Установка химической очистки поверхности изделий

 

t

О lI И С А Н И Е (и) 4иав9

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Реса убли»

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства(22) Заявлено28.12.72 (21) 1867262/22-1 (51) М. Кл.

С 23 5/04 с присоединением заявки N—

Государственный квинтет

Совета Мнннстрав СССР по делам наобретеннй и открытей (32) ПриоритетОпубликовано З0. 11.74 Бюллетень №44

Дата опубликования описания

27.О3.75 (53) УДК 621 9 047 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. Т. Мягков, Б. В. Ионов, H 1. Медведев, Е. А. Кочурков и ,Р.В. 1Яербачев (71) Заявитель

f (54) УСТАНОВКА ХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к установкам парожидкостной химической очистки иэделий и может быть использовано для химической обработки кремниевых и ситалловых пластин.

Известна установка химической очистки поверхности изделий, содержащая вибропривод, реакционную камеру, выполненную в виде соосно расположенных внешнего и внутреннего сосудов, каждый из которых снабжен спиральной направляющей, и загрузочное устройство.

Однако такая установка химической очистки изделий выполнена негерметичной и в ней невозможно удалять загрязнения, имеющие высокую температуру плавления, низкокипящими растворителями, невозможно производить циклическую многократную обработку изделий в объеме жидкости и парах, что по условиям технологического процесса производства микросхем необходимо, так как это повышает скорость и качество химической обработки изделий. В известной установке отсутствует устройство непрерывной дистилляцииреактива и нет надежных простых систем автоматического дозирования реактива, что приводит к излишнему расходу реактива, к удержанию и снижению надежности конструкции.

Для устранения указанных недостатков

5 предлагаемая установка выполнена герметичной, снабжена устройством непрерывной

° дистилляции автоматического доэирования реактива и кассетой с переключающими штырями, а на внешней стороне внутреннего

1О сосуда укреплена спираль, противоположно направленная относительно спирали внешнего сосуда, при этом дно внешнего сосуда расположено выше дна внутреннего сосуда, на верхнем и нижнем витках спирали которого выполнены прорези для прохождения переключающих штырей, а внешний сосуд в верхней части снабжен копирами.

Кроме того, устройство непрерывной ди1стинляциие автоматического дозирования реактива выполнено.в виде изогнутой сифонной трубки, соединяющей внутренний и внешний сосуды.

На фиг.. 1 изображена описываемая. установка; на фиг. 2 — разрез по А-А на фиг.1

451809 суды.

Установка- .Ммической очистки изделий включает в себя станину 1, вибродвигатель 2, реакционную камеру 3, нагреватель

4, крышку 5 с отверстиями 6, выполненными в форме змеевика, для пропуска хладагента, трубчатого холодильника 7. Уплотнение крышки 5 с корпусом 8 реакционной камеры 3 производится через прокладку 9 с помощью механизма, например пневмоцилиндра (на чертеже не показан).

Трубки 10 и 11 служат для заливки реактивов в реакционную камеру 3.

Корпус 8 реакционной камеры 3 состоит из соосно расположенных внутреннего 12 и внешнего 13 сосудов, жестко связанных .ц между собой, причем дно внутреннего сосуда 12 расположено несколько ниже дна внешнего сосуда 13, имеющего на внутренней цилиндрической поверхности спираль 14 с пазами 15 и жестко закрепленные копи- 20 ры 16 в верхнем витке спирали 14, Внутренний сосуд 12 имеет противоположно направленную относительно спирали 14 внешнего сосуда спираль 17 и пазы 18.

Верхний виток 19 спирали 17 имеет пазы 25

20 и прорези 21 для свободного прохождения переключающих штырей 22 кассеты 23„

В нижней части спирали 17 имеются проре» зи 24, переходящие в конусные направляющие 25 для прохождения переключающих 30 штырей 22 кассеты 23.

Для автоматического дозировакия реактива из внешнего 13 во внутренний сосуд 12 служит изогнутая сифонная трубка 26, максимальный уровень подъема которой соотве- 35 тствует максимальному уровню заполнения внешнего сосуда 13. Кассета 23 имеет форму диска с отверстием в центре, на верхней плоскости которого имеются пазы для закладки изделий 27. Внутренний со- 40 суд 12 имеет отверстия 28 для выхода нара.

В реакционную камеру 3 через трубки

10 и -11 подается реактив, включается нагреватель 4, в пазы кассеты 23 заклады- 45 ваются изделия 27 и крышка 5 уплотняет« ся с корпусом 8 реакционной камеры 3 через прокладку 9. За счет кипения реактива в камере 3 создается определенное давление с целью удаления загрязнений, имеющих 50 высокую температуру плавления, низкокипящими растворителями. Включается вибродвигЮтель 2 и начинается процесс циклической обработки изделий 27 в охлажденном объеме жидкости и парах. 55

Низкокипящий реактив йагревается до нужной температуры во внутреннем сосуде

12 реакционной камеры 3, а за счет хлРдагента, пропускаемого по отверстиям 6 крышки 5, выполненным в виде змеевика; и по трубчатому холодильнику 7 происходит конденсация, дистилляцинреактива и сбор его в нижней части внешнего сосуда 13 реакционной камеры 3. А так как внешний сосуд 13 соединен с внутренним сосудом 12 с помощью изогнутой сифонной трубки, максимальный уровень подъема которой соответствует максимальному уровню зялолнения внешнего сосуда 13, то при малейшем превышении этого уровня происходит засасывание реактива и автоматический перелив скопившейся дозы его во внутренний сосуд реакционной камеры 3.

По окончании обработки изделий 27 открывается крышка 5, изделия 27 вынимаются из кассеты 23 и операция повторяется.

Предмет изобретения

1. Установка химической очистки поверхности изделий, содержащая вибропривод, реакционную камеру, выполненную в виде соосно расположенных внешнего и внутреннего сосудов, жестко связанных между собой, загрузочно-транспортное устройство в виде опорных спиралей, закрепленных на стенках сосудов, систему подачи и слива реактива, о т л и ч а ю ш а я с я тем, что, с целью повышения производительности и качества химической очистки изделий от загрязнений, имеющих высокую температуру плавления, низкокипящими растворителями, она выполнена герметичной, снабжена устройством непрерывной дистиляции и автоматического дозирования реактива и кассетой с переключающими штырями, а на внешней стороне внутреннего сосуда укреплена спираль, противоположно направленная относительно спирали внешнего сосуда, при этом дно внешнего сосуда расположено выше дна внутреннего сосуда, на верхнем и нижнем витках спирали которого выполнены прорези для прохождения переключающих штырей, а внешний сосуд в верхней части снабжен копирами.

2. Установка по и. 1 о т л и ч а ю щ ая с я тем, что устройство непрерывной дистиляции и автоматического дозирования выполнено в виде изогнутой сифонной трубки, соединяюшей -внутренний и внешний со