротора, поэтому зазор в общем спроектирован составляющим 1-10 мм.

[0037] Фиг. 3 изображает cамые простые спойлерные пластины 309 и 310, которые являются складчатым и согнутым компонентом с прямым углом, и его выступающая сторона предназначена блокировать газовый поток, который проходит под ротором. Спойлерная пластина такой формы может эффективно блокировать поток газа, который проходит под ротором, но образует область сильного завихрения и потерь энергии газа. Таким образом, в настоящем изобретении предпочтительно производить спойлерную пластину в виде конструкции, изображенной на фиг. 5. На фиг. 5 ссылочная позиция 501 показывает наклонную поверхность, а ссылочные позиции 502-504 – криволинейные поверхности. Прилегающие к прямому углу стороны в нижней части спойлерных пластин устанавливают на донной поверхности разрядной камеры. Такие формы спойлерных конструкций не только блокируют газовый поток, который проходит под ротором, но их наклонные поверхности или криволинейные поверхности также могут эффективно уменьшать область завихрения на входе в них, так что газовый поток направляется к ротору с ускорением так, чтобы уменьшить потерю энергии газа.

[0038] Для того чтобы предотвратить прохождение потока газа минуя ротор, дополнительные спойлерные пластины 313 и 314 простираются поверх ротора от установленного положения под каждой парой из двух пар электродов (в данном варианте – положения анода) к соответствующему ротору, которые называются здесь верхними спойлерными пластинами. Зазоры между одними концами верхних спойлерных пластин 313, 314 и окружной периферией роторов 307, 308 поддерживают как можно меньшими. Как правило, он составляет в диапазоне 1-4 мм. Фиг. 6 изображает схематичный вид углового диапазона для верхней спойлерной пластины над роторами в вариантах выполнения настоящего изобретения. Как показано на фиг. 6, ссылочная позиция 603 относится к аноду из разрядных электродов, и ротор 601 располагается между нижней спойлерной пластиной 602 и верхней спойлерной пластиной 604. Верхняя спойлерная пластина и нижняя спойлерная пластина того же ротора направлены в две точки на внешней окружности вентилятора, и центральный угол, разделенный этими двумя точками на внешней окружности, может быть 120°-180°. Таким образом, позиции 605 и 606 на фиг. 6 являются двумя крайними положениями для спойлерных пластин поверх роторов, и точки на внешней окружности вентиляторов, указанные данными положениями, являются точками a и b соответственно.

[0039] Для того чтобы уменьшить сопротивление потоку, газовый поток на выходе из ротора направляется к области разряда электродов. Как показано на фиг. 3, направляющие поток пластины 311, 312 установлены на боковых стенках рядом с роторами. Направляющая поток пластина может быть сконструирована в виде приспособления с изогнутой поверхностью и может быть образована посредством соединения множества плоских пластин вместе. Трансверсальная кривая направляющих поток пластин 311, 312 с криволинейной поверхностью является эвольвентой, исходящей из одного конца спойлерной пластины под лопастями. Конец эвольвенты направлен на верхний из разрядных электродов 302 и 303. Эвольвента может быть сконструирована с различными формами, такими как линия кривизны, архимедова спираль, логарифмическая спираль или их сочетание. Трансверсальная кривая направляющих поток пластин 311, 312 с криволинейной поверхностью, как показано на фиг. 3, является сочетанием множества линий кривизны.

[0040] Как показано на фиг. 3, верхние направляющие поток пластины 315 и 316 установлены между концом эвольвентной направляющей поток пластины и верхней стороной разрядных электродов 302 и 303 (верхних электродов). Верхняя направляющая поток пластина и верхние спойлерные пластины 313, 314 соответственно образуют постепенно сужающийся к области разряда промежуточный канал. В соответствии с уравнением неразрывности потока постепенно сужающийся промежуточный канал выполняет функцию ускорения с тем, чтобы получить газовый поток с высокой скоростью. Как показано на фиг. 7, постепенно сужающийся промежуточный канал, образованный направляющими поток пластинами 701 и 702, направляет газовый поток к областям между электродами 703. Ширина промежуточного канала при входе, S1, больше, чем ширина промежуточного канала на выходе, S2. Таким образом, скорость потока на выходе выше, чем скорость потока на входе.

