Устройство и способ измерения ускорения на оптическом разряде с тепловизорами

Группа изобретений относится к области приборостроения. Устройство измерения ускорения на оптическом разряде с двумя тепловизорами состоит из сферической камеры, прозрачной для лазерного излучения применяемых лазеров, заполненной газовой смесью; одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых сфокусировано в центре сферической камеры; с двух противоположных сторон сферической камеры вне зоны попадания лазерного излучения одного или нескольких лазеров установлены объективы тепловизоров, каждый из которых через отверстие в корпусе сферической камеры охватывает внутреннюю часть поверхности таким образом, что в объективы двух тепловизоров суммарно видна вся внутренняя поверхность сферической камеры. Технический результат – расширение диапазона измерения ускорений и улучшение быстродействия измерения ускорений. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

 

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к системам измерения параметров движения подвижных объектов, и может быть использовано в приборах, измеряющих ускорение объектов.

Оптический разряд в газе, поддерживаемый сфокусированным лазерным излучением, представляет собой малогабаритный высокоинтенсивный источник тепловой энергии. Температура плазмы в оптическом разряде существенно выше, чем в других типах разрядов – 15000-20000 К, тогда как в дуговом обычно 7000-8000 К, в ВЧ разряде – 9000-10000 К. (Генералов Н.А., Зимаков В.П. И др. «Непрерывно горящий оптический разряд». Письма в ЖЭТФ, 1970, т. 11, с. 447-449).

Источники широкополосного излучения на базе такого оптического разряда выпускает, например, компания Energetiq Technology, Inc. (США), они подробно описаны на сайте этой компании

(https://www.energetiq.com/ldls-laser-driven-light-source-products-energetiq ).

Малые геометрические размеры лазерной плазмы, составляющие доли миллиметра, наряду с ее высокой температурой и значительным удельным энерговыделением приводят к образованию конвективных тепловых потоков в разрядной камере, которые сопровождаются характерными периодическими пульсациями. (Патент RU 2738461 C1, «Устройство и способ устранения колебаний оптического разряда», опубликовано 14.12.2020 Бюл. № 35).

Оптический разряд, как источник тепловой энергии для получения конвективного потока, может быть использован для создания малогабаритного быстродействующего измерителя ускорения – акселерометра, не имеющего подвижных механических деталей. При этом в тепло превращается 20-30% энергии лазерного излучения. Стандартный диаметр камеры для создания оптического разряда составляет 10-20 мм, камера заполняется ксеноном при давлении 10-30 Атмосфер, для поджига и поддержания оптического разряда могут быть использованы известные из уровня техники малогабаритные волоконные лазерные модули мощностью 30-70 Вт, например,

(https://www.ipgphotonics.com/ru/products/komponenty/pld-diody-nakachki ).

Известен акселерометр на фотоматрице, принятый за аналог, (Патент RU 2748582 «Акселерометр на фотоматрице», опубликовано 12.03.2021 Бюл. № 8), характеризующийся тем, что содержит, по меньшей мере, один источник света; по меньшей мере, одну фотоматрицу; контроллер для обработки информации; анализируемый объект - рабочее тело, ограничитель хода рабочего тела или ограничитель объема рабочего тела, в качестве рабочего тела используют плазму, твёрдое, жидкое, газообразное тело, а также их комбинации, причем рабочее тело выполнено с возможностью определения ускорения за счет изменения рабочего тела под действием этого ускорения - изменения объема, размера, формы, скорости перемещения, положения в пространстве относительно других объектов, при этом дополнительно используют сведения об изменении температуры рабочего тела. Известный акселерометр позволяет измерить ускорение.

Недостатком известного акселерометра является техническая сложность измерения уровня затемнения фотоматрицы в случае использования газа в качестве рабочего тела. Так, например, при ускорении акселерометра, сопоставимом с ускорением свободного падения g, при размере рабочего тела акселерометра, например, 10 см и применении в качестве рабочего газа воздуха, разность плотности газа на разных концах акселерометра составит величину 0,002%, что достаточно сложно измерить, учитывая шумы и разброс чувствительности элементов фотоматрицы. Кроме того, как следует из уровня техники, плотность газа обратно пропорциональна его абсолютной температуре в данной точке, что потребует применения для измерений плотности прецизионного термостатирования объема рабочего тела, на что требуется время для стабилизации температуры.

