Патент ссср 415559

 

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. 6 01п 21, 46

Заявлено 18.1.1972 (№ 1740749. 26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 15 11.1974. Бюллетень ¹ 6

Дата опубликования описания 20Л 1.197-!

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изаоретеннй и открытий

УДК 535.8(088.8) Авторы изобретения

Г. А. Егорова, Н. С. Иванова, E. В. Потапов и А. В, Раков

Заявитель

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ

И ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНОЙ ПЛЕНКИ

Предмет изобретения

Известен способ определения показателя преломления и толщины прозрачной пленки путем нанесения ее на подложку и измерения параметров отраженного эллиптически поляризованного света фиксированной длины волны при фиксированном угле падения. Однако точность определения параметров по такому способу снижается из-за малой чувствительности эллипсометрии, особенно в области субтонких пленок толщиной порядка 10 — см.

Предлагаемый способ позволяет повысить точность определения. Это достигается тем, что при измерениях свободную поверхность пленки вначале помещают в среду, оптически менее плотную, и производят измерение разности фаз между перпендикулярно и параллельно поляризованными компонентами отраженного от пленки света, а затем пленку помещают в среду, оптически более плотную.

Способ осуществляют следующим образом.

Пленку приводят в оптический контакт с прозрачной средой; имеющей показатель преломления меньший, чем показатель преломления измеряемой пленки, и измеряют Л1 — разность фаз между параллельной и перпендикулярной составляющими отраженного света.

Затем пленку приводят в оптический контакт с прозрачной средой, имеющей показатель преломления больший, чем показатель преломления измеряемой пленки, и измеряют

Ле — разность фаз между перпендикулярной и параллельной составляющими. Расчеты показателя преломления пленки и ее толщины производят по монограммам, построенным па основании решения основного уравнения эллипсометрии в координатах измеренных Л1 и Л,.

Способ определения показателя преломле15 ния и толщины прозрачной пленки путем нанесения ее на подложку и измерения параметров отраженного эллиптически поляризованного света фиксированной длины волны при фиксированном угле падения, о т л и20 ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности, свободную поверхность пленки вначале помещают в среду, оптически менее плотную, п производят измерение разности фаз между перпендикулярно и параллельно поля25 ризованными компонентами отраженного от пленки света, а затем пленку помещают в среду, оптически более плотную.