[0041] После того как газовый поток на обеих сторонах проходит через область разряда, они встречаются друг с другом рядом с плоскостью симметрии разрядной камеры и сводятся, образуя струю газа. Для того чтобы избежать потери столкнувшихся газовых потоков на обеих сторонах, в среднем положении в пределах области разряда двух электродов установлена симметричная сливающая потоки направляющая пластина, показанная ссылочной позицией 317 на фиг. 3 и называемая сливающей потоки направляющей пластиной. Сливающая потоки направляющая пластина 317 меняет направления потоков газа, которые изначально двигаются в противоположных направлениях, и две струи газовых потоков изменяются на движение вниз, так что эти две струи газовых потоков сходятся в одну струю нисходящего газового потока.

[0042] Нисходящие газовые потоки вновь разделяются на две струи газового потока посредством двух нагнетательных вентиляторов, ускоряются этими двумя нагнетательными вентиляторами и начинают новый цикл. Для того чтобы уменьшить сопротивление, создаваемое при столкновении газового потока с нижней поверхностью камеры, в среднем положении на дне разрядной камеры установлена симметричная направляющая поток пластина, которая называется разделяющей направляющей поток пластиной, как показано ссылочной позицией 320 на фиг. 3, чтобы способствовать распределению газового потока и направлять к лопастям.

[0043] Ниже по потоку за электродами поток газа будет создавать сужающийся вихрь на «мертвом» конце поверхности установки электродов без каких-либо защитных мер, что повышает сопротивление потоку. Для того чтобы уменьшить вызываемое таким эффектом сопротивление потоку, настоящее изобретение предлагает нижнюю направляющую поток пластину с формой, показанной ссылочными позициями 318 и 319 на фиг. 3. Как показано на фигурах, от направления вниз электродов к соответствующим роторам выступают нижние направляющие поток пластины 318 и 319, которые обладают формой дуги, изогнутой по направлению к роторам. Для потока с более низкой скоростью такая конструкция может задержать срыв газового пограничного слоя с тем, чтобы уменьшить сопротивление потоку.

[0044] Для простоты, на фиг. 3 верхняя спойлерная пластина 313 и нижняя спойлерная пластина 318 объединены и являются двумя частями одного элемента. В реальной конструкции, как показано на фиг. 8А, и в соответствии с дополнительным вариантом выполнения настоящего изобретения, верхняя и нижняя спойлерные пластины могут быть сконструированы в виде двух отдельных элементов 801 и 802, которые установлены с двух сторон – спереди-сзади – установочной опоры 803 под электродом посредством винтов. В соответствии с другими вариантами выполнения настоящего изобретения, такое приспособление может быть изготовлено не с листовой конфигурацией заданных размеров, но и с интегрированной, сплошной конфигурацией. Как показано на фиг. 8В, такое приспособление состоит только из электродной основы 804 с функцией направления потока и электрода 805.

[0045] Для того чтобы уменьшить сопротивление потоку, создаваемое самим электродом, может быть сконструирована основа с утопленным электродом, как показано ссылочной позицией 806 на фиг. 8С и ссылочной позицией 807 на фиг. 8D. После того как электроды установлены утопленными образом, электроды сами по себе не располагаются в главном промежуточном канале, чтобы уменьшить сопротивление промежуточного канала. Необходимо отметить, что когда электроды установлены утопленным образом, необходимо предпринять меры по изоляции, чтобы избежать нежелательного разряда.

[0046] Фиг. 9 изображает структурный схематичный вид эксимерного лазера, основанного на указанной выше двухэлектродной разрядной камере, на виде сверху. Лазер включает в себя двухэлектродную разрядную камеру 901, в которой две пары электродов 902 и 903 установлены параллельно. Электрод 902 предназначен для генерации затравочного света, а электрод 903 предназначен для усиления затравочного света. На отражающем конце электрода 901 имеется модуль 904 для сужения ширины линии. Модули 905, 906 и 907 предназначены для контроля, регулирования и измерения светового пути.

[0047] Задачи, решения и преимущества настоящего изобретения описаны выше со ссылкой на вышеуказанные конкретные варианты выполнения. Однако необходимо понимать, что конкретные варианты выполнения приведены с целью иллюстрации, а не ограничения настоящего изобретения. Различные изменения, замены и модификации могут быть выполнены без отклонения от раскрытия изобретения и должны попадать в рамки настоящего изобретения.