Недостатком известного акселерометра также является малая точность дополнительно используемых сведений об изменении при ускорении температуры рабочего тела. Из уровня техники известно, что при равноускоренном движении температура тела не изменяется. Изменения температуры проявятся только при изменениях ускорения, откуда следует, что для получения реального значения ускорения требуется цифровое интегрирование полученного сигнала об изменении температуры, что связано с накоплением ошибки и потерей точности измерений. При этом следует также учесть малые изменения температуры, если использовать акселерометр в диапазоне нескольких g, и необходимое время на усреднение температуры по объему рабочего тела. Перечисленные недостатки усложняют конструкцию известного акселерометра и замедляют скорость измерения ускорения.

Известен акселерометр на основе газового мятника, принятый за прототип (US 20080295591A1, AIR FLOW INTERTIAL SENSOR, Pub. Date: Dec. 4, 2008). Вариант известного акселерометра для двумерного измерения ускорения состоит из двух герметичных цилиндрических камер, расположенных перпендикулярно одна другой, в каждой из которых размещены три изолированных друг от друга параллельных проводника. По среднему проводнику, расположенному по центру цилиндрической камеры, пропускают ток, в результате чего проводник нагревается, нагревает расположенный вокруг него газ, который расширяется и поднимается вверх. Два других проводника, расположенные немного выше и симметрично первому проводнику, служат датчиками изменения температуры газа. Сигналы с датчиков измерения температуры подаются на мостовую схему, схему усиления, схему фильтрации, схему компенсации нулевого положения, схему компенсации колебаний. В результате этих вычислений получается сигнал изменения наклона акселерометра по направлению, перпендикулярному направлению центрального проводника, который и определяет ускорение. Составляющая наклона, определяющего ускорение, параллельного направлению центрального проводника, измеряется аналогично на такой же камере, расположенной перпендикулярно первой камере. Две взаимно перпендикулярные составляющие ускорения по осям Х и Y однозначно определяют результирующее ускорение в горизонтальной плоскости.

Недостатком известного акселерометра является недостаточная механическая прочность конструкции из-за наличия металлических проводников, размещенных в цилиндрических камерах. Возможны их вибрации и провисания при ударных нагрузках, что может уменьшить точность измерений. Недостатком способа измерения является инерционность передачи тепла от газа к металлическим проводникам, что уменьшает скорость реакции акселерометра на быстрые изменения ускорения.

Задачей изобретения является расширение диапазона измерения ускорений и улучшение быстродействия за счет устройства, не содержащего подвижных механических деталей, за счет улучшения характеристик при использовании для измерения ускорения теплового потока, имеющего малую инерционность.

Решение поставленной задачи достигается тем, что устройство измерения ускорения на оптическом разряде с двумя тепловизорами состоит из сферической камеры, прозрачной для лазерного излучения применяемых лазеров, заполненной газовой смесью; одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых фокусируют в центре сферической камеры; с двух противоположных сторон сферической камеры вне зоны попадания лазерного излучения одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, установлены объективы тепловизоров, каждый из которых через отверстие в корпусе сферической камеры охватывает внутреннюю часть поверхности сферической камеры таким образом, что в объективы двух тепловизоров суммарно видна вся внутренняя поверхность сферической камеры, при этом внутренняя поверхность сферической камеры непрозрачна для рабочей длины волны работы тепловизора, а длина волны излучения применяемых лазеров не входит в диапазон рабочих длин волн работы тепловизоров.

Поставленная задача также решается тем, что в способе измерения ускорения на оптическом разряде с двумя тепловизорами, при котором первоначальный поджиг оптического разряда осуществляют внешним импульсным лазером, либо кратковременным увеличением мощности одного или нескольких из используемых для оптического разряда лазеров, для измерения ускорения используют тепловой поток от оптического разряда; с двух противоположных сторон сферической камеры вне зоны попадания лазерного излучения одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, размещают объективы тепловизоров, каждый из которых через отверстие в корпусе сферической камеры охватывает внутреннюю часть поверхности сферической камеры таким образом, что в объективы двух тепловизоров суммарно попадает вся внутренняя поверхность сферической камеры; при этом внутреннюю поверхность сферической камеры выбирают непрозрачной для рабочей длины волны тепловизоров, а по температуре пятна теплового потока от оптического разряда на внутренней поверхности сферической камеры определяют модуль вектора результирующего ускорения и его направление.

