Способ измельчения полупроводниковыхматериалов

Авторы патента:

В. С. Мартыновский, М. Н. Томашевич , В. К. Гарачук

зно ЕРто

B02C19 - Прочие способы и устройства для измельчения (для зерна B02C 9/00)

() 424600

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 06.03.72 (21) 1753754 29-33 с присоединением заявки ¹ (32) Приоритет

Опубликовано 25.04.74. Бюллетень ¹ 15

Дата опубликования описания 02.10.74 (51) М. Кл. В 02с 19 00

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР па делам изааретений и открытий (53) УД К 621.926.9 (088.8) щц рщ" пц

В. С. Мартыновский, М. Н. Томашевич и В. К. Гарачук (72) Авторы изобретения (71) Заявитель Одесский технологический институт холодильной промышленности (54) СПОСОБ ИЗМЕЛЪЧЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

МАТЕРИАЛОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к изготовлению материало|в методом порошковой металлургии.

Известен способ измельчения полупроводниковых материалов путем дробления их при низких температурах.

Цель изобретения вЂ” уменьшить пластичность материалов и предохранить их от о кисления.

Это достигается тем, что измельчсние осуществляют в инертных криогенных жидкостях, на|пример в азоте, при температуре в пределах от 4 К до 100 К.

Испаряющаяся криогенная жидкость создает инертную среду, препятствующую ок ислению.

Полупроводниковые материалы, помещен ные в отва куумированный эксикатор, вносятся в бокс, в котором находится измельчающее уст(ройство, на пример мельница, и сосуд

Дьюара с жидким азотом. Бокс гермет изируется и путем испаре ния части жидкого азота из него удаляется воздух, а также создается небольшое избыточное давле(ние азота.

Вещество из эксикатора запружается в мечьницу, рабочее про странство которой соединено патрубком с сосудом Дьюара. Через патрубок подается дозирусмое количество жидкого азота.

Та%им образом, процесс измельчения IIpoходит при низкой тсмч)ературе и в инертной

5 среде. После о кончания помола вещество помещается в эксикатор. последний герметизируется и направляется для дальнейших технологическ их операций (просепвание, уплотнение. спекание и т. д.).

10 Проведенные опыты по измельчению тройных сплавов на основе Bi, Те, Se, Sb в среде жидкого азота показали, что таким путем удается сравнительно IbpocTo получить весьма мелкие фракции и, что особенно важно, без

15 их заметного окислеНия.

Способ измельчения полупроводниковых

20 материалов путем дробления их при низких температурах, отличающийся тем, что, с целью уменьшения пластичности материалов и предохранения их от окисления, измельчение осуществляют в HHepmI Ii криогенных

25 жидкостях, например, в азоте, при температурах в пределах от 4 К до 100 К.

Способ измельчения полупроводниковыхматериалов

Установка для дробления, гашения и обезвоживания шлака // 424596

Мельница для сверхтонкого помола материалов // 423505

Коллоидная мельница // 423504

Измельчитель жидкого навоза // 422460

Устройство для объемного дробления многокомпонентного материала // 422453

Устройство для разрушения негабаритных кусковруды // 421364

Струйная вихревая мельница // 421363

Патент 421362 // 421362

Вибрационная дробилка // 421358

Способ измельчения материалов в потоке энергоносителя и устройство вихревого помола для его осуществления // 2100082

Барабанная дробилка // 2100083

Изобретение относится к горной промышленности и может быть использовано для дробления горной массы

Устройство для измельчения растительного сырья // 2103068

Изобретение относится к переработке сельхозпродукции, в частности к технологии измельчения сахарной свеклы с целью дальнейшего получения сока сахарной свеклы из измельченной массы

Пневмоударная вихревая мельница // 2103069

Изобретение относится к оборудованию для измельчения различных сыпучих материалов органического или неорганического состава, например зерен сельскохозяйственных культур, их оболочек, например лузга подсолнечника, сушеных трав, мела, гипса, металлов и др

Способ тонкого или сверхтонкого измельчения полидисперсных частиц кристаллических материалов // 2103070

Изобретение относится к области обработки кристаллических материалов, конкретно - к принудительному разрушению (измельчению) полидисперсных твердых частиц

Способ измельчения материала // 2104788

Изобретение относится к способам измельчения различных материалов и может быть применено в горнорудной, металлургической, энергетической и других отраслях промышленности

Способ физически-форсированной переработки измельчаемых материалов // 2104789

Электрогидравлическая дробилка // 2105611

Способ измельчения материалов и устройство для измельчения материалов // 2108160

Изобретение относится к технологии тонкого и сверхтонкого измельчения материалов различной твердости и абразивности, предназначено для получения полидисперсных материалов размерами частиц от 2 до 45 мкм и может быть использовано в строительной, горнорудной, химической, энергетической и других отраслях промышленности

Способ утилизации отходов // 2111057

Изобретение относится к области переработки промышленных и бытовых отходов, а также может быть использовано для одновременной переработки отходов и повышения полноты сгорания топлив и повышения КПД котельных, ТЭЦ и других энерговырабатывающих предприятий