Патент ссср 407214
(II) 4072l4
Союз Сюветскнн
Социалмстически
Республик
ОП ИСАН И Е иЗОЬРЕте н иЯ ВТ, ЩО У СВидетелъстВЪ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 27.01.72 (21) 1741512/22-1 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет—
Опубликовано 21.XI.1973. Бюллетень № 46
Дата опубликования описания 08.07.1974 (51) М.Кл. С 01п 21/00
G 01п 1/32
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и отнрытии (53) УДК 620.182.2 (088.8) (72) Авторы изобретения В. И. Трефилов, В, Б. Спиваковский, П. С. Савранский, В
Г. А. Петрунин, Е. В. Турцевич, А. П. Рудой и В. H (71) Заявитель
Институт металлофизики АН Украинской ССР
Н. Сахаров, Минаков (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛИРОВКИ ОБРАЗЦОВ, ПОДЛЕЖАЩИХ ТРАНСМИССИОННОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ
МИКРОСКОПИИ
Известно устройство для пол ировк и образцов, подлежащих тра нсми аеионной электронной M H«p00KoIIIHH, в«лючающее камеру для электрохимичеокой IIoJIIHpoBINH, насос, осветитель и светоприемник для фотоэлектрической фиксациями появлен ия отверстия в поли1руемом обр азце.
Предложенное устройство отличаепся от известных тем, что HBIIIlptBBJI8H!Ho с ветового луча и струй электролита совпадают, причем струи электрол ита направлены перпенд икуля рно п ол ируемой поверхности образца и являюпся аветоводами. Таооое выполнение устройства повышает чувствительность фотоэлектр ической фиксациями момента об разования отверстия в образце.
На чертеже показана схема описываемого устройства.
С.ьемный пн нцет 1 с образцом 2, поджатым гайкой 8 плати новому контактному кольцу 4, вставлен в камеру 5 для полиравии, та1к, что центры полируемых IIQIBepxHocTeH образцов 2 оказываются пропив центров оопел б и на однца ковом от них расстоянии.
За соплами 6 расположены полости 7, задоеими стенками которых являются п розрачные пластины (оина) 8, герметично прижатые через уплотнительные прокла дк и 9 к камере 5 корпусом 10 осветителя 11 и корпусом 12 све2 топр иемнетка 18, соединенных с блоком 14 авто м ати ки.
Полости 7 каналам|и 15 соединены с н агнетательным патрубком,на соса 16, который своим вса сыватощим патрубком связа1н с резервуаром 17 для электролита, установле|нны м под сли вным штуцером 18 камеры 5.
Плапи новые катоды 19, вставленные ге рметично в каналы 15, платиновое контактное
1О кольцо 4 н насос 16 соединены электрическими н роводасеи с блоком 14 автоматики.
При включениями блока 14 а втоматиоои включается насос 16, подающий электролит из резервуара 17 по ка на IBM 15 B полости 7, 16 откуда он через сопла струйками попадает на образец 2. Одновременно подается нап ряже ние посгоянного тока на катоды 19, кольцо 4 и осветитель 11, который посылает через ок:но 8, сопло б и cIpvIo электроплита луч на левую полируемую поверхность об1разца.
При появлении отверстия в образце луч осветителя проходит в него и через правую старую, сопло 6 и правое оино 8 попадает на светоприемннк 18. Последн ий по дает сигнал н а блок 14 автоматики, отключающий напряженис от всех узло в устройства.
Предмет изобретения
Устройство для полировки образцов, нодар лежащих трансмиссион ной электронной мевк407214
Составитель В. Брострелй
Техред T. Ускова 1(орректор T. Xsoposi
Редактор И. Шубина
Заказ 1227 Изд. № 1061 Тираж 7GO Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Загорская типография
3 раокоп и и, включающее ма меру для электрох1ии ичеакой полюроэыи, насос, ос1вепитель и свепрп!р иемняк, отличающееся тем, что, с целью вовы швкия чув1ствителынОСти сиСтемы фотоэлекпр1ичеокой фщвац ии появления от4 вероятия.в полпруемом оо1р азце, оц1пичес кая ось п р ибора совмещеыа с о1сью спруй элекч ролита и нап ра влейа перпенди куляр ню поли руемым пю верхностяк абра зца.