Сущность заявляемого изобретения поясняется примерами его реализации и графическими материалами.

На Фиг. 1 представлено схематичное изображение устройства для реализации заявляемого изобретения.

На Фиг. 2 изображены последовательные по времени теневые фотографии теплового потока нагретого от оптического разряда газа.

На Фиг. 3 изображено численное моделирование теплового потока нагретого от оптического разряда газа, образующегося в заявляемом изобретении.

Устройство измерения ускорения на оптическом разряде с двумя тепловизорами, изображенное на Фиг. 1, состоит из прозрачной для лазерного излучения применяемых лазеров и видимого излучения герметичной сферической камеры 1, заполненной газовой смесью. В качестве примера газовой смеси можно привести заполнение камеры ксеноном при давлении 15-25 атмосфер, что часто применяется для получения оптического разряда. Излучение одного или нескольких лазеров 2 (на Фиг. 1 для примера показан один лазер), используемых для поджига и поддержания оптического разряда 3, фокусируются в центре сферической камеры 1 для обеспечения минимальных оптических искажений, которые могут быть вызваны прохождением лазерного излучения через прозрачные стенки сферической камеры 1. Условная форма лазерного излучения ограничена на Фиг. 1 пунктирными линиями 4. Лазерное излучение от лазера 2 сфокусировано в центре сферической камеры 1 линзой, условно показанной на выходе лазера 2 на Фиг. 1, либо сферическими, параболическими или другими, известными из уровня техники, зеркалами и оптическими элементами. С двух противоположных сторон сферической камеры 1 вне зоны попадания лазерного излучения одного или нескольких лазеров 2, расположенных снаружи сферической камеры 1, установлены объективы двух тепловизоров 5 и 6, каждый из которых через отверстие в корпусе сферической камеры 1 охватывает внутреннюю часть поверхности сферической камеры 1 таким образом, что в объективы двух тепловизоров 5 и 6 суммарно видна вся внутренняя поверхность сферической камеры 1; при этом внутренняя поверхность сферической камеры 1 непрозрачна для рабочей длины волны работы тепловизоров 5 и 6. Длина волны излучения применяемых лазеров 2 не должна входить в диапазон рабочих длин волн работы тепловизоров 5 и 6, чтобы не было засветки датчиков тепловизоров лазерным излучением. Эти требования несложно выполнить. Обычно используемые для поджига и поддержания оптического разряда лазеры работают при длине волны излучения около 1 мкм. Известные из уровня техники диапазоны работы тепловизоров составляют 3-5 мкм и 8-12 мкм. Изготовление корпуса сферической камеры для технической реализации изобретения возможно из известных из уровня техники кварцевых оптических стекол, прозрачных в диапазоне от видимого излучения до 2 мкм. Таким образом, указанное выше требование выполняется.