1. Направляющее поток устройство для разрядной камеры лазера, имеющей симметричную конфигурацию и включающей две пары электродов, причем направляющее поток устройство содержит два ротора, которые соответствуют одной паре из двух пар электродов соответственно; установленные положения роторов симметричны относительно плоскости симметрии разрядной камеры и находятся под электродами; ось вращения роторов параллельна осевому направлению электродов, которое параллельно плоскости основания разрядной камеры, и два ротора имеют противоположные направления вращения и идентичные скорости вращения, причем под каждым из роторов установлена нижняя спойлерная пластина, выполненная с возможностью предотвращения прохождения газового потока под роторами, причем от установленного положения под каждой парой электродов к соответствующему ротору простирается верхняя спойлерная пластина, и причем между концом направляющей поток пластины и верхней стороной электрода установлена верхняя направляющая поток пластина, и верхняя направляющая поток пластина и верхняя спойлерная пластина образуют постепенно сужающийся промежуточный канал.

2. Направляющее поток устройство по п. 1, причем нижняя спойлерная пластина имеет наклонную поверхность или криволинейную поверхность, т.е. наветренная сторона спойлерной пластины предназначена быть наклонной поверхностью или криволинейной поверхностью, и эта криволинейная поверхность является вогнутой вовнутрь криволинейной поверхностью, выгнутой наружу криволинейной поверхностью или их сочетанием.

3. Направляющее поток устройство по п. 1, причем на боковых стенках рядом с роторами установлена направляющая поток пластина или поверхности боковых стенок непосредственно обработаны имеющими форму поверхности направляющей поток пластины, так чтобы направлять газовый поток на выходе из роторов к области разряда электродов.

4. Направляющее поток устройство по п. 1, причем в среднем положении в пределах области разряда двух электродов установлена симметричная сливающая потоки направляющая пластина, выполненная с возможностью сводить газовый поток, проходящий через область разряда, в нисходящий газовый поток.

5. Направляющее поток устройство по п. 1, причем от направления вниз каждого из электродов к соответствующим роторам выступает нижняя направляющая поток пластина, которая обладает формой дуги, изогнутой по направлению к роторам.

6. Двухэлектродная разрядная камера лазера, содержащая направляющее поток устройство по любому из пп. 1-5.

7. Эксимерный лазер, содержащий двухэлектродную разрядную камеру по п. 6.

Изобретение относится к лазерной технике. Разрядное устройство импульсно-периодического газоразрядного ТЕ лазера содержит пару протяженных электродов, разделенных зоной потока газа и образующих разрядный промежуток.

Устройство для частотного преобразования лазерного излучения на основе вынужденного комбинационного рассеяния // 2599918

Устройство для частотного преобразования лазерного излучения на основе вынужденного комбинационного рассеяния включает в себя оптически связанные и размещенные на одной оптической оси источник накачки с активным элементом.

Устройство юстировки сферической оправы оптического элемента // 2599598

Изобретение относится к элементам конструкции оптических резонаторов, используемых для первоначальной настройки резонатора и стабилизации выходных параметров лазера, и может быть использовано при изготовлении лазерной техники, работающей в условиях внешних воздействующих факторов.

Предотвращение несанкционированного доступа к лазерному источнику // 2599406

Изобретение относится к лазерной технике. Устройство (1) для предотвращения несанкционированного доступа к лазерному источнику содержит лазерный источник (3) и блок (2) безопасности.

Мощный импульсно-периодический эксимерный лазер для технологических применений // 2598142

Изобретение относится к лазерной технике. Эксимерный лазер содержит внешний корпус, обрамляющий заполненную рабочей средой лазерную камеру с газодинамическим трактом, два газоразрядных модуля, систему прокачки и охлаждения газового потока через эти модули и систему питания газоразрядных модулей.

Устройство юстировки оправы оптического элемента // 2596906

Изобретение относится к области лазерной техники и касается устройства юстировки оправы оптического элемента. Устройство содержит закрепленный на кронштейне корпус, в отверстии которого установлен оптический элемент, фиксирующие элементы, фиксатор юстировки и пружину.

Способ настройки зеркал резонатора // 2592051

Способ настройки зеркал резонатора заключается в том, что устанавливают оправы с зеркалами с прижатием в трех точках на несущую часть резонатора и совмещают рабочие поверхности зеркал.

Способ формирования объемного разряда в импульсно-периодическом газовом лазере и устройство для его реализации // 2589471

Изобретение относится к лазерной технике. Устройство, реализующее способ формирования объемного разряда в импульсно-периодическом газовом лазере, содержит генератор импульсного напряжения, рабочую камеру с установленными в ней электродами, формирующими объемный разряд, а также систему для прокачки рабочей газовой смеси.

