Иблиотена i

Авторы патента:

C23C14/56 - устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

О П И С А Н И Е 357276

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства _#_

Заявлено 07.1Х.1970 (№ 1474259/22-1) .Ч. Кл. С 23с 13 08 с присоединением заявки Ло

Приоритет

Опубликовано 3!.Х.1972. Бюллетень М 33

Дата опубликования описания 27.XI.1972

Комитет по делам изобретений и открытий ппи Совете Министров

СССР

УД К 621.793.14.002.52 (088.8) Автор изобретения

Т. A. Силис

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий

Заявитель

ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ

Предмет изобретения

Изобретение относится к нанесению вакуумных покрытий.

Известно шлюзовое устройство для вакуумной камеры, содержащее ряд камер со ступенчатым понижением давления и загрузочный механизм.

Однако в известном устройстве сложно пропускать крупногабаритные изделия.

Цель данного изобретения вЂ” создание устройства с высокой производительностью, в котором можно пропускать крупногабаритные изделия.

Предлагаемое устройство отличается тем, что загрузочный механизм выполнен в виде кассеты, по торцам которой установлены подпружиненные уплотнительные элементы, образующие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки.

На чертеже представлен общий внд устройства.

Устройство состоит из камеры 1 со ступенчатым понижением давления и загрузочного механизма, выполненного в виде кассеты 2, по торцам которой установлены подпружиненные уплотнительные элементы 8, образующие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки.

Кассеты 2 с изделиями 4 смонтированы на роликах 5. Соединение кассет в,цепь осуществляется с помощью зацепок б. На корпусе шлюзового устройства выполнены несколько патрубков, подключспных к вакуумным насосам:

Кассета 2 с закрепленным в ней изделием

4, предназначенным для металлизации, помещается в камеру 1. С помощью зацепок б к первой кассете присоединяется следующая и т. д., тем самым образуя непрерывную цепь.

Представляя собой отдельную подвижную

10 камеру, каждая из кассет, по мере продвижения в сторону высоковакуумной камеры, посредством ролико в 5,проходит ряд патрубков, где происходит откачка полости кассет.

Иатеканию воздуха (остаточных газов) из

15 области низкого вакуума в область с более высоким вакуумом препятствуют уплотннтельные элементы по торцам, кассет.

Таким образом изделие, предназначенное для металлизацип переносится из атмосферы

20 B область с,высоким вакуумом.

Выход кассет с изделиями из высоковакуумной камеры происходит в обратном порядке, т. е. в сторону со ступенчато повышающимся давлением.

Шлюзовое устройство,для вакуумной камеры, содержащее ряд камер со ступенчатым

30 понижениегм давления и загрузочный меха357276

Составитель Б. Либерман

Те вред Е. Борисова

Редактор Л. Лаврова

Корректоры: T. Медведева и Л. Царькова

Заказ 3838/3 Изд. № !616 Тираж 40G Подписное

Щ1ИИПИ Комитета по девам изобретений и открытий при Сосете Министров СССР

Москва, К-35, Раугиская наб., д. 4г5

Типография, пр. Сапунова, 2 низм, от,гигагощееся тем, что, с целью увели.ения производительности и обеспечения нанесения покрытия па крупяогабаритггые изделия, загрузочный механизм выполнен в виде кассеты, по торцам которой установлены подпружиненные уплотнительные элементы, образугогцие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки.

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 347366

Шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий // 341877

Патент 338563 // 338563

Шлюзовое устройство для вакуумных установок // 337447

Установка для получения покрытий и деталей // 333225

Вакуумная напылительная установка // 322421

Испаритель-контейнер для вакуумного силицирования // 312898

Устройство для нанесения защитных покрытий на элементы и узлы радиоаппаратуры // 307119

Питатель для дозировки порошкообразныхматериалов // 299572

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий // 2161075

Установка для нанесения покрытий на ленту // 2167955

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Способ получения многослойной ленты и устройство для его осуществления // 2180365

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент

Способ получения прозрачной электропроводящей пленки на основе оксидов индия и олова // 2181389

Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги и устройство для его осуществления // 2194087

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности

Устройство для загрузки и/или выгрузки емкостей // 2198835

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к устройству для непрерывной загрузки емкостей, например пластиковых бутылок

Установка для нанесения покрытий на широкую ленту // 2203979

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Геттерная система для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы // 2211882

Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы