Устройство для измерения линейных перемещений по муаровым полосам

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 19.Х11.1969 (№ 1387076/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28,IV,1971. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания !5Л !.1971

МПК G 01Ь 11/02

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088.8) !

В. В. Куинджи, С. А. Стрежнев и Ю. Я. Нестеров г", >

; т

Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИИ

ПО МУАРОВЫМ ПОЛОСАМ

Предмет изобретения

Изобретение относится к оптико-механической промышленности, а именно к делительным машинам для нарезания дифракционных решеток с фотоэлектрическим контролем процесса деления. Оно может быть также использовано в метрологии и автоматике.

Известно устройство для измерения линейных перемегцений по муаровым полосам, содержащее источник света, подвижную дпфракционную отражательную решетку, установленну|о на пути светового пучка, и отсчетный узел, например коллиматор. Однако известное устройство позволяет получать муаровые полосы, подбирая параметры прозрачной полосы и отражательной решеток с ценой полосы до 0,4 мк,и. При дальнейшем уменьшении цены полосы контраст полос и их яркость резко уменьшается, что приводит к снижению чувствительности известного устройства.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что, с целью повышения чувствительности измерения, оно снабжено двумя неподвижными дифракционными отражательными решетками, установленными перед под:вижной отражательной решеткой на пути светового пучка и по разные стороны от него.

На чертеже изображена приципиальная схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит источник света /, поворотную призму 2, коллиматор, имеющий объектив 8» выходное отверстие 4, подвижную отражательную решетку 5, связанную с движущимся объектом, и две неподвижные отражательные решетки 6 и 7.

Предлагаемое устройство работает следующим образом. Свет от источника света направляется поворотной призмой 2 на объектив коллиматора. Параллельный пучок света, падающий на решетку 5, делится ею на два ярких пучка, попадающих соответственно на решетки б и 7. Отраженные этими решетками пучки света вновь диафрагмпруют на решетке

5, образуя пнтерферепционные муаровые полосы. Выходящий пз системы решеток световой пучок фокусируется на выходном отверстии 4, через которое производится наблюдение, регистрация плп счет полос. Г1ри перемс20 щении решетки 5 относительно решеток 6 и 7 в поле зрения прибора происходит соответствующее движение муаровых полос, являющееся мерой ее перемещения.

Устройство для измерения линейных перемещений по муаровым полосам, содержащее источник света, подвижную дифракционную

30 отражательную решетку, установленную на

302592

Составитель Л. Лобзова

Редактор О. Юркова

l(o(>pcKòoðû: А. Николаева н Л, Корогод

Техред Л. Л. Евдонов

Заказ 1542!12 Изд. № 654 Тираж 473 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 475

Типография, пр. Сапунова, 2 пути светового пучка, и отсчетный узел, например коллиматор, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности измерения, оно снабжено двумя неподвижными дифракционными отражательными решетками, установленными перед подвижной отражательной решеткой на пути светового пучка и по разные стороны от него.