Устройство для преобразования механических параметров в электрический сигнал

Авторы патента:

G01L1/22 - с помощью резисторных тензометров (резисторные тензометры для измерения линейного сжатия или растяжения G01B)

33234l

О ll и СХ Я и в

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сопиалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №.Ч. Кл. С Oll 1/22

Заявлено 13.Х.1969 (Ko 1365513/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Комитет по полам изобретеиий и открытий при Совете тЛииистров

СССР

УДК 531.781(088.8) Опубликовано 14Л!1.1972. Бюллетень ¹ 10

Дата опубликования описания 17.IV.1972

Авторы изобретения

А. А. Соколов, Ю. И. Мартынов и О. К. Полев

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ

ПАРАМЕТРОВ В ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СИГНАЛ

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к преобразователям механических параметров в электрический сигнал.

Из патентной литературы известно устройство для преобразования механических параметров в электрический сигнал, содержащее две мембраны с утолщенными буртиками, соединенные неразъемно по периметру и образующие полость, и измеритель деформаций мембран.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что мембраны выполнены из монокристалла полупроводника, например кремния, а измеритель деформаций выполнен за одно, целое с мембраной в виде тензочувствительной интегральной схемы. Такое выполнение устройства позволяет улучшить метрологические характеристики.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство для преобразования механических параметров в электрический сигнал содержит две мембраны 1 и 2 с утолщенными буртиками, выполненные из мопокристалла, полупроводника, например кремния. Мембраны соединены неразъемно по периметру и образуют плоскость. Измеритель деформации мембран, выполнен за одно целое с ними в виде тензочувствительной интегральной схемы 3, выводы 4 которой подключаются к измерительному прибору, и эластичное покрытие 5, например резиновое.

Получение интегральных схем т на поверхностях мембран 1 и 2 позволяет увеличить

5 полезный сигнал и уменьшить уровень помех, вызванных вибрациями.

Снижение вибр ационной чувствительности предлагаемого устройства происходит за счет того, что перемещения от рабочих усилий на10 правлены встречно и суммируются интегральной схемой 8, а вибрационные вЂ” в одну сторону и вычитаются в интегральной схеме.

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет полностью скомпенсировать влия1s ние вибрационных перегрузок на выходной сигнал.

Предмет изобретения

Устройство для преобразования механичес20 ких параметров в электрический сигнал, содержащее две мембраны с утолщенными буртиками, соединенные неразъемно по периметру и образующие полость, и измеритель деформаций мембран, отличающееся тем, что, 2S с целью улучшения метрологических характеристик, мембраны выполнены из монокристалла полупроводника, например кремния, а измеритель деформаций выполнен за одно целое с мембраной в виде тензочувствитель30 ной интегральной схемы.

332341

Составитель А. Босой

Техред Е. Борисова

Корректор В. Жолудева

Редактор С. Титова

Заказ 936/3 Изд. № 381 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для преобразования механических параметров в электрический сигнал

Способ тарировки тензометрических центров шлифовальных станков // 330005

Патент 329421 // 329421

Многоканальный контактный датчик // 329420

Динамометрическое устройство для измерения // 329419

Силоизмерительный тензодатчик // 329418

Силоизмерительный датчик // 324525

Устройство для измерения крутящих моментов и усилий // 323677

Устройство для измерения усилий // 323676

Силоизмерительный датчик^в^ссооюзная'i^lliis ho t;i''=*"''! " 's-'flf?;биелио,-кл'^"^' // 319857

Способ балансировки датчика силы с упругими шарнирами // 2101687

Изобретение относится к силоизмерительной технике и может быть использовано в электронных весах, динамометрах и других измерительных устройствах с датчиками силы

Датчик для тензометрических весов // 2102710

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в высокоточных тензометрических весах, а также в качестве преобразователя механических величин (давления, перемещения, деформации, усилия), в электрический сигнал в различных системах контроля и управления технологическими процессами

Чувствительный элемент // 2106610

Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров

Устройство для измерения усилий // 2111463

Датчик для тензометрических весов // 2111464

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в тензометрических весах, а также в качестве преобразователя механических величин (давления, перемещения, деформации, усилия) в электрический сигнал

Устройство для измерения усилий // 2112942

Изобретение относится к силоизмерительной технике и предназначено для измерения с повышенной точностью силы в широком диапазоне

Датчик усилий для тензометрических весов // 2114405

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в высокоточных тензометрических весах, а также в качестве преобразователя механических величин (давления, перемещения, деформации, усилия) в электрический сигнал

Устройство для измерения силы // 2114406

Устройство для измерения осевого усилия и крутящего момента гребного винта судна // 2115900

Изобретение относится к экспериментальной гидродинамике и предназначено для измерения осевых усилий и крутящих моментов на гребных валах судов

Способ дистанционного измерения давления и температуры в скважине одним датчиком и устройство для его осуществления // 2118802

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения геофизических параметров в скважине, преобразуемых в изменение активного сопротивления резестивного датчика с использованием четырехпроводной линии связи