Пентно-тсхшеская]библиотека

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

326443

Союз Советских

Социалистических

Республин

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. С 01b 9/02

Ci 01b 1/26

Заявлено 16.ll.1970 (¹ 1403713, 25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 19.1.1972. Бюллетень ¹ 4

Дата опубликования описания 22.11.197"

Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088.8) Авторы изобретения

В ЕСОЮЗНАЯ.- :":1ЕЯТНО-Т(ХВЧЕСКА

БЧБЛИСТЕНА

М. М. Хейфец и В. П. Шумилин

Заявитель

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИИ ОБЪЕКТА

Предлагаемая система относится к измерительной технике и может быть использована преимущественно для измерения малых угловых перемещений.

Известна интерференционная система для измерения угловых перемещений объекта, содержащая источник света, двухлучевой интерферометр с отражательным блоком, выполненным в виде укрепленной на объекте пары подвижных зеркал, и приемное устройство.

Недостатком известной системы является неустойчивость интерференционной картины вследствие влияния вибраций, вызывающих взаимные перемещения интерферометра и блока, связанного с объектом.

Возникающие колебания интерференционной картины относительно приемного устройства снижают точность измерения, Предлагаемая система отличается от известной тем, что, с целью повышения точности измерения, отражательный блок дополнительно имеет пару неподвижных зеркал, выполненных, как и подвижные, двугранными, и укрепленных на неподвижной части блока, а система снабжена укрепленными в интерферометре опорными зеркалами,и отклоняющими зеркалами для осуществления оптической связи между накрест лежащими зеркалами отражательного блока, при этом расстояния между вершинами углов обеих пар зеркал отражательного блока равны между собои, а их ребра и плоскости, проходящие через этн ребра, взаимно параллельны.

На чертеже изображена ннтерференцион,ная система в аксонометрической проекции.

Предлагаемая система содержит источник света 1, двухлучевой интерферометр, включающий в себя светоделительную пластину 2, поворотные зеркала 3 н 4, подвижные двугранные зеркала 5 и 6, укрепленные на кон,цах коромысла 7 и жестко связанные с измеряемым объектом 8, отклоняющие зеркала

9 — 12, укрепленные на ннтерферометре, неподвижные двугранные зеркала 13 и 14, связан15 ные с неподвижной частью блока, опорные зеркала 15 и 16, укрепленные на интерферометре, и приемное устройство 17.

Зеркала 5, 6 и 13, 14 образуют отражательный блок.

Работает предлагаемая система следующим образом.

Параллельный пучок света от источника света 1 делится светоделительной пластиной

2 на две ветви, которые с помощью зеркал 3 и 4 направляются на подвижньге двугранные зеркала 5 и 6. Затем с помощью зеркал

9 — 12 оба пучка направляются на накрест лежащие по отношению к зеркалам 5 и 6 неподвижные двугранные зеркала 13 и 14, Затем, отразившись от опорных зеркал 15 .и 16, 326443

Предмет изобретения

Составитель Л. Лобзова

Техред 3. Тараненко

1(орректоры E. Зимина и И. Шматова

Редактор Г. Гончарова

Заказ 44/231 Изд, М 78 Тираж 448 Подписно;

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7Ê-35, Раушская наб., д, 4/5

Тнп. Харьк. фил, пред. «Патент» лучи возвращаются по первоначальному пути на светоделительную пластину 2, интерферируя между собой. При угловом перемещении объекта 8 вследствие перемещений зеркал 5 и б меняется разность хода в двух ветвях интерферометра, что приводит к смещению интерференционной картины.

Процесс регистрируется приемным устройством 17.

Предлагаемая система нечувствительна к влиянию вибраций, вызывающих взаимные перемещения интер ферометра и блока, связанного с объектом 8, к поступательным перемещениям и к поворотам вокруг оси, перпендикулярной лучам, падающим на двугранные зеркала и ребра этих зеркал. Это объясняетая тем, что длина пути лучей в обеих ветвях изменяется при этом на одну и ту же величину, и разность хода между ними не меняется.

Исключение влияния угловых вибраций блока, содержащего измеряемый объект 8, вокруг оси, параллельной оси вращения этого объекта, происходит вследствие того, что равные изменения разностей хода, вызванные одновременньгми наклонами пар зеркал 5, б и 18, 14 на один и тот же угол, компенсируются.

Интерференционная система для измерения угловых перемещений объекта, содержащая источник света, двухлучевой интерферометр с отражательным блоком, выполненным в виде укрепленной на объекте пары подвижных зеркал, и приемное устройство, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности из.мерения, отражательный блок дополнительно имеет пару неподвижных зеркал, выполнен15 ных, как и подвижные, двугранными, и укрепленных на неподвижной части блока, а система снабжена укрепленными в интерферометре опорными зеркалами и отклоняющими зеркалами для осуществления оптической свя20 зи между накрест лежащими зеркалами отражательного блока, при этом расстояния между вершинами углов обеих пар зеркал отражательного блока равны между собой, а их ребра и плоскости, проходящие через эти ребра, взаимно параллельны.