Интерференционный способ изл\ерения линейных размеров образцовых оптических деталей

 

О П И С А Н И Е» 4197Я

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (б1) Зависимое от авт. свидетельства —— (51) М.К.7. G 01Ь 9/02 (22) Заявлено 10.08.72 (21) 1819014/25-28 с присоединением заявки №вЂ”! осударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (32) Приоритет—

Опубликовано 15.03.74. Бюллетень ¹ 10

Дата опуоликоваиия описания 11.09.74 (53) УДК 531.715.1 (088.8) (72) Автор о!зобретени !

А. И. Крицын (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ

J! И Н ЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ ОБРАЗЦОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение в оитикомeханической промышленности для измерения высоты образцовых деталей, имсющ!гх впд кону"а, усеченного конуса, пирамиды или призмы с углом при вершине 90 .

11зве reit интер(ререиционный способ измерения линейных размеров образцовых olit ических деталей, например длины илоскопара7лельиых концевых мер, на иитерферомегре с 10 источником белого света, заключающ!!йся в сравнении измеряемой детали с исходной, при когором разность длины определяется непосредственно по величине смещения полос иу:I Bolo порядк;!, няо 7mgaeiiblx Ila IIB1 tep tr:i - 15 иых поверхностях сравниваемых деталей. При этом измеряемая разность определяется в д шнах световых волн. Погрешность измерения порядка +-0,1 л!кл. Однако непосредственно использовать способ для измерения вы- 20 соты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90 не прсдстяг,:!5!ется Воз модным Вследствие QTc) TOTçrtsl 13тОрой измер!!тельной плоскости у ко!гичсской

Д C T

С целью возможности измерения высоты конусов и призм:!з прозрачного мятсриала с углом при вершине 90 по предлагаемому способу используют в качестве исходной детали аттестованную плоскопараллельную пласти- зо иу, изготовленную из того жс материала, ITQ и измеряемая деталь, а расстояiilie между ее !

1ло кими попер. иостями paBIIO двоси!юй Высоте конуса или призмы.

Н а с!1 и r . 1 и 3 О 0 р я >к е ! a c . t e х! а д;! я, 3 1 e . е ! ! я высоты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90 ня двухлучевом интерферох!етре; на фиг. 2 — вид поля зрен!ия пптерферометра при измерении.

В рабочую ветвь интерферометра устяняв.7ива!От измеряемый конус 1 с предварительно притертой к нижнему основанию зеркала 2.

В эталонную ветвь интерферометра к зеркалу

3 притирают аттестованную плоскопараллельную пластину 4 с размером удвоенной высоты конуса и и-готовлеииую из того же материала.

Лучи белого света, идущие от источ!гика (на схеме ие показан), падают иа поверхность свстоде.7ите.7ьио!! пластины 5, где разделяются на два пучка.

Предлагяемьш способ осуществляют слсдуЕОщим Ооразоъ!.

Один пучок света отражается от пластины

5 и падает по нормали на прозрачнуiî аттестованную пластину 4. Одна часть этого пучкс! Отряжястс5! QT BepxHell I10Beр ности пластиныы, другая часть проходит пластину и отражается от зеркала 8, зятем обе част1! пучка идут в обратном направлении, проходят пла419719

4 иГ.2

Составитель Лобзова

Тскрсд Л. Васильева

1<, )р««сктор Л Чуркина

Редактор В. Новоселова

Зака) 3067 11зд, Уо 1«15 Тираж 760 Подписное

Ц1!ИИП11 Государственного ком<нтета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )15,-35, Раугнская наб., д. 4/5

Обл. тин. 15острок«ско!о уиравлснии издательств, полиграфии н книжной .«ор«ои,«л

C T 1111 ) д, со 01«p B I i) T C 5! 0 б) ь с и Т и 13 О 3 !) 13 11;I 0 i li 0стп гыходной щели 7 и попадают в глаз наблюдателя.

Второй пучок света проходит через пластину 5 и падает на поверхность 8 нижнего основания конуса 1. Одна часть пучка отражается оТ ýò01! пОВеРхности, ДPvl Bß IBcTh IIPoxOII«ò конус внутри и отражается от зерка1B 2. Далее обе эт!! части пучка света возвращаются к пластине 5, отражаются от ес разделительной поверхности II собираются при помощ; объектива 6 в плоскости выходной щели 7, откуда TBI(>«cE . I!OIIBдают В глаз набл!Одате: !5!.

Оба пучка света, имеющие разность ходя, ;птерфсрируют между собой.

Способ измерения высоты основан ня известном гсометри «соком соображении, состоящем 13 том, что длина пути луча внутри ««опуса равна удвоенной его высоте, если угол при вершине 90, а падающий луч направлс«! по нор.<1 ал и !с ни>к1!е <«м Осl!ОВа!1! 1«0 конуса. Н или Iис 13 эта "<01111011 !30Т1311 интеР(1)ег!031стРа плоскопараллельной аттестованпой пластины толщиной, равной уд<военной высоте конуса и изготсвле!шой,из той же заготовки стекла, что и конус, позволяет создать одинаковые оптические условия для лучей в ветвя и наблюдать В белом свете две системы интсрференционных по IOc равной то)Ill!!1«! I (фиг. 2). Система 1 образована лучами, отраженными от поверхностями 8 конуса 1 и верхней поверхности пл астины 4, систем à 11 oopa:-ова,на лучами, прошедшим!и пластину и конус и соответственно отраженными от зеркал 2 и 8.

По взаимному смещепию ахроматических . полос двух интерференцHoHklbIx систем определяют отклонен<не удвоенной высоты конуса от толщины плоскопараллельной пластины.

Дл я T0 I О, I TOO bl O T."1 kl I H T !> п 1) и: я дл еж H 0"" T h B Xроматических полос к той илн другои интерференционной cmcreile, пластину 4 изготс вляl0T с небольшим уменьшением размера к нижнему основанию, следовательно интерфсренционныс системы будут различаться по размеру.

Предмет изобретения

Интерференционный способ измерения линейных размеров образцовых оптических деталей, закл«очающийся и сравнении измеряемой детали с исходной, от.lèиа/оши! ся тем. что, с целью возможности из)!ерс!п«5! Высоты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90, используют в качест)5 ве исходной детали аттестованну«0 п IocIк ду ее плоски)!и поверхностями равно удвоенной высоте конуса или пр«!змы.