Изобретение работает следующим образом. Лазерное излучение от одного или нескольких лазеров 2 фокусируется через прозрачные стенки сферической камеры 1 в области ее центра, где предполагается зажечь оптический разряд 3, который используется как концентрированный источник тепла. Первоначальный поджиг оптического разряда 3 осуществляют известными из уровня техники способами, либо внешним импульсным лазером (на Фиг. 1 не показан), либо кратковременным повышением мощности одного или нескольких используемых лазеров 2, что вызывает зажигание оптического разряда 3 в области фокусировки лазерного излучения. При этом оптический разряд 3 начинает интенсивно поглощать лазерное излучение. Далее оптический разряд 3 поддерживают стационарно за счет поглощения поступающего лазерного излучения от одного или нескольких лазеров 2. Интенсивное выделение тепла оптическим разрядом 3 нагревает окружающую газовую смесь, образующую разогретый объем газа, увеличивающийся в размерах, и ограниченный фронтом температуры нагретого от оптического разряда 3 газа 7. Облако горячего газа 7, ограниченное фронтом температуры, поднимается вверх по закону Архимеда, но при этом возникают периодические колебания, причина которых связана с высокой интенсивностью выделения тепла оптическим разрядом 3 и известна из исследований оптического разряда, (Патент RU2534223 от 27.11.2014), (Патент US 20130342105A1 Pub. Date: Dec. 26, 2013 LASER SUSTAINED PLASMA LIGHT SOURCE WITH ELECTRICALLY INDUCED GAS FLOW). Частота этих колебаний в стандартных известных из уровня техники для оптического разряда условиях составляет десятки герц и определяется тепловыми процессами, происходящими на разделе между горячим газом 7 вокруг оптического разряда 3 и относительно холодным газом в остальном объеме сферической камеры 1. Как следует из законов физики, при неподвижном положении акселерометра относительно Земли или при перемещении акселерометра с постоянной скоростью относительно Земли, тепловой поток нагретого газа 7 от оптического разряда 3, ограниченный фронтом температуры, поднимается в сторону, противоположную направлению ускорения свободного падения g. В случае ускоренного или замедленного перемещения акселерометра относительно Земли тепловой поток нагретого газа 7 от оптического разряда 3 поднимается в направлении, определяемом вектором, равным разности между вектором ускорения акселерометра и вектором ускорения свободного падения g. Тепловой поток нагретого от оптического разряда 3 газа 7 достигает стенки сферической камеры 1 и нагревает ее внутреннюю поверхность, при этом от поверхности исходит инфракрасное излучение, пропорциональное температуре верхней части теплового потока 7, которое попадает в объективы тепловизоров 5 и 6. На Фиг. 1 штрих-пунктирными линиями 8 условно показан угол обзора объектива тепловизора 5. При использовании известного из уровня техники широкоугольного объектива можно получить обзор внутренней поверхности сферической камеры 1 больше поверхности полусферы. Если второй аналогичный тепловизор 6 размещен симметрично на противоположной части поверхности сферической камеры 1, то вся внутренняя поверхность сферической камеры 1 суммарно попадает в объективы тепловизоров 5 и 6. Известными программами обработки изображений, получаемых с тепловизоров 5 и 6, можно определить геометрическое положение максимума температуры внутренней поверхности сферической камеры 1, соответствующее расположению центра пятна теплового потока нагретого от оптического разряда 3 газа 7. Направление вектора от центра сферической камеры 1, где расположен оптический разряд 3, к центру указанного выше пятна теплового потока однозначно определяет направление вектора результирующего ускорения.

Но одного только направления потока нагретого газа 7 от оптического разряда 3 недостаточно для определения ускорения. В самом деле, предположим, что акселерометр двигается ускоренно с ускорением а вертикально вверх, при этом вектор ускорения а и вектор ускорения свободного падения g параллельны. Очевидно, что направление теплового потока нагретого газа 7 от оптического разряда 3 также останется вертикальным, как это было при отсутствии ускорения а, но само результирующее ускорение изменится. Для устранения этого недостатка с помощью известной из уровня техники программы обработки изображений измеряют частоту периодических колебаний пятна теплового потока нагретого газа 7 от оптического разряда 3 на внутренней поверхности сферической камеры 1, полученных с тепловизоров 5 и 6. Абсолютная величина вектора ускорения в направлении теплового потока нагретого газа 7 от оптического разряда 3 может быть получена из формулы f = 0.5(g/2r)1/2, где f – частота колебаний факела теплового потока нагретого газа, поднимающегося от оптического разряда, g – ускорение свободного падения, r - минимальный радиус фронта нагретого газа вокруг оптического разряда. Приведенная формула опубликована, например, в (M A Kotov, S Yu Lavrentyev, N G Solovyov, A N Shemyakin, M Yu Yakimov. Dynamics of laser plasma convective plume in high pressure xenon. Journal of Physics: Conference Series 1675 (2020) 012073, IOP Publishing. DOI: 10.1088/1742-6596/1675/1/012073).

