Многоканальный анализатор атомных частиц

 

А. Н у Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ («) 42727 5

Своз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (бl) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 17.01.72 (21) 1739806/26-25 с присоединением заявки № (51) М. Кл, 6 Оlп 27/62

В Old 59/44

Совета в1инистрав СССР пв делам изобретений и открытий

Опубликовано 05.05.74. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 26.03.75 (53) УДК 533.9.07(088.8) (72) Авторы изобретения

В. В. Афросимов, И. П. Гладковский и М. П. Петров

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (71) Заявитель (54) МНОГОКАНАЛЬНЫЙ АНАЛИЗАТОР АТОМНЫХ ЧАСТИЦ

Государственный комитет (32) Приоритет

Изобретение относится к устройствам для энергетического анализа нейтральных и заряжанных частиц, испускаемых плазмой.

Известный анализатор атомных частиц содержит источник ионов, электростатический конденсатор и детектор ионов. Электростатический конденсатор состоит из плоскопараллельных пластин, расположенных под углом

45" к оси источника ионов, причем в одной из пластин имеются щели, выполненные на различных расстояниях от входной щели анализатора. Число таких щелей равно числу детекторов, установленных за этими щелями.

Недостатки известного анализатора следующие: а) большие потери частиц на стыках между детекторами; б) малая относительная светосила высокоэнергетичных каналов; в) большое влияние электромагнитного излучения плазмы на засветку детекторов.

Целью изобретения является уменьшение потерь частиц в процессе анализа; увеличение относительной светосилы в области высокоэнергетичной части спектра; обеспечение защиты детекторов от влияния электромагнитного излучения плазмы.

Сущность изобретения заключается в том, что между электростатическим анализирующим конденсатором частиц по энергиям и системой детектирования ионов установлены концентрически изогнутые канальные отклоняющие пластины с радиальным электрическим полем.

На чертеже показан пятиканальный анализатор атомных частиц.

Анализатор состоит из источника ионов 1, электростатического анализирующего конденсатора 2, одна пластина которого параллель10 на оси источника ионов, а другая расположена под углом к этой оси. За конденсатором установлены канальные отклоняющие системы

3 с радиальным электрическим полем. За счет фокусирующих свойств радиального

15 электрического поля уменьшаются потери анализируемых частиц и, следовательно, увеличивается светосила прибора. На выходе отклоняющих систем размещены детекторы ионов 4.

20 Предмет изобретения

1. Многоканальный анализатор атомных частиц, содержащий камеру ионизации, электростатический анализирующий конденсатор и систему детектирования ионов, о т л и ч а ю25 щийся тем, что, с целью повышения светосилы прибора, между электростатическим анализирующим конденсатором и системой детектирования ионов установлены концентри. чески выгнутые канальные отклоняющие пла30 стины.

437275

Составитель Ю. Сухарев

Редактор T. Орловская

Техред В. Рыбакова

Корректор Т, Гревцова

Заказ 1049/14 Изд. № 799 Тираж 651 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

2. Анализатор по п. 1, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов прибора, часть одной из пластин анализирующего конденсатора расположена под углом к оси камеры иониэации.