Электростатическое реле

 

324708

Союз Советских

Социалиетичеоких

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 02.1!.1970 (№ 1395316/18-24) с присоединением заявки №

Приоритет

М. Кл. Н 03k 17/52

Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 23.Х11.1971. Бюллетень,¹" 2 за 1972

Дата опубликования описания 25.П.!972

УДК 621.374.33(088.8) Автор изобретения

В. В. Чесноков

Заявитель

ЭЛ ЕКТРОСТАТИЧ ЕСКОЕ РЕЛ Е

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для создания электростатически управляемых реле, предназначенных для переключения цепей переменного тока.

Известны пленочные электростатические реле, предназначенные для управления цепями переменного и постояшюго тока. При подаче напряжения между мембраной и электродами электростатические силы заставляют мембрану притянуться к этим электродам и замкнуться с контактом. Если контактирование происходит с подачей напряжения между контактом и мембраной, возникает электрическая эрозия поверхности этих электродов, ограничивающая количество возможных переключений. Причиной эрозии может явиться значительная концентрация электрического поля па микронеоднородностях поверхностей контактирующих электродов при их сблпжснии и возникающий при этом микропробой, сопровождающийся выбросом материала.

Отличием предлагаемого реле является то, что контактный электрод покрыт изоляционным слоем из материала с высокой диэлектрической проницаемостью. Слой диэлектрика предотвращает омический контакт мембра ы с контактным электродом и сглаживает распределение электрического поля в зазоре между этими электродами, предотвращая тем самым пробой и эрозию электродов.

Конструкция предлагаемого прибора изображена на чертеже. Здесь:

1 — изоляционное основание; 2 — неподвижные управляющие электроды; 8 — подвижная гибкая мембрана; 4 — неподвижный контактный электрод; 5 — изолирующий слой пз материала с высокой диэлектрической проницаемость о.

В момент контакта мембрана прижата к

10 слою диэлектрика на контактном электроде.

При величине диэлектрической проницаемоcTtt !О, толщине слоя диэлектрика 10- сл1, площади контакта 300+300 л1кл1 - =10 сл1о емкость II011<+ii х1ембр а ной и конт31 .тным

15 электродом может составлять !О+ пф.

Если в разомкнутом состоянии зазор между мембраной и поверяюстью пзоляцпошюго слоя па контактном электроде равен 1,11к11, То ехlкость межд\ элект!7одами Ilplt этом со20 ставляет 1 /гф.

OTIIoIIIc1tItc емкостеЙ KQHT3KT3 в 3<1мкн To%I и разомкнутом состояниях, равное в приведенном выше примере !О+"", доказывает возможноcTb использования предлагаемого прп25 бора в электронной технш е для переключения цепей переменного тока, т. е. для выполнения функций реле.

Возможны и другие применения прибора, обусловленные возможностью значительного

30 периодического изменения eitt ocTII между электродами за время порядка 10- — !Π— сек