В результате простого математического преобразования получается формула

e = 8 f 2r

где e – абсолютная величина результирующего вектора ускорения, действующего на акселерометр, f – частота периодических колебаний теплового потока нагретого газа 7 от оптического разряда 3, r – минимальный радиус фронта нагретого газа вокруг оптического разряда 3. Величину r можно измерить экспериментально, либо вычислить при неподвижном акселерометре, зная величину ускорения свободного падения g в данной точке и измерив частоту периодических колебаний теплового потока нагретого газа 7 от оптического разряда 3, тем самым осуществив калибровку заявляемого измерителя ускорения.

Таким образом, направление теплового потока нагретого газа 7 от оптического разряда 3 и частота периодических колебаний теплового потока 7 при известном минимальном радиусе r фронта нагретого газа 7 вокруг оптического разряда 3 однозначно определяют направление и модуль вектора результирующего ускорения акселерометра в трех измерениях.

На Фиг. 2 в качестве пояснения возникновения периодических колебаний теплового потока приведены теневые фотографии последовательных кадров видеосъемки периодических колебаний теплового потока нагретого оптическим разрядом газа внутри сферической камеры, заполненной ксеноном при давлении 30 бар и мощности лазерного излучения 55 Вт. (Снимки сделаны авторами). Размер каждого кадра 3х4 мм. Показан один период колебаний на 8 кадрах, частота колебаний 43 Гц. Оптический разряд виден в виде яркого пятна белого цвета. Треугольные черные выступы на правой и левой стороне каждого кадра – электроды, которые при данной съемке использовались для первоначального поджига оптического разряда, после чего отключались. На последовательных снимках видно, что от Кадра 1 до Кадра 4 растет диаметр пузыря нагретого оптическим разрядом газа. При дальнейшем нагреве по закону Архимеда тепловой пузырь начинает всплывать вверх, как показано на Кадрах 5-8, при этом на его месте образуется новый расширяющийся пузырь нагретого газа, и процесс периодически повторяется снова с Кадра 1. По этим кадрам видно, что поверхность теплового пузыря совершают периодические колебания.

Геометрические искажения, вносимые формой сферической камеры, не позволяют рассмотреть движение теплового потока нагретого от оптического разряда газа вблизи внутренней поверхности сферической камеры. Для изучения теплового потока авторами проведено численное моделирование поведения теплового потока нагретого оптическим разрядом газа в сферической камере внутренним диаметром 16 мм. Результаты численного моделирования, показанные на Фиг. 3, с хорошей точностью совпадают с экспериментальными данными. Белый цвет на последовательных кадрах соответствует максимальной температуре газа, черный цвет – минимальной температуре. Окружность, ограничивающая черно-белое изображение, моделирует внутреннюю поверхность сферической камеры диаметром 16 мм. На последовательных кадрах с «Кадр 1 модель» по «Кадр 5 модель» показан один период распространения теплового потока нагретого от оптического разряда газа. На кадрах, полученных в результате численного моделирования, оптический разряд, используемый как источник тепла, расположен в центре сферической камеры, как и указано в заявляемом изобретении. Из приведенных изображений следует, что поток нагретого оптическим разрядом газа распространяется вертикально вверх, что обусловлено ускорением свободного падения g. Также из последовательных кадров можно сделать вывод, что форма пятна теплового потока на поверхности сферической камеры изменяется из-за периодических колебаний теплового потока поднимающегося от оптического разряда газа, что позволяет зарегистрировать эти периодические колебания с помощью тепловизоров на поверхности сферической камеры. Направление и частота периодических колебаний теплового потока однозначно определяют направление и абсолютную величину ускорения, измеряемых в заявляемом изобретении.

Характерная особенность заявляемого изобретения состоит в отсутствии подвижных механических деталей, для измерения ускорения использует тепловой поток нагретого от оптического разряда газа, обладающий малой инерционностью и массой. Использование двух тепловизоров, охватывающих своими объективами всю внутреннюю поверхность сферической камеры, позволяет однозначно определить направление и модуль ускорения. На основе изобретения возможно создание малогабаритных акселерометров с большим динамическим диапазоном измерений, устойчивых к ударным нагрузкам.

