Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытийв^:.->&:.о,озная' '. т""^** ' ' ' ^ -.•1- »»'ч11гг" ipaf?-. i:.u.;.ir-i !....;:-л; нднбчвл^ю'-'ека

 

292057 посгOH!Illo(o тока. Блоки 8, 15 — !8 и 12 образуют капал автоматического регулирования

ВКВПВ>3ЛС! IT! IÎI Ди;1?<(СТРЯ Д;(т (Hi<3.

Усилитель 10 сигнала сосдинс со входами фязочу!зст!знтсльпьtx детекторов 19, 20, Bt txoды к >(ophtх подключены к сул(л(атору 21, соединенному с индикатором 22 толщины диэлектрических нокрыг!(й. Выходы сумматора 21 и

)Э СПГПГГС. !я !8 IIOCl oÿ Н НО(О ". OKcl СОСДИП(. I!hi С каскс(дОм 28 KÎppc(ц;lи, к Bhlxo (?< Ki>TOpo(0 подключен п((дпкятор 24 удсль(н>го col!1эогп(3;(liliH ОСПО!ЗЬ!.

0IIlIchlhiIc УстРойство P3(!0 (3PT с,!СЛУI0щпм Образом.

I1<п(р5!?ксппс 113 пр?!сxl!lhlx !!л)шк<(х 9, 11

ДЯТ II! K<1 8 Ilpf1 ОТ "ТCTI3flil ОКОЛО ПСГО п()0(ЗОД51Щ(! О Лl I сl, (,1<1 !

t(III .)<,;!. В по !txt<>(tl l!ij!SiiK

10 I!0. (Iсl СЯ 11(I BКО lы фc!:3< .ч, 1)" 1 " (x I(hi." <<с—

ГСК!(>J)013 1 ), 20, «Дп и I!;3 KOTOj) BIX li ci("Тpo(II В (j)с1З((. ТОКОМ БО:ЗОЛ Ждс! (ОП((1! KсlТЛ IIKI I 2,дсlТЧПК а >, cl L J) ) I O I((3 К Б сl Д () < з О ?! )! Б (. 1 и 1 <. (ь (I hi(., l (1 (. (" 1 ) р !)(l 9, 0 1 3 .

j! el!I!3с(I I(! Т(;(Ям И Э, 7. В J):>)Л I BTcl

T(. П<1(ГL)01?i(i l (. Л ?),! (3T(>j> .: 1: Л Л! Л! Пр) (I, I I)3 Icl(I j) 5l iK(Il l! 5:, 0J I!0 ПЗ KOTO P I>I X I l j>OIIOP II? loll c! (Ь! !О ,<(С!(Ст!ЗП.ГС,!Ь!Юй, <1 Д!>ЛТОС AIIIJ(ltoi. (ОСТ<НЗЛЯtOItlC1f В! ЮС ПМО(O иII К. ВЫ> одное JIKCII JIB C ) )I:?!3ТО)рс(2 ПОД<1()1 и и<1 llll 1 f(KBTOJ! 1 О, li! !1 ill hl !!<>кРыти5!. Это I!0 3130, (Яс ПОВы !11!> тo?I II(> "(ь i?:ЗлlсРс(llff! ТО, инины THB, !etc! j!H?(POKIIx LIOKJ>h!. ?! Il f1 j! Il

IltilP0KJ1X ПРСДС, tel X !1ЗЛ((П I IH)i ;(Е, (hi(0(0 Col I?!0Тl!и;1 IIHS! ОСIIOБЫ i<(>IITPО,(ИРЛ(. Л!О! О П:ЗД(.,1ИSI.

В(IOС(IМОС !!ЯI(pЯЖС! IIIС с прl(СЛ(110!i кilТЛ !I(КII

11 датчика 8 по;(?3(>те)! (ш регу. (ируемое сопротивление 12, входное сопротивление которого

BC, (И КО ПО P3(3!ICI(?IIO С IЗЫХОДПЫМ Collj>OT?t!3,1ЕПИСМ КО I IICIIC<(ТОР IICJ>ex!Pl»(i (x liяпряжспий.

Входное сопротивление регулируемого cnii )отпв.?IC(IHH !2 Ollp(. 1C:ISICTC51 BC.?1H (HIIOI! Coil ро-! Ив;! СliHSI (РСЗПСТО<Р<1 !с)(, KOTOPOP. 3l tel?((Г! (Л Ы!О больше прямого сопротивления диода !8.

Н я п р 5(гк е I I H p (р е Г у)1и р ъе ?л(0 ГО со и р О! и Б, (с и и я

12 c (Ix(?(p>) cTcя c Blloi. Hxl hlxl пяг(ряжсписм lipli<. A I (J o H и сl т л< и! к и 9 д с! азочувствительного детектора 17 усп, швястся усилителем 18 постоянного тока и подается на

5 рсГу, (Hj)<<ел(ое СОпротиВл(. .Пие 12. НапрЯжепиЯ с усил(ггеля 18 и сумматора 21 подаются Н3

K3(. Ксlд 28 К01Эр(>Кцн?1, С БЫ. (>д<3 КОТО >О(0 II3

Il PS! iK(. 1! ИЕ 1lo T? П сl(>T Ilс! Ill l l JIKHT(>j! Л ЛДС, П> I loГ(> (0(IPOÒÈ(3, ICI(! I>l ОСПОВI.I.

