Установка для получения покрытий из газовой фазы
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
378558
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 23.11.1970 (№ 1407558/22 1) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 18.1Ч.1973. Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 13Х11.1973
М. Кл. С 23с 11/00
Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.793.06(088.8) Авторы из о бр ете н ия
В. С. Макеев, А. Н. Пилюгин, А. И. Тютюнников, В. Ф. Функе и В. А. Шевченко
Заявитель
УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Изобретение относится к нанесению покрытий из газовой фазы.
Известна установка для получения покрытий из газовой фазы, содержащая термостатированный контур, имеющий зону осаждения с расположенными в ней обогреваемыми подложками и зону хлорирования.
Однако, в известной установке невысокая производительность процесса.
Цель предлагаемого изобретения — создать такую установку, в которой возможно стабилизировать процесс осаждения и повысить производительность.
Это достигается тем, что термостатированный контур снабжен зоной хлоргидрирования углерода с расположенными в ней обогреваемыми вращающимися полочками и холодильником, размещенным между зонами хлориоования и хлоргидрирования, и выполнен в зонах хлорирования, хлоргидрирования и осаждения с сечениями, удовлетворяющими условию:
F хлоргидрирования ) F хлорирования >
F осаждения.
На чертеже изображен общий вид установки.
Установка состоит из термостатированного контура, имеющего зону 1 осаждения с расположенными в ней обогреваемыми подложками 2, зону 8 хлорирования углерода с расположенными в ней обогреваемыми вращающимися полочками 4, холодильника 5, размещенного между зоной 8 хлорирования и зоной 6 хлоргидрирова ния, и вентилятора 7, Термостатированный контур выполнен в зонах хлорирования, хлоргидрирования и осаждения с сечениями, удовлетворяющими условию:
F хлоргидрирования ) F хлорирования >
F осаждения, В зоны хлорирования 8 и хлоргидрировапия 6 помещают порошкообразные исходные материалы, например тугоплавкий металл и его соединения, и углерод или его соединения, а в зоне осаждения 1 при помощи контактных 5 стержней 8 закрепляют подложки 2. Всю установку герметизируют, вакуумируют, а затем заполняют газообразными реагентами, Включают нагрев подложек и обогрев всего контура, после чего включается вращение вентилятора 7 и полочек 4. Лопастное колесо вентилятора приводится во вращение от привода типа ПМ У5-MI с бесступенчатым регулированием чисел оборотов в диапазоне от 300 до
3000 об/мин, что позволяет осуществить опт; мальные скорости парогазовой смеси внутри установки. От аналогичного привода сообщается вращение к полочкам 4, в зонах 8 и б. При работе установки в зонах 3 и б образуются карбидообразные компоненты, которые
ЗО затем при разложении на нагретой поверхнос378558
Составитель A. Смирнова
Техред Л. Грачева Корректор Л. Чуркина
Редактор А, Морозова
Заказ 886/1086 Изд. ¹ 469 Тираж 826 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушскаи наб„д. 4/5
Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» ти подложки в зоне осаждения образуют тугоплавкое соединение.
;П,р е д м е т и з о б р е т е н и я
Установка для получения покрытий из газовой фазы, содержащая термостатированный контур, имеющий зону осаждения с расположенными в ней обогреваемыми подложками и зону хлорирования, отличающаяся тем, что, с целью стабилизации процесса и повышения производительности, термостатированный KOHтур снабжен зоной хлоргидрирования углерода с расположенными в ней обогреваемыми вращающимися полочками и холодильником, размещенным между зонами хлорирования и хлоргидрирования, и выполнен в зонах хлорирования, хлоргидрирования осаждения с сечениями, удовлетворяющими условию:
F хлоргидрирования ) F хлорирования > Р осаждения.
