Чувствительный элемент meaibpahhofo датчика давления

Авторы патента:

Научно исследовательский , конструкторский институт испытательных машин, приборов , средств измерени масс

G01B7/16 - для измерения деформации твердых тел, например проволочными тензометрами

О П И С А Н И Е 323643

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 07Х11.1970 (№ 1457228/25-28) с присоединением заявки №вЂ”

ПриоритетвЂ”

М. Кл. G 01Ь 7/18

Нойитет по делай изобретеиий и открытий при Совете Миимстров

СССР

Опубликовано 10.Х11.1971. Бюллетень № 1 за 1972

Дата опубликования описания 13.III.1972

УДК 531.781.2:

:681.2.083.8 (088.8) Авторы изобретения

Ю. М. Базжин, О. М. Александрова, А. Г. Шаба и T. А. Моторыгина

Научно-исследовательский и конструкторский институт испытательных машин, приборов и средств измерения масс

Заявитель

ЧУВСТВИТЕЛЪНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МЕМБРАННОГО

ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к области приборостроения и предназначено для измерения давления.

Из патентной литературы известны чувствительные элементы, выполненные в виде замкнутого контура как измерительный мост с четырьмя тензорезисторами из монокристаллического полупроводника, два из которых имеют ориентацию мочокристалла полупроводника, не соответствующую максимальной чувствительности.

Предлагаемый элемент отличается от известных тем, что тензорезисторы выполнены в виде двух параллельчых полос полупроводника, соединенных между собой на концах перемычками, с контактами, располагаемыми на линии нулевой деформации мембраны датчика, а также тем, что все тензорезисторы выполнены из орпентироваíHîãо в направлении максимальнсй тензочувствптельности полупроводника.

Такое выполнение чувствительного элемента позволяет повысить точность измерения давления.

На чертетке изображена мембрана с предлагаемым чувствительным элементом.

Чувствительный элемент мембранного датчика давления содержит полупрово днпковые монокристаллические тензорезисторы, выполкенные в виде двух параллельных полос I, 2 полупроводника, ориентированного в направлении максимальной тензочувствительности.

Полосы 1, 2 соединены между собой перемычками 3, 4 и снабжены контактами 5, расположенными на линии нулевой деформации мембраны б датчика. Полосы 1, 2 и перемычки 8, 4 полупроводника образуют мостовую схему: в одну диагональ включается источник 7 пи= тания, а в другую вЂ” измерительный прибор 8, 1р показания которого пропорциональны деформациям мембраны 6.

Предмет изобретения

1. Чувствительный элемент мембрачного датчика давлсния, содержащий четыре полупроводниковых монокристаллических тензорезистора,образующих замкнутый контур, представляющий собой измерительный мост, и контакгы для соединения с вторичной аппаратурой, от тичающткя тем, что, с целью повышения точности измерения давления, тензорезисторы выполнены в виде двух параллельных полос полупроводника, соединснных между собой на концах перемычками, с контактами, располагаемыми на линии нулевой деформации мембраны, датчика.

2. Чувствительный элемент по п. 1, отличаюи ийся тем, что все тензорезпсторы выполнены из ориентированного в направлении максимальной тензочувствительности полупроводЗр ника.

323643

Соста витель А. Босой

Техред 3. Тараненко

Редактор Л. Дьяконова

Корректор Т. Гревцова

Типография № 24 Главполиграфпрома, Москва, Г-19, ул. Маркса вЂ” Энгельса, 14

Заказ 900 Изд. № 1797 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретечнй и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Чувствительный элемент meaibpahhofo датчика давления

Похожие патенты:

Токосъемное устройство // 322603

Способ изготовления термокомпенсированиых однонитевых тензорезисторов // 318805

Способ определения чувствительности тензорезисторов // 317895

Эпоксидное связующее для изготовления тензорезисторов // 317894

Способ изготовления фольговых тензорезисторов // 316922

Устройство для измерения упругих и остаточных перемещений погружаемых свай // 316921

В. н. поярков // 315906

Прибор для дистанционного измерения статических деформаций // 315905

Устройство для электрической связи элементов приводных ремней и неподвижной аппаратуры // 315010

Способ изготовления тензорезисторов // 315009

Устройство для контроля деформации и способы его использования в механических структурах, подвергающихся напряжению // 2110044

Изобретение относится к измерению и контролю напряжений в конструкциях любого типа

Устройство для измерения деформаций при повышенных температурах // 2110766

Устройство для измерения деформации конструктивного элемента (варианты) // 2116614

Способ определения изгибной жесткости объектов из композиционных материалов // 2120120

Изобретение относится к испытательной технике и имеет целью повышение точности способа определения изгибной жесткости объектов, изготовленных из композиционных материалов

Устройство для измерения деформаций конструкций из композиционных материалов при повышенных температурах // 2149352

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам измерения деформаций конструкций летательных аппаратов при испытаниях на прочность

Многоканальное тензометрическое устройство // 2157961

Изобретение относится к области автоматизации процессов взвешивания, дозирования и испытания материалов

Пьезопленочный датчик многократного применения для измерения динамических деформаций // 2160428

Изобретение относится к средствам измерения динамической деформации, измеряющим динамическое деформируемое состояние инженерных конструкций

Датчик перемещения // 2165068

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам, контролирующим перемещение деталей машин, и может быть использовано в системах контроля машинами и оборудованием

Датчик для измерения натяжения анкера // 2169901

Способ изготовления прецизионного фольгового резистора // 2182381

Изобретение относится к электрорадиотехнике, а в частности к технологии изготовления прецизионных фольговых резисторов, а также может быть использовано при изготовлении резисторов широкого применения