Устройство для измерения температуры

Авторы патента:

А. Басовский, И. К. Бронштейн, В. Ю. Жвирбл нский, А. Я. Збарский, Д. Д. Матвеев, Б. И. Синчук, И. Л. Шендерович,

С. Шульга, Ю. В. Юшков, И. Н. Воронов, И. Макеев

, Ю. И. Уль нов

Государственный научно исследовательский , проектный институт редкометаллической промышленности

G01J5/06 - устройства для устранения влияния радиационных помех

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

289302

Союз Соеетскиа

Социалистические

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 18.IV.1969 (№ 1324870118-10) с присоединением заявки №

Приоритет

МПК б 011 5/06

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министрое

СССР

УДК 536.521.2 (088.8) Опубликовано 08.Х11.1970. Бюллетень . А 1 за 1971

Дата опубликования описания 26.П.1971

Авторы изобретения

А. А. Басовский, И. К. Бронштейн, В. Ю. Жвирблянский, А. Я. Збарский, Д. Д. Матвеев, Ь. И. Синчук, И. Л. Шендерович, В. С. Шульга, Ю. В. Юшков, И. Н. Воронов, Х. И. Макеев и Ю. И. Ульянов

Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ

ВЕРТИКАЛЬНОГО ПЬЕДЕСТАЛА В УСТАНОВКАХ

ЭПИТАКСИАЛЪНОГО НАРАЩИВАНИЯ

Изобретение относится к области металлургии проводников и касается установок эпитаксиального наращивания полупроводниковых пленок, в частности устройства для измерения температуры вертикального пьедестала.

Известные аналогичные устройства содержат нагреватель, герметичную камеру с пьедесталом для подложек, установленным на шток, и радиационный пирометр.

Недостатком известных устройств является неточность определения температуры боковои рабочей поверхности пьедестала по температуре торца из-за несоответствия этой температуры рабочей температуре и ввиду осаждения на визируемой поверхности паро-газовой смеси.

Целью изобретения является повышение точности измерения температуры боковой поверхности пьедестала. ,Цля этого в штоке выполнен сквозной канал, продолжением которого служит глухое отверстие в торце пьедестала глубиной более /s размера поперечного сечения пьедестала.

Изобретение иллюстрируется чертежом.

В герметичной камере 1, снабженной нагревателем 2, расположен пьедестал 8 с подложками 4 на штоке б со сквозным каналом.

Под штоком установлен радиационный пирометр о. В торце пьедестала выполнено глухое отверстие глубиной /3 размера поперечного сечения пьедестала.

Сквозной канал в штоке и глухое отверстие в торце пьедестала представляют собой изолированную от паро-газовой смеси полость, на дно которой визируется пирометр. Таким образом, визируемая поверхность не покрывается налетом. Углубление отверстия в торце более чем на /3 размера поперечного сечения максимально приближает температуру впзируемой поверхности к рабочей температуре боковой поверхности.

Благодаря такому выполнению данное устройство обеспечивает более высокую точность измерения рабочей температуры пьедестала.

Предмет изобретения

Устройство для измерения температуры вертикального пьедестала в установках эпитаксиального наращивания, содержащее нагреватель, герметичную камеру с пьедесталом для подложек, установленным на шток, и радиационный ппрометр, от.шчшасцпшс.> тем, 2 что, с целью повышения точности измерения, в штоке выполнен сквозной канал, продолжением которого служит глухое отверстие в торце пьедестала глубиной более /а размера поперечного сечения пьедестала, 289302

Составитель Т. Б. Краснова

Редактор A. В. Корнеев

Корректор Л. А. Царькова

Изд. М 145 Заказ 287, 5 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Р. и. богданов, т. а. великославинская, л. м. виноградова, с. ф. калачинский, б. ф. тюрин, м. б. фридзон, // 251868

Устройство для компенсации радиационного фона // 208993

Патент 178527 // 178527

Прибор для измерения и автоматической записи радиационного баланса // 127452

Прибор для измерения температуры газов // 78625

Способ измерения температуры // 2456557

Изобретение относится к технической физике в части создания способов бесконтактного измерения температуры объекта по его тепловому излучению

Способ бесконтактного измерения температуры объекта // 2087880

Изобретение относится к технической физике в части создания способов бесконтактного измерения температуры объекта по его полному тепловому излучению и может быть использовано при тепловых испытаниях материалов, в металлургических печах, при термообработке металлических полос и труб, для температурного контроля при изготовлении микросхем и др

Устройство для измерения локальной величины плотности потока теплового излучения // 2034244

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для измерения плотности лучистого (радиационного) теплового потока

Способ контроля объектов по тепловому излучению и устройство для его осуществления // 2044287

Изобретение относится к средствам бесконтактного измерения температуры и может найти применение в машиностроительной промышленности, на транспорте и других отраслях для тепловидения при изменяющихся условиях окружающей среды, а также в качестве переносных пирометров

Низкотемпературный перестраиваемый источник излучения черного тела // 2469280

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к фоточувствительным приборам, предназначенным для обнаружения теплового излучения, и охлаждаемым приемникам ИК-излучения

Радиометр // 406129

Способ определения относительного коэффициента лучеиспускания твердых тел // 467241

Способ измерения температуры оптических деталей // 524085

Устройство для измерения температуры рабочих лопаток турбины газотурбинного двигателя пирометром // 568851

Устройство для измерения температуры рабочих лопаток турбины газотурбинного двигателя пирометром // 684338