Способ контроля толщины последовательно наносимых на подложку слоев диэлектрикови металла

Авторы патента:

G02B5/28 - интерференционные

326535

Предмет изобретения

Составитель А. Шеломова

Техред Л. Куклина

Корректор Л. Царькова

Редактор Т. Орловская

Заказ 514/14 Изд. М 112 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ контроля толщины последовательно наносимых на подложку слоев диэлектриков и металла с определением толщины диэлектрических слоев по измерению пропускания на длине волны Х1, соответствующей наибольшему отражению диэлектрического покрытия, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения точности, контроль пропускания при нанесении слоя металал ведут на длине волны Х2, соответствующей области высокого пропускания

S диэлектрического покрытия, и момент достижения заданной толщины слоя определяют по достижению минимального значения разности пропускания на длинах волн Х1 и Х2.

Устройство для преобразования спектрального состава светового потока // 320798

Способ изготовления спектродблитёлей // 314182

Интерференционный спектроделитель // 301667

Интерференционный светофильтр // 254820

Интерференционно-поляризационный фильтр // 210419

Оптический интерференционный фильтр // 189084

Интерференционный фильтр // 186163

Способ герметизации интерференционного светофильтра // 177115

Патент 166518 // 166518

Интерференционное покрытие // 2124223

Изобретение относится к области оптического приборостроения, в частности к интерференционным покрытиям и может быть использовано для создания зеркальных, светоделительных фильтрующих и других многослойных покрытий для оптических элементов широкого применения, в том числе для лазерной техники в области длин волн от 0,4 до 9,0 мкм

Оптическое устройство с низким пропусканием видимого света и низким отражением видимого света // 2173470

Многослойное зеркало заднего вида для транспортных средств // 2213362

Просветляющее оптическое многослойное покрытие // 2217394

Изобретение относится к области изготовления оптических элементов, отражающих интерференционных фильтров и обработки поверхности стекла, а более конкретно к слоистым изделиям, включающим основу из стекла и многослойное покрытие из специфицированного материала, имеющее различный состав, из органического материала, оксидов, металлов и неметаллов, наносимых преимущественно осаждением из газовой среды

Теплоизоляционное покрытие // 2219139

Изобретение относится к теплоизоляционному покрытию, применяемому в защите от теплового излучения жилых, офисных или промышленных зданий

Способ изготовления диэлектрического многослойного зеркального покрытия // 2244947

Изобретение относится к способу изготовления диэлектрического многослойного зеркального покрытия

Отражающее покрытие // 2256942

Изобретение относится к интерференционным покрытиям и, в частности, может быть использовано в оптическом приборостроении для широкополосного отражения света

Устройство для дистанционного получения изображений в широком угле обзора (варианты) // 2298214

Изобретение относится к области оптического приборостроения и предназначено для получения изображений поверхности Земли из космоса и с воздушных носителей различного класса

Оптическое фильтрующее устройство // 2301434

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано при построении приборов для спектральной фильтрации оптических изображений, например, перестраиваемых по длине волны оптических фильтров, тепловизоров, работающих в заданных узких спектральных диапазонах

Узкополосное фильтрующее покрытие // 2308062

Изобретение относится к интерференционным покрытиям и, в частности, может быть использовано в оптическом приборостроении для узкополосной фильтрации света