«рсдм ет и 30бр(тспи я

\ CrPOiiCTB0 Д, !Я i!SX!Cj>ei!l ТО,ПЦИП1>1 ДИВ, !ЕK(j)!! Pc(покрытий и удельного сопротнв,|еь> шгя основы, содержа?псе гепср пор псрсмспПОГО TOKcl (HTclloliill(! ЧСРЕЗ KO) IIIC(IC3TOJ! Напря?кения холостО(О хода BHxpcTOK(>1,hill татЧИК, Co(TOS!Ilj(Ili 1?3 Бозб), Ждс!!О!цсй И ПрИСЛ(I(Oil Кс!Т П(СК If! (Д I(T(I l3 I IOCTH !Р<1:3, 1 ПЧ П Ь!Х ДИ Я.>(! Л(С ЦЭО(3, СИГ!ИТС,(h (ЗНОСНМОГО Псп()5!?КЕНИЯ, вк, п0 (сilllhlil ня ?(рпс ?И(л (о катуп(кл, B!ыход

КО 1 OP(>I O С!ЗЯЗ?;О

ПЫ Л(il< <1 (К)Pcl Ч(.Р .3 ф<(:ЗОВ(Э<1 )5 II!i!ò(и! и l)K, поч(пп!>I. )! I Коими Б:)!. Од<".л(п

I!(Р I I X ill? l! РЯЖ(>НИ If, (. (>CS(!3 ПСII!!L>l ll С

:t! Q IIKt1! O!)(ЭЛ? ((>, П!? П П i .OKPhi! 11!? ? Т!?Ic(Ю Il:>Бl>? I.. ih l? и 1,, Чl, (; ".

И:)ЛIС > (IИЯ, (>!I > (. (I<1<>ii. )! c!?. .!1> \1«(! 3тпчсск 1)(, л, Ill j)(>I)3llllH эквиlз<(,!< Пт(10! (>;illcDlC1 РЯ,1:-IТ П, К<1, (>.((",>K IIO. I I I 111 (. Ь(? !(> П > П(Ли(Л !0 ! Л Пн((1! ?! (Р K, >T(>)>0

00, ll>III >,п<1Л!(: рс(130:ЗбЛ >кд((!О?Ц(.. П, IIO ЛIСI(hП! i i! i 11 III) (iol3(IIC(tСЯ !OI)0>)! I(cl!lPS(iI CIIHSI . 10 ÒOÃO XU, (cl, il l3! 0! t c!тичс; Kll регулируемым c;>Iij)OTlil3,1еппсл! и слул(Л(-ÎI j!313!?ЧИТС, Ih (()>(ЗЬ(Л( .П .(ЕТСК (>РО. )1, II3XO;1Я (Ll!!)! "Si ПОД (>IIOPltl il<(;1Р)ЯЖ(I II! СМ ГС! (СPÇTÎPH ЧС,ЭЕ:3 ф<1:ЗОВРсllЦЯ(С, П (СБ5(З<(ИНЫМ CO ВХОДОМ ?, C?3,1ИТС, !Я ПОСТОЯ ППОГО ОКс(, В)Ы. ОД KOTOPOI 0 Псl ГРЛ ЖЕН llclP3, (Л(., IЬП(> ПЯ автоматически регулируемое c<>(!poTHi?леш!е и

I5 один пз входов каскада коррекции, другой вход

I4OT0POГ0 С(ЗЯЗЯ! I С 13()IXOJloXI СЛ МX(3TOJ>с! 1(3IIPSI жv»iiii фазочувствитсльпых дстсктороь, а (3!!ход этОГО каскада Включен 1!3 1!Идп! 110р удельного сопротивления основы.

292Î57

Составитель Л. Тришина

Редактор Т. 3. Орловская Текред А. А. Камышникова 1,орректор О. Б. Тюрина

Заказ 3486/8 — 71 Изд ¹ 183 Тираж 473 Подписное

Ц1!11!!П11 Комитета .по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская нао., д. 4!5

Центральная типография МО

Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытийв^:.->&:.о,озная . т^** ^ -.•1- »»ч11гг ipaf?-. i:.u.;.ir-i !....;:-л; нднбчвл^ю-ека Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытийв^:.->&:.о,озная . т^** ^ -.•1- »»ч11гг ipaf?-. i:.u.;.ir-i !....;:-л; нднбчвл^ю-ека Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытийв^:.->&:.о,озная . т^** ^ -.•1- »»ч11гг ipaf?-. i:.u.;.ir-i !....;:-л; нднбчвл^ю-ека 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий
Наверх