Архитектура многопроходного усилителя для лазерных систем большой мощности // 2589274

Система для усиления светового потока включает в себя первый отражатель, первую апертуру, первый поляризатор, выполненный с возможностью отражать световое излучение, характеризующееся первым состоянием поляризации, набор зеркал и второй поляризатор.

Способ богданова поражения цели и устройство для его реализации // 2586436

Изобретение относится к устройствам для систем противоракетной обороны, а также к средствам уничтожения живой силы и техники вероятного противника. Согласно способу поражения цели боевой лазер, выполненный с возможностью сбивать ракету, запускают в полет на ракете и поражают цель излучением лазера.

Устройство для освещения внутренней стороны цилиндра светом и устройство для преобразования лучей для такого устройства // 2631542

Устройство для освещения внутренней стороны цилиндра светом содержит коллиматор, отражающий конус, установленный на оптической оси, коническое зеркало. Также устройство содержит устройство для преобразования лучей, которое выполнено на основе матриц цилиндрических линз, расположенных вокруг оптической оси, второе коническое зеркало, гомогенизатор в виде полой трубки с рифлёной поверхностью, тороидальную линзу или тороидальное зеркало, установленные на выходе устройства. Технический результат заключается в обеспечении однородного кольцевого освещения зоны фокусировки на внутренней поверхности цилиндра. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 24 ил.

Многолучевой источник лазерного излучения и устройство для обработки материалов с его использованием // 2632745

Изобретение относится к многолучевому источнику лазерного излучения и устройству для лазерной обработки материалов. Многолучевой источник состоит из задающего генератора и многоканального усилителя. Излучение задающего генератора поступает на вход усилителя через расширитель, с последующим усилением отдельных фрагментов широкого пучка активным элементом, состоящим из лазерных пластин, расположенных последовательно в несколько параллельных рядов. Каждая пластина содержит вытянутую вдоль продольной оси пластины сердцевину из активного материала и окружающую ее с боковых сторон неактивную оболочку. Пространство между всеми пластинами заполнено теплоотводящими элементами. Излучение накачки подводится через свободные узкие грани пластин. Обрабатываемый материал размещается на базовой поверхности, условно разделенной на сектора по числу лазерных лучей. Сканирующие головки установлены над одной из вершин каждого сектора на высоте, определяемой по формуле h=d/tgα, где d - длина диагонали сектора, α - максимальный угол сканирования. Для компенсации ошибок юстировки лазерных головок используется жесткая координатная рама с датчиками координатной сетки. Изобретение позволяет одновременно использовать большое число мощных лазерных пучков для повышения скорости обработки изделий большого объема. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 14 ил.

Способ рассечения биоткани лазерным излучением и устройство для его осуществления // 2632803

Группа изобретений относится к медицине, а именно к медицинской лазерной технике и лазерной хирургии биотканей. Осуществляют рассечение биоткани лазерным излучением с использованием двух длин волн. Излучение первой длины волны и излучение второй длины волны объединяют, фокусируют в одно пятно и подводят к месту рассечения биоткани. Излучением первой длины волны обеспечивают гемостаз облучаемой области биоткани, а излучением второй длины волны осуществляют рассечение участка биоткани внутри области, подвергнутой гемостазу. Первое излучение, генерируемое диодным лазером с длиной волны в диапазоне 0,8÷1,1 мкм, выбирают квазинепрерывным со средней мощностью излучения от 10 до 30 Вт, длительностью импульсов излучения от 1,0 до 5,0 мс и частотой следования импульсов от 100 до 500 Гц. Второе излучение, генерируемое СО2 лазером с длиной волны 10,6 мкм, выбирают суперимпульсным с длительностью импульсов излучения от 0,05 до 1,0 мс, импульсной мощностью 80÷100 Вт и частотой импульсов от 100 до 500 Гц. Устройство для рассечения биоткани содержит СО2 лазер, зеркально-шарнирный манипулятор для доставки излучения СО2 лазера, диодный лазер с длиной волны излучения либо 0,81 мкм, либо 0,98 мкм, либо 1,06 мкм, гибкое оптоволокно для доставки излучения диодного лазера вдоль зеркально-шарнирного манипулятора, оптическую насадку для объединения излучения СО2 лазера и излучения диодного лазера, фокусирующую линзу для фокусировки объединенного излучения в одно пятно на поверхности биоткани в месте рассечения. Режимы работы CO2 лазера и диодного лазера регулируются независимо друг от друга с помощью контроллера, соединенного с панелью индикации и управления. Оптическая насадка закреплена на зеркально-шарнирном манипуляторе перед фокусирующей линзой и содержит последовательно расположенные по ходу лучей диодного лазера поворотное зеркало, согласующую линзу и дихроичное зеркало. Группа изобретений обеспечивает прецизионное бескровное рассечение биоткани при минимальном травматическом воздействии лазерного излучения на прилегающие ткани за счет оптимального сочетания излучения двух спектральных диапазонов и выбора оптимальных параметров лазерного излучения. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

