Способ определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
33I 808
Сова Советскик
Соцналиотнческив
Реепу0лии
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 13ЛУ.1970 (№ 1425689/26-25) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 14.III.1972. Бюллетень ¹ 10
Дата опубликования описания 25.IV.1972
М. Кл. В 01d 59,/44
Комитет по делаю наобретеннй н открытий прн Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
О. В. Медвидь, А. С. Кузема, Б. Ю. Руткевич, В. P. Водычко и П. В. Гуль
Заявитель
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТАВА ОСТАТОЧНЫХ ГАЗОВ
В ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫХ ПРИБОРАХ
Изобретение относится к электровакуумной промышленности.
Известен способ определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах, основанный на импульсной ионизации газа электронным пучком и разделении его по массам по времени пролета ионов в пространстве дрейфа, при котором к электровакуумному прибору подсоединяют масс-спектрометрический датчик статического или динамического типа. Для анализа остаточного газа в цветном кинескопе используют статический магнитный масс-спектрометр. При этом прожектор кинескопа модифицируют введением источника ионов, а камеру масс-анализатора приваривают к горловине трубки.
Цель, изобретения — разработка такого способа определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах, который позволил бы выполнять анализ в готовых приборах, например кинескопах, без их разрушения.
Согласно изобретению, поставленная цель достигается следующим образом: остаточный газ ионизируют и разделяют по массам в самом приборе подачей на ускоряющий электрод положительного по отношению к катоду напряжения 100 — 200 в, а последующий электрод используют в качестве вытягивающего подачей на него отрицательного по отношению к ускоряющему электроду напряжения, по абсолютной величине в два или более раз превышающего напряжение на ускоряющем электроде. Пространством дрейфа служит пространство между электронно-оптической системой и экраном, который используют в качестве коллектора ионов. Если анализируемым прибором является цветной кинескоп, чувствительность предлагаемого способа повышается благодаря использованию особенностей его конструкции: сетку или маску снабжают отдельным выводом и используют в качестве коллектора, причем на этот вывод подают дополнительно отрицательный по отношению к аноду потенциал 20 — 100 в.
15 Способ поясняется на примере черно-белого кинескопа с помощью прилагаемой схемы.
Электроны, эмиттируемые катодом I, в пространстве между модулятором 2 и ускоряющим электродом 8 ионизируют молекулы ос20 таточного газа. Напряжение ионизации находится в пределах 100 — 200 в, и постоянное напряжение на модуляторе составляет
0 — 100 в по отношению к катоду. Образовавшиеся ионы вытягиваются с помощью отри25 цательного потенциала 200 в и более по отношению к катоду, приложенного к последующему электроду 4. Пакет попов, проходя пространство дрейфа, за счет разного времени пролета разделяется по массам и достигает
3р коллектора (экрана) в разное время. Про331808
Предмет изобретения
2ПО
-100д
Составитель И. Прокофьева
Редактор Б. Федотов Текред Е. Борисова Корректор Т. Китаева
Заказ 1164/9 Изд. ¹ 499 Тирани 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Я(-85, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 странством дрейфа служит расстояние между электродом 8 и экраном 5. С вывода б коллектора разделенные по времени импульсы снимаются на измерительную схему.
1. Способ определения состава остаточных газов в электроннолучевых приборах путем импульсной ионизации газа, разделения его по массам по времени пролета в пространстве дрейфа и определения спектра масс, отличающийся тем, что, с целью выполнения анализа в готовых приборах без их разрушения, ионизацию и разделение остаточного газа по массам осуществляют в приборе посредством подачи на ускоряющий электрод положительного по отношению к катоду потенциала, а на последующий вытягивающий электрод подают отрицательный по отношению к ускоряющему электроду потенциал, при этом состав остаточного газа определяют по импульсным сигналам, снимаемым с коллектора.
s 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в черно-белых кинескопах на вытягивающий электрод подают потенциал, при котором разность потенциалов между ускоряющим и вытягивающим электродами по абсолютной ве10 личине по крайней мере в два раза превышает разность потенциалов между ускоряющим электродом и катодом, а сигнал снимают с экрана, находящегося под потенциалом вытягивающего электрода.
1s 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в цветных кинескопах сигнал снимают с сетки или маски кинескопа, на которую подают дополнительный отрицательный по отношению к аноду потенциал 20 — 100 в.
