Интерферометр для контроля волновых аберраций элементов оптических систем
г1Ая
0 И И"С- Н И E 355488
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союэ Соеетскит
Социалистически1
Респуалив
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства М
Заявлено 15.1.1970 (№ 1393207/26-25) М. Кл. G 01b 9/02 с присоединением заявки No
Приоритет
Опубликовано 16.Х.1972. Вю,плетень М 31
Дата опуб.пиковяиия описания 16.Х1.1972
Комитет по делам иааоретений и открытий при Саеете Министрое
CCCl )тДК 535.411(088.8) Автор изобретения
Д, T. Пуряев
Московское высшее техническое училище им. Баумана
Заявитель
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОЛНОВЫХ АБЕРРАЦИЙ
ЭЛЕМЕНТОВ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ
Изобретение относится к устройствам для контроля оптических систем, обладающих большими волновыми аберрациями (асферических элементов, конденсаторов для контроля асферических систем и т. д.).
Извсстныс интерферометры, содержащие в качестве эталона плоскость или сферу, позволяlот контролировать с достят01lной точност1ио малые волновые аберрации, Г1рименение в 1качестве эталона ясферичсской Hoâåðêности связано со значительными материальными затратами.
Предложенный интерферометр отличается тем, что в качестве эталона используется зеркальная поверхность пластины, которая под воздействием механических или и невм атических нагрузок принимает форму, близкую к форме волнового фронта, искаженного испытуемой системой. Благодаря этому повышается точность измерений.
11а фиг, 1 представлена принципиальная схема интсрферометра для контроля оптических систем со значительными аберрациями с конечного расстояния.
Свет от монохромапического источника (например, лазера) 1 конденсориой линзой 2 фокусируется на отверстие точечной диафрагмы >, пройдя через которую, попадает сначала на светодслитепьный кубик 4, а затем иа с )сpHчсскос зеркало 5 и контролируемую систем)
6, Центр кривизны сферического зеркала и фокус контролируемой системы совпадают с центром диафрагмы >. За контролируемой системой уста1говлсня и IIHcTHH;l 7, ьч1сциlсй зеркальной поверхности которой может быть придана требуемая форма и тем иягружения винтом 8 или изменеш)см давлсн1гя в каме10 ре 9, Идущий в рабочу10 ветвь интсрферометра сферический волновой фронт Р, в системе 6 преобразуется в волновой фронт Ро, сущсст1о венно отличающийся от плоского или сферического. Регулировкой винта 8 или давления в камере 9 зеркальной поверхности пластины 7 п1)вдается (1)орма, близкая к форме искяжcHного волнового фронта Р,. В результате вы20 ходящий из рабочей ветви ьолновой фронт18 незначительно отличается от сферического и, интерфсрируя со сферическим волновым фронтом Рр Н3 1)cTH)I cpHI)HcHHH, даст иа экране 10 слабо искривленные интсрфсренционные
25 полосы, смещсш1я которых могут быть лсп,о измерены с высок<)й т) и1т)сть10. Форма деформированной зеркальной поверхности атгсстуется с помощью колец 11ьютоня, которые образуются при введении в систему полупро30 зрачной пластины 11, 3554М
Предмет изобретения
ФР2
Составители Б. Aрлов
Техрсд T. Курилко
Редактор T. Орловская
1(оррскторы: Е. Давыдкина и В. Петрова
Заказ 3G88/!1 Изд. № !483 омитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7f(-35, 1заушская наб., 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
На фиг. 2 представлена схема интерферометра для контроля оптических систем в пар а Л Л е Л Ы! о и н 1 Ч l; e Л з Ч е й, с о,д e p ж 1 н 1 P. Г о и С Т 0 Чник 1 монохромати1еского света, точечную диафрагму 8, сферическое зеркало 5, контролируемую систему б, деформнрусмуlo пластину 7, внешняя зеркальная поверхность,которой служит поверхностью сравнения, камеру
9, полупрозрачную пластину 11, объектив коллиматора /2, полупрозрачную разделительную пластину 13, линзу 14 для наблюдсния интерференционной картины. Задний фокус контролируемой системы 6 совмещен с центром кривизны сферического зеркала 5.
Интерферометр для контроля волновых аберраций элементов оптических систем со> дср2ка1цнй 1)абочую и эталоннуlо ветви, 02 212Чаюи1ийс,2 тем, что, с целью расширения диапазона н повышения точности измерений, в одHoé из ветвей интерферометра установлены пластинка с внешней зеркальной поверхностью, снабженная устройством для механической либо пневматической деформации ес поверхности, и полупрозрачная пластина для аттестации профиля зеркальной деформированной поверхности.
