^вс^.согозная

 

374389

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства №

Заявлено 22Л11.1971 (№ 1638715f22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 20.111.1973. Бюллетень ¹ 15

Дата опубликования описания 14.VI.1973

М, Кл, С 23с 13/08 комитет оа делам изобретений и открытий при Совете Министров

СС0Р

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения

3. Ю. Готра и Э. М. Мушкарден, <,, р -,: «," -.".А ут

Заявитель

ДОЗИРУЮЩИЙ ПИТАТЕЛЬ ИСПАРИТЕЛЕЙ

ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен дозирующий питатель испарителей для вакуумных установок, содержащ ий бункер, толкатель, закрепленный на валу поворотного устройства, управляемого электромагнитомом.

Однако известный питатель не обеспечивает подачи в испаритель дозированных гранул металла цилиндрической формы и подачи различных материалов в испаритель.

Цель изобретения — создание питателя, в котором возможно осуществить дозировку гранулированных материалов и чередование различных материалов.

Предлагаемый питатель отличается тем, что он снабжен расположенной под бункером направляющей рейкой для подачи грунул в испаритель, а толкатель выполнен в виде секторообразной пластины, служащей одновременно заслонкой при поступлении гранул в испаритель.

Питатель состоит из бункера 1, толкателя

2, выполненного в виде секторообразной пластины, служащей одновременно заслонкой при поступлении гранул в испаритель 8. Толкатель 2 закреплен на валу 4 поворотного устройства б, управляемого электромагнитом б. Под бункером 1 расположена направляющая рейка 7 для подачи гранул в испаритель.

Гранула цилиндрической формы или таблетка 8 под действием сил. пружины 9 поступает при открытом толкателе 2 на направляющую рейку 7. При включении электромагнита 8 толкатель 2 движется и дозированная гранула или таблетка направляется по рейке

7 в испаритель 3. Толкатель при этом закрывает поток испаряемого вещества, т. к. в начальный момент испарения необходимо пре10 дотвратить попадание на подложку испаряющейся поверхностной окисной пленки в случае испарения металлов и попадание неиспарившихся частиц при обезгаживан ии и в начальный момент напыления при использова15 нии таблеток из сыпучего материала.

При движении толкателя 2 в исходное положение, за счет отключения электромагнита б, с бункера 1 на рейку 7 попадает следующая гранула или таблетка.

20 В момент движения толкателя 2 в исходное положение открывается путь для напыления магериала на подложку.

25 П редм ет изобретения

Дозирующий питатель испарителей для вакуумных установок, содержащий бункер, толкатель, закрепленный на валу поворотно30 го устройства, управляемого электромагни374389

Составитель И. Резник

Техред Л, Грачева

Редактор Л. Лаврова

Корректоры: Е. Давыдкина и Н. Луковцева

Заказ 1663/14 Изд. № 415 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 том, отличающийся тем, что, с целью осуществления возможности дозировки гранулированных материалов и чередования различных материалов при напылении, питатель снабжен расположенной под бункером направляющей рейкой для подачи гранул в ис паритель, а толкатель выполнен в виде секторообразной пластины, служащей одновременно заслонкой при поступлении гранул в испа5 ритель.

^вс^.согозная ^вс^.согозная 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме
Наверх