Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ п 453566
Союз Созетских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 17.11.72 (21) 1849664/25-28 (51) М. Кл. G Olb 19/06
G 01п 27/86 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 15.12.74, Бюллетень № 46
Дата опубликования описания 24.01.75 (осудврственныи комитет
Совете Министров СССР по делам изооретений и открытий (53) УДК 531.717.11 (088.8) (72) Автор изобретения
А. Б. Вальдман (71) Заявитель
Рижский политехнический институт (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИЧЕСКИХ
ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПЛЕНОК
Изобретение относится к области неразрушающих методов контроля и может быть использовано в толщинометрии, например, для непрерывного контроля толщины или поверхностного сопротивления напыленного слоя, наносимого на конденсаторные диэлектрики, в процессе вакуумной металлизации.
Известное устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок содержит генератор, токовихревой преобразователь, емкостной преобразователь, усилитель н индикатор.
Однако в известном устройстве необходимо заземление электропроводящего слоя, что снижает надежность контроля, особенно при непрерывном контроле движущегося изделия.
Кроме того, напряжение, снимаемое с емкостного преобразователя, компенсирует часть напряжения, снимаемого с токовихревого преобразователя.
Для повышения надежности контроля предлагаемое устройство снабжено дополнительной индуктивностью, емкостной преобразователь выполнен в виде двух пластин, расположенных в рабочей торцовой поверхности токовихревого преобразователя, и образует с дополнительной индуктивностью колебательный контур.
На чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства.
К одному из выходов генератора 1 последовательно подключены эмиттерньш повторитель 2, токовихревой преобразователь 3, эмиттерньш повторитель 4, усилитель 5, амплитуд5 ный детектор 6, усилитель 7 постоянного тока, на выходе которого включен индикатор 8.
К другому выходу генератора 1 подключен эмиттерный повторитель 9 II емкостной преобразователь 10.
10 Устройство работает следующим образом.
Накладной токовнхревой преобразователь 3 питается от генератора 1 через эмнттерный повторитель 2. Сигнал с токовихревого преобразователя через эмпттерный повторитсль 4, 15 усилитель 5, амплитудный дектор 6 и усилитель 7 постоянного тока поступает на индикатор 8. Eil»oc lloil преобразователь 10 питается также от генератора 1 через эмпттерный повторитель 9.
Вихревые токи, индуцируемые в проводящем материале полем емкостного преобразователя
10, сдвинуты на 180 относительно вихревых токов, индуцируемых токовихрсвым преобра25 зователем 3, вследствии чсго достигается положение, когда результирующее поле токовихревого преобразователя, а следовательно, и выходное напряжение на нем прп изменении величины зазора в некотором диапазоне ос30 тается неизменным.
453566
Предмет изобретения
1 11
Составитель А. Денель
Тсхред 3. Тараненко
Корректор А. Васильева
Редактор Л. Василькова
Заказ 3722/1 Изд. ¹ 1941 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам. изобретений и открытий
Москва, К-35, Раушская иаб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок, содержащее генератор, токовихревой преобразователь, емкостной преобразователь, усилитель и индикатор, отл и ч а ющее ся тем, что, с целью повышения надежности контроля, оно снабжено дополнительной индуктивностью, емкостной преобразователь выполнен в виде двух пластин, расположенных в рабочей тор5 цовой поверхности токовихревого преобразователя, и образует с дополнительной индуктивностью колебательный контур.
