Способ получения металлических покрытий

 

О П И С А Н И Е ЗО8104

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

МПК С 23с 13/02

Заявлено 13.11.1969 (№ 1307530/22-1} с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 01.VII.1971. Бюллетень ¹ 21

Дата опубликования описания 26Х111.1971

Комитет по делзм изобретений и открытии при Сосете Мимистрог

СССР

УДК 621.793.16 (088.8) Автор изобретения

Ю. В. Желтов

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к области получения металлических покрытий в газовой фазе.

Известен способ получения металлических покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений при контактировании их с нагретой подложкой. Однако условия проведения известного способа не позволяют получить покрытие, диффузионно сцепленное с основой.

Предложенный способ отличается от известного тем, что начальную стадию процесса проводят при температуре подложки выше

850 С и давлении паров металлоорганического соединения не более 10 - мл рт. ст., что обеспечивает диффузионное сцепление покрытия с основой.

Покрываемое изделие нагревают в вакууме до температуры, обеспечивающей диффузию металла покрытия в изделие. После этого в рабочее пространство подают пары металлоорганнческого соединения с низкой концентрацией, не превышающей 10 2 мм рт. ст.

После определенной выдержки в указанных условиях температуру подложки снижают до обычно применяемой в данном процессе (-400 С) и соответственно увеличивают давление пара металлоорганического соединения.

При температурах подложки, превышающих 850 С, не происходит загрязнения покрытия продуктами разложения металлоорганического соединения, что обеспечивает получение высококачественны«металлически«покрытий, обладающи«диффузионным сцеплением с ос5 новой.

П р и и е р. Образец из стали ОХ17Н нагревают в вакууме при 10 1,л м рт. ст. до 920—

960 С, после чего к образцу подают пары бпсэтилбензол«рома с давлением 10 - мм

10 рт. ст., что соответствует температуре его жидкости 80" С. При этих условиях образец выдерживают около часа, после чего температуру образца понижают до 400 С и соответственно увеличивают давление паров бисэтил15 бензолхрома до давления, соответствующего температуре его жидкости-140 С, и при этих условиях наращивают хромовое покрытие до требуемой толщины.

Предмет изобретения

Способ получения металлических покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений при контактировании их с нагретой подложкой, отличающийся тем, 25 что, с целью получения диффузионного сцепления покрытия с основой, начальную стадию процесса осуществляют при температуре свыше 850 С и давлении паров металлоорганического соединения не более 10 -лтлт рт. ст,