Способ получения рутениевых покрытий

Авторы патента:

C23C16/16 - из карбонилов металлов

О П И С А Н И Е 298703

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советокиз

Сопиелиотичеокив

Реопублик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 16.Ч1,1969 (№ 1338845/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.lll.1971. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 12Л .1971.

МПК С 23с 11/02

Комитет по деле!в изобретениЯ и открытиЯ при Совете Миииотров

СССР

УДК 621.793.16:669.236 (088.8) Авторы изобретения

Г, Г, Петухов, С. M. Сысоев, В. И. Ермолаев, Н, А. Стрижова и Г. Е. Цыганаш!!

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РУТЕНИЕВЫХ ПОКГЬ1ТИЙ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области получения металлических покрытий термическим разло>кением соединений металлов в вакууме, в частности к области получения рутениевых покрытий.

Известен способ получения рутениевых покрытий термическим разложением карбонилгалоидных соединений рутения.

Предложенный способ отличается от известного тем, что в качестве карбонилгалоидного соединения используют циклопентадиенилдикарбонилйодид рутения. Это позволяет повысить скорость осаждения покрытий.

По предложенному способу процесс осуществляют в вакуме 0,5 10 т вЂ” 10 вЂ” мм рт. ст. в парах циклопентадиенилдикарбонилйодида рутения при температуре покрываемой детали

450 вЂ 5 С.

После нанесения покрытия деталь выводят из зоны паров и выдерживают при температуре 500 С в течение 10 вЂ” 15 мин для улучшения сцепления покрытия с основой.

Скорость осаждения покрытия составляет

0,6 вЂ” 0,8 мк/мин, что в 3 вЂ” 4 раза превышает скорость осаждения рутениевых покрытий по известному способу. При этом продукты рас5 пада не реагируют с подложкой, чем обеспечивается постоянство формы и веса подложки.

Описываемым способом можно наносить высококачественные рутениевые покрытия толщиной 0,2 вЂ” 0,5 мк на различные металлы, стекло

10 и керамику.

Способ получения рутениевых покрытий тер15 мическим разложением карбонилгалоидного соединения рутения, отличаюьцийся тем, что, с целью повышения скорости осаждения, в качестве карбонилгалоидного соединения используют циклопентадиенилдикарбонилйодид руте20 ния и процесс осуществляют при температуре подложки 450 вЂ” 500 С и вакууме 0,5 10-твЂ”

10 вЂ” 1мм рт. ст.

Применение карбонильного способа получения никеля для снятия покрытия с забракованных никелированных деталей // 129449

Способ термического наращивания из газовой фары на поверхность металлических изделий твердых сплавов // 49238

Способ нанесения хромового покрытия // 2109844

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для защиты поверхности трущихся деталей механизмов

Способ нанесения металлических покрытий на порошки абразивных материалов // 2169638

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий на частицы порошков абразивных материалов, например алмаза, нитрида бора, для изготовления из них различных инструментов

Химическая газофазная металлизация тканей и нетканых материалов // 2171858

Изобретение относится к технологии получения металлизированных тканых и нетканых материалов и может быть использовано для изготовления защитной одежды от магнитного излучения и статического электричества, для изготовления декоративных и отделочных материалов

Устройство для парового осаждения // 2188252

Изобретение относится к химическому паровому осаждению, в частности к устройству для осаждения газообразных карбонилов металлов на подложку, и может найти применение в различных отраслях машиностроения и металлургии

Устройство для нанесения защитных покрытий на изделия сложной конфигурации // 2192503

Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к формированию защитных покрытий из газовой фазы на изделиях сложной конфигурации при термическом разложении паров тетракарбонила никеля на защищаемой поверхности, и может найти применение для металлизации как металлических, так и неметаллических деталей с повышенной хрупкостью

Устройство для нанесения защитных покрытий на малогабаритные изделия // 2192504

Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к формированию защитных покрытий, и может найти применение для металлизации деталей, полученных как с помощью металлообработки, так и порошковой металлургией

Способ модификации древесины // 2339505

Изобретение относится к деревообрабатывающей промышленности, в частности к производству деталей трения из модифицированной древесины

Способ производства металлических порошков // 2356698

Изобретение относится к способу производства сверхмелких сферических металлических порошков методом химического осаждения из газовой фазы и разложения и может найти применение в производстве миниатюризированных деталей и сборочных узлов

Металлопокрытие с повышенной адгезией к материалу подложки и способ его изготовления // 2358034

Изобретение относится к способу получения металлопокрытия, адгезия к материалу подложки которого составляет более 10 МПа и до 18,6 МПа и характеризующегося содержанием в составе покрытия металлов, углерода и кислорода, и может найти применение в машиностроении, автомобилестроении, авиастроении, порошковой металлургии, других отраслях промышленности

Способ нанесения молибденового покрытия на металлические порошки // 2425909

Изобретение относится к области получения металлопокрытий, в частности, молибденовых, на металлических порошках путем термического разложения гексакарбонила молибдена в среде сероводорода и может быть использовано для изготовления антифрикционных дисперсно-упрочненных композиционных материалов на основе полимерных матриц