Устройство для формирования уменьшенного изображения шаблонов

Авторы патента:

Г. В. Дер Шварц, Г. А. Михайловский, А. И. Трубецкой , П. А. Чернов

H01J9/20 - изготовление экранов, на которых или с помощью которых создается, воспроизводится, преобразуется и(или) накапливается изображение или рисунок; нанесение покрытий на колбу

335736

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сое3 Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 09,XII.1970 (№ 1498474f26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 11 IV.1972. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 17Л .1972

М. Кл. Н Olj 9/20

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.385.832.535 (088.8) Авторы изобретения Г. В. Дер-Шварц, Г. А. Михайловский, А. И. Трубецкой и П. А. Чернов

Л»

Заявитель Институт математики Сибирского отделения АН СС Б ;==С„;;",);„: .,у 1 1 i .;, - " с; т

° ° .- ь сii., (, УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ УМЕНЬШЕННОГО

ИЗОБРАЖЕНИЯ ШАБЛОНОВ

Изобретение относится к электронным устройствам, применяемым для микроминиатюризации, в частности, при задубливании лаковых пленок, химическая структура и физические свойства которых изменяются под воздействием электронного луча в процессе экспонирования.

Известно электронно-оптическое устройство, служащее для отображения протяженных поверхностей перфорированных ш аблонов в сходящемся потоке электронов. Это устройство содержит шпилькообразный катод; диафрагму, ограничивающую апертуру пучка, исходящего из фиктивного источника электронов; короткофокусную конденсорную линзу, которая формирует сильно уменьшенное изображение фиктивного источника электронов и увеличивает угол освещения; длиннофокусную конденсорную линзу, которая преобразует расходящийся поток электронов в сходящийся; шаблон, расположенный в середине зазора длиннофокусной конденсорной линзы; проекционную линзу со сменными полюсными наконечниками; столик для перемещения экспонируемой подложки; оптический микроскоп (увеличение 80 ) для устранения масштабных искажений; электронный микроскоп (увеличение 7000 ) для контроля установки на резкость.

Недостаток известного устройства состоит в черезвычайно низкой плотности тока в плоскости экспонирования, так как устройство работает в режиме теневого изображения.

Такая низкая плотность тока ограничивает применение устройства.

Кроме того, длиннофокусная конденсорная линза и короткофокусная проектирующая линза вносят значительные масштабные искаже1о ния, которые устраняют с помощью оптического микроскопа, причем на это затрачивается много времени.

Наконец, трудно выполнить технологические совмещения из-за неудобной замены шабло15 нов, неточности их установки и смещения столика для транспортировки шаблонов.

Предложенное устройство для формирования уменьшенного изображения шаблонов отличается от известного тем, что катод, анод, 20 управляющий электрод электронного прожектора выполнены сферическими, и анод снабжен центральным отверстием для установки шаблона. В устройстве установлена магнитная двухщелевая линза, центр которой совпадает

25 с точкой схождения главных лучей прожектора, во внутренней области линзы размещена подвижная апертурная диафрагма.

Преимущества предложенного устройства следующие:

30 1. Изотопная дисторсия третьего порядка

335736

50 может быть устранена изменением положения диафрагмы на оси двухщелевой линзы.

2. Анизотропные полевые аберрации также могут быть устранены, поскольку первая половина поля двухщелевой линзы вращает изображение в одном направлении, а вторая половина вЂ” в обратном.

3. В пределах изображения плотность электронного тока не изменяется в связи с тем, что сферический прожектор формирует пучок главных лучей (пучок лучей, перпендикулярных катоду), сферическая аберрация которых в кроссовере устранена.

В предложенном устройстве увеличена облучаемая площадь шаблона, обеспечена возможность регулирования плотности тока в плоскости экспонирования изменением напряжения на сетке сферического триодавЂ” прожектора, повышена точность установки шаблонов в рабочее положение, что необходимо при операции совмещения; полностью устранено влияние всех анизотропных аберраций и изотропной дисторсии на разрешение и масштабные искажения уменьшенного изображения перфорированного шаблона.

На чертеже представлено предложенное устройство для формирования уменьшенного отобр ажения шаблонов.

Устройство содержит электронный прожектор 1, представляющий собой сферический диод или сферический триод, анод 2 которого снабжен коническим посадочным местом для установки шаблона, зеркально-линзовый световой микроскоп 8, двухщелевую проектирующую линзу с апертурной диафрагмой 4, столик 5 для перемещения образцов, подложки б.

Шаблон устанавливается так, чтобы его азимут и центровка относительно оптической оси прожектора были строго фиксированы.