Способ изготовления зеркала для твёрдотельного вкр-лазера с длиной волны излучения 1,54 мкм // 2637730

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может найти применение для изготовления резонаторных зеркал для импульсных твердотельных лазеров. Способ включает расчет количества и толщин слоев пленкообразующих материалов по программе «OptiLayer» для длины волны 1,351 мкм, введение рассчитанных данных и длины волны 1,351 мкм в фотометрическое устройство AOS 3S вакуумной установки, подготовку стеклянной подложки, обезгаживание пленкообразующих материалов, нанесение на одну сторону подложки зеркального покрытия для длины волны 1,351 мкм в виде чередующихся неравнотолщинных слоев диоксида циркония и диоксида кремния и защитного слоя из диоксида кремния путем электронно-лучевого испарения в вакуумной установке с контролем толщины каждого слоя по изменению коэффициента пропускания на длине волны 1,067 мкм. Первый слой выполняют из диоксида циркония. На обратную поверхность подложки наносят просветляющее покрытие для излучения с длиной волны 1,067 мкм с меньшим значением коэффициента отражения, чем от поверхности с зеркальным покрытием. Технический результат - повышение коэффициента отражения зеркала для длин волн 1,351 мкм и 1,54 мкм и снижение коэффициента отражения на длине волны 1,067 мкм. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Способ формирования синхронных последовательностей ультракоротких лазерных импульсов и фемтосекундный лазерный комплекс // 2639552

Изобретение относится к способу формирования синхронных последовательностей ультракоротких лазерных импульсов и к фемтосекундному лазерному комплексу. Способ формирования синхронных последовательностей ультракоротких лазерных импульсов, имеющих разные длины волн, заключается в том, что: генерируют первую последовательность ультракоротких лазерных импульсов; используют первую последовательность в качестве источника накачки для генерирования второй последовательности ультракоротких лазерных импульсов; отслеживают смещение спектра генерации второй последовательности ультракоротких лазерных импульсов и (или) определяют величину фазового рассогласования первой и второй последовательностей ультракоротких импульсов и выдают корректирующий сигнал для устранения смещения спектра и (или) для минимизации величины фазового рассогласования с целью подстройки частоты следования импульсов второй последовательности ультракоротких лазерных импульсов. Технический результат заключается в обеспечении возможности повышения мощности синхронных последовательностей ультракоротких импульсов без применения опасных в использовании веществ. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 5 ил.

Способ выращивания алюмоиттриевого граната, легированного ванадием // 2641828

Изобретение относится к технологии получения монокристаллических материалов для лазерной техники, предназначенных для модуляции добротности лазерного излучения (пассивным лазерным затворам - ПЛЗ). Способ выращивания алюмоиттриевого граната, легированного ванадием (АИГ:V), заключается в выращивании кристалла методом вертикальной направленной кристаллизации в молибденовом тигле в восстановительной атмосфере аргона с водородом, в котором исходная шихта дополнительно содержит металлический хром, при этом состав навески определяют из общей формулы Y3(Al(1-0,01x)V0,03x/5Cr0,02x/5)5O12, где x - концентрация ванадия в октаэдрических и тетраэдрических позициях решетки кристалла и составляет от 1 до 7 ат. %. Технический результат изобретения состоит в уменьшении концентрации фазовых включений молибдена (материала тигля) размером менее или равным 10 мкм в выращенном кристалле АИГ:V c концентрацией ванадия более или равной 3⋅1020 см-3 до значений, не влияющих на оптическое качество ПЛЗ. ПЛЗ на основе кристаллов АИГ:V с концентрацией ванадия ≥3⋅1020 см-3 обеспечивают модуляцию добротности в диапазоне длин волн 1,02-1,45 мкм. 2 ил., 1 табл.

