Способ изготовления кристаллических элементов пьезоэлектрических резонаторов 1 2 ность процесса; повышенный расход кристаллического сырья; недостаточная точность вследствие быстрого износа инструмента ультразвукового станка. при изготовлении кристаллических элементов пьезоэлектрических резонаторов предложенным способом указанные недостатки устраняются. 10 на фиг. 1, а, б, в, показаны кристаллические элементы u-образной, н- образной и зигзагообразной форм; на фиг. 2 — заготовка с прорезанными пазами. предложенный способ заключается в том, 15 что от исходного монокристалла отрезают не отдельные бруски, а заготовки, имеющие толщину s, равную толщине кристаллического элемента, и ширину i, равную его длине (фиг. 2). длина заготовки должна быть равна сумме ширин нескольких пьезоэлементов и припусков, соответствующих необходимому количеству пропилов алмазными отрезными кругами с внутренней режущей кромкой. каждая заготовка / наклеивается вместе со 25 стеклянной подложкой 2 на держатель 3 отрезного станка с отрезными кругами, имеющими внутреннюю режущую кромку. после отрезки от заготовки пробной пла- 30 стиики для корректировки угла среза суппорт 20
О П И С А Н И Е 372646
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сова Соеетских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
М. Кл. Н 0311 3/02
Заявлено 02.XII.1971 (Юс 1719725/26-9) с присоединением заявки №
Прио.ритет
Опубликовано 01111.1973. Бюллетень № 13
Дата опубликования описания 21,V.1973
Комитет по делам иаобретекий и открытий при Сосете Микистрое
СССР
УДК 621.396.6:621.372..412 (088.8) Авторы изобретения Б. В. Бученцов, А. Н. Яковлева, Е. Б. Нестеров и М. И. Ярославский
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ
ПЪЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ РЕЗОНАТОРОВ
Изобретение относится к технологии изготовления пьезоэлектрических, в частности кварцевых, резонаторов.
Известный способ изготовления кристаллических элементов пьезоэлектрических резонаторов, имеющих U-образную, Н-образную или зигзагообразную форму, заключается в том, что от исходного монокристалла алмазHbIM кругом с наружной режущей кромкой отрезают заготовки-бруски, имеющие припуск к окончательному размеру по 350 — 500 мкм на сторону. Затем эти заготовки шлифуют последовательно абразивными микропорошками или шлифовальными кругами для удаления разрушенного при резке слоя до получения заданных размеров и шероховатости поверхности. После шлифования в брусках прорезают щели (пазы) на ультразвуковом станке, для чего предварительно каждый брусок наклеивают на стеклянную подложку для предотвращения сколов при выходе инструмента из бруска. Каждый брусок перед прорезкой щели выставляют относительно инструмента и закрепляют. Щель прорезается отделыно в каждом бруске.
Недостатками способа ультразвуковой прорезки щели являются необходимость дополнительной технологической оснастки для выставления брусков относительно инструмента и закрепления их; невысокая производительность процесса; повышенный расход кристаллического сырья; недостаточная точность вследствие быстрого износа и нструмента ультразвукового станка.
При изготовлении кристаллических элементов пьезоэлектрических резонаторов предложенным способом указанные недостатки устраняются.
1о На фиг. 1, а, б, в, показаны кристаллические элементы U-образной, Н-образной и зигзагообразной форм; на фиг. 2 — заготовка с прорезанными пазами.
Предложенный способ заключается в том, 15 что от исходного монокристалла отрезают не отдельные бруски, а заготовки, имеющие толщину s, равную толщине кристаллического элемента, и ширину 1, равную его длине (фиг. 2). Длина заготовки должна быть равна сумме ширин нескольких пьезоэлементов и припусков, соответствующих необходимому количеству пропилов алмазными отрез ными кругами с внутренней режущей кромкой.
Каждая заготовка 1 наклеивается вместе со
25 стеклянной подложкой 2 на держатель 8 отрезного станка с отрезными кругами, имеющими внутреннюю режущую кромку.
После отрезки от заготовки пробной плаЗО стики для корректировки угла среза суппорт ф 2646 станка с держателем перемещают на величину a+b, где а — ширина кристаллического элемента, b — ширина щели, и прорезают щели алмазным кругом на требуемую глубину.
После этого суппорт перемещают вторично на величину а+ b, и отрезают элемент целиком. Прорезка щели и отрезка элемента последовательно повторяются.
Изготовление Р-образных и зигзагообразных элементов производится таким же способом с чередованием пропилов и отрезки с двух сторон заготовки.
Использование отрезного алмазного круга с внутренней режущей кромкой, имеющего зернистость алмазных зерен 5 — 7 мкм, позволяет изготовить кристаллические элементы, поверхность которых не требует дальнейшего шлифования.
Предлагаемый способ обеспечивает высокую точность формы, повторяемость и точность размеров кристаллических элементов; позволяет повысить производительность процесса в 1,5 — 2,5 раза, дает значительную экономию кристаллического сырья.
Предмет изобретения
Способ изготовления кристаллических элементов пьезоэлектрических резонаторов, 5 имеющих U-образную, H-образную и зигзагообразную форму, заключающийся в использовании алмазных отрезных кругов с внутренней режущей кромкой, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости их изго10 товления, уменьшения расхода кристаллического сырья и повышения точности выполне ния заданных размеров щелей в теле кристаллического элемента, от исходного монокристалла отрезают заготовки, имеющие длину, 15 равную сумме ширин заданного количества кристаллических элементов и припусков на необходимое количество щелей, толщину, равную толщине кристаллического элемента, и ширину, равную его длине; затем каждую
20 такую пластину:наклеивают вместе с подложкой на держатель отрезного станка, прорезают щели алмазным кругом на требуемую глубину и отрезают кристаллический элемент от заготовки, причем две последние операции
25 последовательно повторяют.
372646
Составитель О. Обухова
Техред E. Борисова
Редактор Т. Орловская
Корректор О. Усова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 1357/17 Изд. Из 285 Тираж 780 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