Для этого шаблон вводят в коническое посадочное место анода, причем шаблон имеет шпонку, которая попадает в отверстие посадочного места. Вода или масло, циркулирующее по рубашке анода, охлаждает посадочное место анода.

Взаимно дополняющие друг друга рисунки, которые нужно отобразить на подложке б с определенным уменьшением, образуются перфорациями шаблона, через которые проходят потоки электронов. Шаблоны хранятся в

15 г0 г5

Зо гнездах турникетного барабана, откуда они извлекаются специальным механизмом, устанавливаются по очереди в коническое посадочное место анода или возвращаются в определенное гнездо турникетного барабана при замене одного шаблона другим. Положение шаблона жестко фиксируется в пределах установленного механического допуска. Благодаря этому уменьшенное изображение воспроизводится с гораздо более жестким допуском (допуском на отклонение от номинального положения изображения) на подложке.

Освобождаемые из катода электроны (термо-или фотоэлектроны) направляются сферическим полем прожектора к аноду через перфорации шаблона. При этом образуется конический сходящийся поток электронов с вершиной на оптической оси линзы. Апертура пучков, несущих изображение перфораций шаблона, ограничивается диафрагмой, которая может перемещаться вдоль оси симметрии двухщелевой формирующей линзы.

Зеркально-линзовый микроскоп с разрешением 0,3 вЂ” 0,5 мк и увеличением 150, 300 и

400 позволяет наблюдать за устранением масштабных искажений вследствие дисторсии формирующей линзы, контролировать совмещение (если субстрат многократно извлекается из устройства для проведения других технологических операций и вновь возвращается в устройство для отображения очередного шаблона) и установку на резкость.

Предмет изобретения

Устройство для формирования уменьшенного изображения шаблонов, содержащее электронный прожектор, состоящий из катода, анода, управляющего электрода, оптический микроскоп и столик перемещения образцов, отлача)ощееся тем, что, с целью повышения точности установки и отображения шаблонов, катод, анод, управляющий электрод электронного прожектора выполнены сферическими, и анод снабжен центральным отверстием для установки шаблона, причем в устройстве установлена магнитная двухщелевая линза с центром, совпадающим с точкой схождения главных лучей прожектора, во внутренней области которой размещена подвижная апертурная диафр агма.

335736

Составитель И. Еремина

Техред Т. Курилко

Редактор Т. Орловская

Корректор О. Тюрина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1327/16 Изд. № 529 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Устройство для формирования уменьшенного изображения шаблонов

Устройство для установки маски на экран цветногокинескопа // 297085

Способ изготовления стеклометаллического экрана // 256884

Устройство для нанесения мозаичных экранов цветных кинескопов // 205968

Способ изготовления люминесцентных экранов для трубок цветного телевидения // 205159

Патент 173334 // 173334

Способ размола // 170583

Патент 158954 // 158954

Способ изготовления мишени с барьерной сеткой // 148100

Машина для аквадирования колб электронно-лучевых трубок // 145666

Цветной кинескоп с теневой маской и способ изготовления этой маски // 2100865

Противобликовое, антистатическое покрытие, состав для снижения бликовости и способ нанесения противобликового антистатического покрытия // 2121195

Способ нанесения кодовой маркировки на лицевую панель электронно-лучевой трубки // 2140112

Способ изготовления тонкопленочного электролюминесцентного индикатора // 2143152

Изобретение относится к области радиоэлектроники и предназначено для производства средств отображения информации, в частности тонкопленочных электролюминесцентных индикаторов

Плоский люминесцентный экран, способ изготовления плоского люминесцентного экрана и способ получения изображения на плоском люминесцентном экране // 2155412

Способ изготовления оптического световодного устройства для передачи изображения (его варианты) // 2174725

Изобретение относится к области передачи оптического изображения с помощью оптических световодов и может быть использовано при изготовлении специальных фоконов с квадратными сечениями составляющих его световодов и, преимущественно, при изготовлении бесшовных составных матричных экранов больших размеров для получения высококачественного изображения

Устройство для плазмохимической обработки электронных приборов // 2175153

Изобретение относится к вакуумной технологии и может быть использовано в производстве твердотельных, вакуумных и газоразрядных приборов, а также для накачки газоразрядных лазеров

Устройство для плазмохимической обработки электронных приборов // 2175171

Диэлектрическая композиция для контрастного покрытия на стеклоподложке под легкоплавким стеклом // 2185672

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении газоразрядных индикаторных панелей постоянного и переменного тока

Способ изготовления конструктивных элементов вытянутой формы газоразрядной индикаторной панели // 2231160

Изобретение относится к областям техники, в которых используется трафаретная печать, например, при изготовлении электродов и диэлектрических барьеров газоразрядных индикаторных панелей (ГИП)