Натекатель газа
О Il И С А Н И Е 396505
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советски)
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 09.III.1971 (№ 1629337/25-8) с присоединением зая вки №
Приор итет
Опубликовано 29Х111.1973. Бюллетень № 36
Дата опубликования описания 15Л.1974
Я. Кл. F 16k 1/04
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий
УДК 621.646.7(088.8) Авторы изобретения
Л. Н. Розанов и В. М. Лебедев
Заявитель
Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина
НАТЕКАТЕЛЬ ГАЗА
Известны натекатели газа для установки в высоковакуумных системах, где поток газа регулируется путем нагрева натекателя, у которого детали выполнены из материалов с различными коэффициентами термического расширения.
В известных натекателях запорные устройства имеют возможность радиального смещения относительно седла при нагревании до высокой температуры и последующем охлаждении при обезгаживании натекателя, что может вызвать разгерметизацию системы.
С целью предотвращения радиальных смещений запорпых устройств при неравномерном нагревании его до температуры, превышающей рабочую, в корпусе предлагаемого натекателя выполнена направляющая для удлиненного хвостовика штока затвора.
На чертеже представлен предлагаемый патекатель, продольный разрез.
В камере А корпуса 1 закреплен шток 2 с неподвижно установленным на нем затвором
8. Шток на одном конце имеет удлиненный хвостовик 2, фиксируемый по продольной осп в направляющей корпуса 1, а на другом штуцер 2" для подачи газа внутрь камеры А, перекрь|ваемой затвором 8. К корпусу 1 приварена крышка 4, образующая камеру Б со штуцером 4т для подачи газа в вакуумную систему. На корпус нанесен слой изоляции 5, на котором навита спираль электронагревателя б.
При подаче напряжения на нагреватель последний разогревает корпус 1 и шток 2.
Вследствие того, что коэффициент термического расширения штока меньше чем коэффициент термического расширения корпуса, (так, например, шток сделан из ковара, а корпус из нержавеющей стали), то образуется зазор между затвором 3 и седлом 7. При этом газ перетекает из камеры А в «камеру Б и из последнсй в вакуумную систему. Хвостовик штока 2т перемещается по направляющей корпуса 1, предохраняя запирающие элементы от
15 радиального смещения.
Регулируя температуру нагревателя, можно изменять величину натекания газа.
Предмет изобретения
20 Натекатель газа для высоковакуумных систем, в обогреваемом корпусе которого расположен шток с закрепленным на нем затвором, где детали патекателя изготовлены пз материалов с различными коэффициентами терми25 ческого расширения, отличающийся тем, что, с целью предотвращения радиального смещения штока. при несимметричном разогреве натекателя до температуры, превышающей рабочую, в его корпусе выполнена направляю30 щая для удлиненного хвостовика штока, 396505
Составитель М. Дубнер
Техред Л. Грачева
Корректор Н. Аук
Редактор Т. Ларина
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ Зб25/15 Изд. ¹ 1942 Тираж 82б Г1одпи снос
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР но делам изобрстсш.й н открытий
Москва, К-35, Раушская паб., и. 4,5