1. Устройство измерения ускорения на оптическом разряде с тепловизорами, состоящее из сферической камеры, прозрачной для лазерного излучения применяемых лазеров, заполненной газовой смесью; одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых сфокусировано в центре сферической камеры, отличающееся тем, что с двух противоположных сторон сферической камеры вне зоны попадания лазерного излучения одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, установлены объективы тепловизоров, каждый из которых через отверстие в корпусе сферической камеры охватывает внутреннюю часть поверхности сферической камеры таким образом, что в объективы двух тепловизоров суммарно видна вся внутренняя поверхность сферической камеры, при этом внутренняя поверхность сферической камеры непрозрачна для диапазона рабочих длин волн работы тепловизоров, а длина волны излучения применяемых лазеров не входит в диапазон рабочих длин волн работы тепловизоров.

2. Способ измерения ускорения на оптическом разряде с двумя тепловизорами устройством, состоящим из сферической камеры, прозрачной для лазерного излучения применяемых лазеров, заполненной газовой смесью; одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых фокусируют в центре сферической камеры, при котором первоначальный поджиг оптического разряда осуществляют либо внешним импульсным лазером, либо кратковременным увеличением мощности одного или нескольких из используемых для оптического разряда лазеров, отличающийся тем, что для измерения ускорения используют тепловой поток; с двух противоположных сторон сферической камеры вне зоны попадания лазерного излучения одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, размещают объективы тепловизоров, каждый из которых через отверстие в корпусе сферической камеры охватывает внутреннюю часть поверхности сферической камеры таким образом, что в объективы двух тепловизоров суммарно попадает вся внутренняя поверхность сферической камеры; при этом внутреннюю поверхность сферической камеры выбирают непрозрачной для рабочей длины волны тепловизоров, причем длина волны излучения применяемых лазеров не входит в диапазон рабочих длин волн работы тепловизоров, а по колебаниям и положению пятна теплового потока на внутренней поверхности сферической камеры определяют модуль вектора результирующего ускорения и его направление.



 

Похожие патенты:

Группа изобретений относится к измерительной технике и предназначено для измерения линейных широкополосных ускорений. Способ обработки сигнала при измерении широкополосных линейных ускорений заключается в применении узкополосной фильтрации сигнала с выхода линейного акселерометра.

Группа изобретений относится к области приборостроения. Устройство измерения ускорения на оптическом разряде с электродным поджигом состоит из сферической камеры, прозрачной для лазерного излучения, заполненной газовой смесью; одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых сфокусировано в центре сферической камеры, двух металлических электродов, расположенных вблизи центра сферической камеры.

Группа изобретений относится к области приборостроения. Устройство измерения ускорения на оптическом разряде электродным и теневым методом состоит из сферической камеры, прозрачной для лазерного и видимого излучения, заполненной газовой смесью; одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых сфокусировано в центре сферической камеры, двух металлических электродов, расположенных вблизи центра сферической камеры.

Группа изобретений относится к области приборостроения. Устройство измерения ускорения на оптическом разряде с фотолюминофором состоит из сферической камеры, прозрачной для лазерного и видимого излучения, заполненной газовой смесью, одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых фокусируют в центре сферической камеры, двух металлических электродов, расположенных вблизи центра сферической камеры.

Группа изобретений относится к области приборостроения. Устройство измерения ускорения на оптическом разряде с лазерным поджигом состоит из сферической камеры, прозрачной для лазерного излучения, заполненной газовой смесью; одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых сфокусировано в центре сферической камеры, при этом вся внутренняя поверхность сферической камеры, свободная от лазерного излучения одного или нескольких лазеров, имеет датчики теплового потока, при этом количество датчиков теплового потока, попадающих целиком в тепловое пятно теплового потока нагретого от оптического разряда газа на внутренней поверхности сферической камеры, должно быть больше или равно трём по любому из двух взаимно перпендикулярных направлений.

Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники. Интегральный микромеханический гироскоп дополнительно содержит восемь дополнительных торсионных элементов, выполненных из полупроводникового материала и расположенных с зазором относительно подложки по краям инерционной массы, четыре дополнительных неподвижных электрода электростатического привода, выполненные из полупроводникового материала, расположенные непосредственно на подложке и изолированные друг от друга вытравленным каналом, дополнительные металлические контактные площадки, расположенные на опорах и неподвижных электродах, четыре дополнительных подвижных электрода электростатического привода, выполненные из полупроводникового материала, и расположенные с зазором относительно подложки, и образующие с четырьмя дополнительными неподвижными электродами емкостных преобразователей перемещений плоские конденсаторы, а также дополнительный слой полупроводникового материала, выполненный из оксида кремния.

Изобретение относится к измерительной технике. Магнит магнитной системы датчика момента акселерометра компенсационного имеет два секторных цилиндрических магнита прямоугольного сечения, размещенных симметрично относительно оси подвеса и намагниченных по радиусу таким образом, что для первого магнита кольцевая катушка проходит над северным полюсом, а для второго магнита проходит над южным полюсом, магнитопровод также состоит из двух частей, имеющих П-образную конфигурацию, при этом в первом магнитопроводе установлен первый магнит, во втором магнитопроводе установлен второй магнит таким образом, чтобы магнитная индукция в зазоре, где размещена кольцевая катушка, была равномерной, а угловые размеры секторных магнитов и соответственно магнитопроводов равны , где угол между плоскостью, проходящей через ось подвеса упругих перемычек, и плоскостью, которая определяет угловой размер секторных магнитов.

Изобретение относится к измерительной технике. Микромеханический датчик удара представляет собой нормально разомкнутый ключ, имеющий два электрода, замыкающиеся при воздействии перегрузки, подвижный электрод, подвешенный на упругих элементах, представляющих собой изогнутую балку прямоугольного сечения, закрепленных с одной стороны в неподвижную часть основания, а с другой стороны - в инерционную массу, при этом на инерционной массе и на крышке, формирующих электроды, нанесено металлическое покрытие, места закрепления упругих элементов к инерционная массе расширены втрое по площади, инерционная масса имеет смещенный центр тяжести, что позволяет фиксировать перегрузки при боковых ударах вдоль оси X и/или Y и ударах под углом к оси чувствительности Z, герметичность внутреннего рабочего объема датчика достигается сращиванием крышки с основанием по месту крепления крышки.

Изобретение относится к области автоматики и предлагается к использованию измерения и управления в системах, подверженных радиационным воздействиям и работающих во взрывоопасных условиях, а также в авиационных приборах. Способ преобразования струйного частотного сигнала давления содержит этапы, на которых входной частотный сигнал давления подают в сопла управления струйного усилителя с соплом питания, осевым приемным каналом и двумя боковыми приемными каналами, по мере увеличения частоты входного сигнала накапливают в осевом приемном канале величину потока струи сопла питания струйного усилителя, передают накапливаемый поток питания в пневматическую емкость, используют ограниченный диапазон давления накопленной части потока питания на выход.

Изобретение относится к области измерительной техники. Сущность изобретения заключается в том, что датчик вибрации содержит корпус, а также стойку, жестко закрепленную в корпусе, в отсеке которого расположен аккумулятор, закрепленный на стойке, средство зарядки аккумулятора выполнено в виде проводной связи между внешним блоком электрического питания, аккумулятором и платой коммуникационного процессора через комплексный электрический разъем на поверхности корпуса, при этом пьезоэлектрический керамический чувствительный элемент выполнен в форме куба из объединенных в единое целое однонаправленно поляризованных и ортогонально ориентированных трех пар пьезоэлектрических сегментов.

Группа изобретений относится к области приборостроения. Устройство измерения ускорения на оптическом разряде с термоиндикаторной краской состоит из сферической камеры, прозрачной для лазерного и видимого излучения, заполненной газовой смесью; одного или нескольких лазеров, расположенных снаружи сферической камеры, излучение которых сфокусировано в центре сферической камеры, двух металлических электродов, расположенных вблизи центра сферической камеры, вся внутренняя поверхность сферической камеры, свободная от лазерного излучения одного или нескольких лазеров и расположения металлических электродов, покрыта термоиндикаторной краской, а внешняя поверхность сферической камеры имеет разметку по горизонтали и вертикали. Технический результат – расширение диапазона измерения ускорений и улучшение быстродействия измерения ускорений. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.
Наверх