Лазер с самозапуском синхронизации мод // 2642892

Группа изобретений относится к лазерной технике. Лазер для генерации импульсного светового пучка содержит выходное зеркало, выполненное с возможностью отражения отраженной части импульсного светового луча обратно в лазер и для добавления к выходящей из лазера части импульсного светового пучка. Также лазер содержит концевой отражатель, выполненный с возможностью возврата импульсного светового пучка в лазер; усиливающий материал, расположенный вдоль оптического пути между выходным зеркалом и концевым отражателем, выполненный с возможностью усиления импульсного светового пучка. Кроме того, лазер содержит самозапускающийся насыщаемый поглотитель, выполненный с возможностью самозапуска импульсного режима работы лазера с синхронизацией мод и насыщаемый поглотитель для генерации импульсов, выполненный с возможностью генерации импульсов импульсного светового пучка в лазерные импульсы с длительности импульса менее 1000 фемтосекунд. Технический результат заключается в обеспечении возможности обеспечения устойчивости лазера к внешним воздействиям. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 5 ил.

Способ вывода из осаждённого из газовой фазы алмаза электромагнитного излучения центров окраски // 2643694

Способ вывода из осаждённого из газовой фазы алмаза электромагнитного излучения центров окраски, в котором у поверхности алмазного образца формируется собирающая излучение центров окраски оптическая система, состоящая из конуса с круглым основанием из оптического стекла, окружающего конус конического зеркала и собирающей линзы. Диаметр круглого основания конуса значительно превышает характерные размеры алмазного образца, основание конуса параллельно лицевой поверхности алмазного образца и находится на малом расстоянии от нее, центр круглого основания конуса размещается над центром алмазного образца. При этом алмазный образец в области под центрами окраски содержит периодическую последовательность чередующихся высоко- и низкодопированных бором слоев. Технический результат заключается в повышении доли выводимого из алмазного образца электромагнитного излучения, испускаемого фотовозбуждаемыми внешним лазерным излучением центрами окраски. 1 ил.

Кислородный лазерный излучатель // 2644021

Изобретение относится к лазерной технике. Кислородный лазерный излучатель содержит генератор синглетного кислорода, имеющий корпус, в котором содержится щелочной раствор перекиси водорода (ЩРПВ), и вращающийся диск, который вращается в корпусе и инжекционную трубку, подающую газообразный хлор, реагирующий с раствором ЩРПВ на поверхности вращающегося диска, в верхнее пространство в корпусе для генерации синглетного кислорода. Лазер содержит резонатор, расположенный прямо над генератором синглетного кислорода и непосредственно соединенный проходом с генератором синглетного кислорода и разделительную стенку, расположенную между генератором синглетного кислорода и резонатором лазера и находящуюся прямо над осью вращения вращающегося диска. Разделительная стенка разнесена в вертикальном направлении с осью вращения вращающегося диска, так что разделительная стенка простирается вдоль местоположения над осью вращения, при этом проход, непосредственно соединяющий генератор синглетного кислорода и резонатор лазера, расположен над осью вращения и смещен по горизонтали относительно оси вращения, так что упомянутый проход не находится прямо над осью вращения. Технический результат заключается в обеспечении возможности облегчения процесса генерации импульсов лазерного излучения. 3 з.п. ф-лы, 10 ил.

Способ изготовления зеркал для твёрдотельных вкр-лазеров с длиной волны излучения 1,54 мкм // 2645439

Способ включает предварительный расчет количества слоев пленкообразующих материалов - диоксида циркония и диоксида кремния для длин волн 1,351 мкм и 1,54 мкм и введение рассчитанных данных и длин волн в фотометрическое устройство вакуумной установки, нанесение на одну поверхность подложек и первого контрольного образца зеркального покрытия в виде чередующихся равнотолщинных четвертьволновых слоев пленкообразующих материалов, первый слой выполняют из диоксида циркония, защитный слой - из диоксида кремния, с контролем толщины каждого слоя фотометрическим устройством вакуумной установки по изменению коэффициента пропускания первого контрольного образца на длине волны 1,067 мкм, нанесение на обратную поверхность подложек и поверхность второго контрольного образца слоев пленкообразующих материалов, рассчитанных для другой из указанных длин волн с контролем толщины слоев по изменению коэффициента пропускания второго контрольного образца на длине волны 1,067 мкм. Технический результат - повышение коэффициента отражения зеркала для длин волн 1,351 мкм и 1,54 мкм и снижение коэффициента отражения на длине волны 1,067 мкм. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.