Стекло
366157
ОПИСАНИЙ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 29.1.1971 (№ 1620354/29-33) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 16.1.1973. Бюллетень № 7
Дата опубликования описания 13.111.1973
M. Кл. С 0;.с 3 10
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
ССОР
УДК 666.113.621 431 47 41 33 "32 28(088.8) Авторы изобретения
К. А. Костанян, Р. С. Сарингюлян, В. И. Херунцян, Н. И. Белов, P. С. Оганезова н В. В. Ульянов
Заявитель указанные компоненты в следующих количествах, вес. %:
SiOq 67 — 76; СаО 1,5 — 12; ZnO 1 — 4; Na20
7 — 15; А120, 0,5 — 5; ВаО 0,5 — 5; К О 2 — 12 и, кроме того, SnO 0,5 — 2,0.
Пример (вес. %):
SiO 71; А1 0з 2,5; СаО 6,0; ВаО 2,0; /пО
1,5; Na O 12,5; К20 3,5; SnO 1,0.
Предлагаемое стекло облада T следующими
10 свойства м и:
Группы химической устойчивости
Коэффициент спектрального поглощения при )„(нм) 4 о о х о
Л о.
Л щ О х
CO
Ф
1= «1 х Я
М .9
ca v ко й) И
3» х cD
380 400
340
360
320
115
0,015 0,013
0,017
0,025
0,12
0,038 держит указанные компоненты в следующих количествах,,вес, %:
SiOq 67 — 76; СаО 1,5 — 12; ZnO 1 — 4; Na O
7 — 15; А1зО, 0,5 — 5; ВаО 0,5 — 5; КзО 2 — 12 и, кроме того, SnO 0,5 — 2,0.
Предмет изобретения
Изобретение относится к составам стекол, используемым при изготовлении полупроводниковых приборов для фотошаблонов или хромовых масок.
Известно стекло, включающее Si02, СаО, ZnO, МазО, А1 0з, ВаО и К20.
Цель изобретения — снизить спектральное поглощение в ультрафиолетовой области спектра.
Достигается это тем, что стекло содержит
Стекло, включающее ЯОз, СаО, ZnO, Na20, А120з, В аО, К О, отличающееся тем, что, с целью снижения спектрального поглощения в ультрафиолетовой области спектра, оно соКоэффициент линейного термического расширения 10 (20 — 300 )
